Vatopnemer vir vloeibare fase epitaksie LPE

Vat susceptor vir vloeibare fase epitaksie LPE

EPI (Epitaxy)is 'n kritieke proses in die vervaardiging van gevorderde halfgeleiers. Dit behels die afsetting van dun lae materiaal op 'n substraat om komplekse toestelstrukture te skep. SiC-bedekte grafietvat-susceptor vir EPI word algemeen gebruik as susceptors in EPI-reaktore as gevolg van hul uitstekende termiese geleidingsvermoë en weerstand teen hoë temperature. MetCVD-SiC-bedekking, word dit meer bestand teen kontaminasie, erosie en termiese skok. Dit lei tot 'n langer lewensduur vir die susceptor en verbeterde filmkwaliteit.

Voordele van ons vatsusceptor vir vloeibare fase epitaksie LPE:
Verminderde kontaminasie:SiC se inerte aard verhoed dat onsuiwerhede aan die susceptor-oppervlak vaskleef, wat die risiko van besoedeling van die gedeponeerde films verminder.
Verhoogde erosieweerstand:SiC is aansienlik meer bestand teen erosie as konvensionele grafiet, wat lei tot 'n langer lewensduur vir die susceptor.
Verbeterde termiese stabiliteit:SiC het uitstekende termiese geleidingsvermoë en kan hoë temperature weerstaan ​​sonder noemenswaardige vervorming.
Verbeterde filmkwaliteit:Die verbeterde termiese stabiliteit en verminderde besoedeling lei tot 'n hoër kwaliteit neerslagfilms met verbeterde eenvormigheid en diktebeheer.