Tantalum carbide ti a bo susceptor fun wafer

Apejuwe kukuru:

Semicera jẹ oludari ni imọ-ẹrọ aabo ohun elo otutu giga ati pe a ni igberaga lati ṣafihan awọn ọja ti a bo CVD Tantalum Carbide (TaC) lati pese aabo aabo otutu giga ti igbẹkẹle fun awọn sobusitireti lẹẹdi rẹ.Lẹẹdi jẹ ohun elo sooro otutu giga ti o dara julọ, ṣugbọn o ni itara si ifoyina ni awọn iwọn otutu giga, eyiti a ko le yago fun patapata paapaa ninu ileru igbale.Ti a bo CVD Tantalum Carbide (TaC) le ṣe idiwọ ifoyina ti sobusitireti lẹẹdi ni imunadoko lakoko mimu iṣẹ ṣiṣe otutu giga ti o dara julọ.TaC tun jẹ ohun elo inert ti o le koju awọn aati pẹlu awọn gaasi bii argon ati hydrogen.Kan si Semicera loni lati ni imọ siwaju sii nipa wa Tantalum Carbide CVD ti a bo EPI susceptors lati rii daju iduroṣinṣin ati igbẹkẹle ti awọn ohun elo iwọn otutu giga rẹ.


Alaye ọja

ọja Tags

Ibora TaC jẹ iru iboji tantalum carbide (TaC) ti a pese sile nipasẹ imọ-ẹrọ ifisilẹ oru, o ni awọn abuda wọnyi:

1. Giga lile: TaC ti a bo lile jẹ giga, nigbagbogbo le de ọdọ 2500-3000HV, jẹ ideri lile ti o dara julọ.

2. Yiya resistance: TaC ti a bo jẹ gidigidi wọ-sooro, eyi ti o le fe ni din yiya ati ibaje ti darí awọn ẹya ara nigba lilo.

3. O dara resistance otutu otutu: TaC ti a bo tun le ṣetọju iṣẹ ti o dara julọ labẹ agbegbe otutu otutu.

4. Iduroṣinṣin kemikali ti o dara: TaC ti a bo ni iṣeduro kemikali ti o dara ati pe o le koju ọpọlọpọ awọn aati kemikali, gẹgẹbi awọn acids ati awọn ipilẹ.

6 (3)
Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Ti ara-ini ti TAC ti a bo

密度/ iwuwo

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / Ijadejade pato

0.3

热膨胀系数 / Gbona imugboroosi olùsọdipúpọ

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Lile (HK)

2000 HK

电阻 / Resistance

1×10-5 Ohm * cm

热稳定性 / Gbona iduroṣinṣin

<2500℃

石墨尺寸变化 / Graphite iwọn ayipada

-10 ~-20um

涂层厚度 / Aso sisanra

≥20um iye aṣoju (35um± 10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jẹ ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga ti o ni idojukọ lori iṣelọpọ ati tita awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga, awọn ohun elo ati imọ-ẹrọ ti o bo graphite, silikoni carbide, awọn ohun elo amọ, itọju dada ati bẹbẹ lọ.Awọn ọja naa ni lilo pupọ ni fọtovoltaic, semikondokito, agbara tuntun, irin, ati bẹbẹ lọ.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • WhatsApp Online iwiregbe!