Tantalum carbide ti a bo susceptor fun wafer

Apejuwe kukuru:

VET Energy Tantalum carbide ti a bo susceptor fun wafer jẹ ọja iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ ṣiṣe deede ati igbẹkẹle lori akoko gigun. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.


Alaye ọja

ọja Tags

Ibora TaC jẹ iru iboji tantalum carbide (TaC) ti a pese sile nipasẹ imọ-ẹrọ ifisilẹ oru, o ni awọn abuda wọnyi:

1. Giga lile: TaC ti a bo lile jẹ giga, nigbagbogbo le de ọdọ 2500-3000HV, jẹ ideri lile ti o dara julọ.

2. Wọ resistance: TaC ti a bo jẹ gidigidi wọ-sooro, eyi ti o le fe ni din yiya ati ibaje ti darí awọn ẹya ara nigba lilo.

3. Idaabobo otutu ti o dara to dara: TaC ti a bo tun le ṣetọju iṣẹ ti o dara julọ labẹ iwọn otutu otutu.

4. Iduroṣinṣin kemikali ti o dara: TaC ti a bo ni iṣeduro kemikali ti o dara ati pe o le koju ọpọlọpọ awọn aati kemikali, gẹgẹbi awọn acids ati awọn ipilẹ.

6 (3)
Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Ti ara-ini ti TaC ti a bo

密度/ iwuwo

14.3 (g/cm³)

比辐射率 / Ijadejade pato

0.3

热膨胀系数 / Gbona imugboroosi olùsọdipúpọ

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Lile (HK)

2000 HK

电阻 / Resistance

1×10-5 Ohm * cm

热稳定性 / Gbona iduroṣinṣin

<2500℃

石墨尺寸变化 / Graphite iwọn ayipada

-10 ~-20um

涂层厚度 / Aso sisanra

≥20um iye aṣoju (35um± 10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jẹ ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga ti o ni idojukọ lori iṣelọpọ ati tita awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga, awọn ohun elo ati imọ-ẹrọ ti o bo graphite, silikoni carbide, awọn ohun elo amọ, itọju dada ati bẹbẹ lọ. Awọn ọja naa ni lilo pupọ ni fọtovoltaic, semikondokito, agbara tuntun, irin, ati bẹbẹ lọ.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • WhatsApp Online iwiregbe!