Bi awọn ti ngbe ti deede ohun alumọni wafers ni isejade ti a bo ilana, awọnlẹẹdi ọkọni ọpọlọpọ awọn wafer ọkọ oju omi pẹlu aarin kan ninu eto naa, ati aaye ti o dín pupọ wa laarin awọn wafer ọkọ oju omi meji ti o wa nitosi, ati awọn wafer silikoni ti wa ni ẹgbẹ mejeeji ti ilẹkun ofo.
Nitori graphite, ohun elo ti ọkọ oju-omi graphite, ni iṣesi to dara ati imunadoko gbona, foliteji AC kan ti lo laarin awọn ọkọ oju omi meji ti o wa nitosi lati dagba awọn amọna rere ati odi. Nigbati titẹ afẹfẹ ati gaasi kan ba wa ninu iyẹwu naa, itusilẹ didan waye laarin awọn ọkọ oju omi meji naa. Itọjade didan le decompose SiH4 ati gaasi NH3 ni aaye, ṣe awọn ions Si ati N, ati pe o darapọ lati ṣe awọn ohun elo SiNx O ti wa ni ipamọ lori oju ti ohun alumọni siliki lati ṣaṣeyọri idi ti ibora.
Gẹgẹbi agbẹru ti a bo antireflection sẹẹli oorun, ọna ati iwọn ti ọkọ oju-omi graphite taara ni ipa lori ṣiṣe iyipada ati ṣiṣe iṣelọpọ ti wafer ohun alumọni. Lẹhin awọn ọdun ti iwadii imọ-ẹrọ ati idagbasoke, VET Energy ni bayi ni ohun elo iṣelọpọ ilọsiwaju, awọn apẹẹrẹ imọ-ẹrọ ti ogbo ati oṣiṣẹ iṣelọpọ ti o ni iriri, ati pe awọn ohun elo jẹ awọn ohun elo aise wọle. Ni bayi, ọkọ oju-omi graphite ti a ṣelọpọ nipasẹ ile-iṣẹ wa ni awọn anfani ti ṣiṣe ti o ga julọ Ilana naa rọrun ati aaye laarin ọkọ oju-omi graphite jẹ ironu, eyiti o jẹ ki ibora ti aṣọ wifi silikoni, mu didara didara dara si.ohun alumọni wafer, ati ki o mu ki oorun agbara iyipada ṣiṣe ga. Agbara VET ni gbogbo iru awọn ọkọ oju omi inki ti ọja nilo ni bayi.
Ọkọ oju-omi kekere PECVD mimọ giga fun Igbimọ oorun
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 08-2021