Kini iyato laarin PECVD ati LPCVD ni semikondokito CVD ẹrọ?

Iṣagbejade oru kemikali (CVD) tọka si ilana ti fifipamọ fiimu ti o lagbara lori oju ohun alumọni kanwafernipasẹ kan kemikali lenu ti a gaasi adalu. Ni ibamu si awọn ti o yatọ lenu awọn ipo (titẹ, ṣaaju), o le ti wa ni pin si orisirisi awọn awoṣe ẹrọ.

Awọn ilana wo ni awọn ẹrọ meji wọnyi lo fun?

PECVD(Imudara Plasma) ohun elo jẹ pupọ julọ ati lilo julọ, ti a lo ninu OX, Nitride, ẹnu-ọna irin, erogba amorphous, ati bẹbẹ lọ; LPCVD (Agbara Kekere) ni a maa n lo ni Nitride, poly, TEOS.
Kini ilana naa?
PECVD-ilana kan ti o ṣajọpọ agbara pilasima ati CVD ni pipe. Imọ-ẹrọ PECVD nlo pilasima iwọn otutu kekere lati fa idasilẹ didan ni cathode ti iyẹwu ilana (ie, atẹ ayẹwo) labẹ titẹ kekere. Yiyọ didan yii tabi ẹrọ alapapo miiran le gbe iwọn otutu ti ayẹwo naa si ipele ti a ti pinnu tẹlẹ, ati lẹhinna ṣafihan iye iṣakoso ti gaasi ilana. Gaasi yii n gba lẹsẹsẹ awọn aati kemikali ati pilasima, ati nikẹhin ṣe fiimu ti o lagbara lori oju ti ayẹwo naa.

LPCVD - Iṣagbejade orule kemikali kekere-titẹ (LPCVD) jẹ apẹrẹ lati dinku titẹ iṣẹ ti gaasi ifaseyin ninu riakito si bii 133Pa tabi kere si.

Kini awọn abuda ti ọkọọkan?

PECVD - Ilana ti o daapọ agbara pilasima daradara ati CVD: 1) Iṣiṣẹ iwọn otutu kekere (yiya fun ibajẹ iwọn otutu giga si ẹrọ); 2) Idagba fiimu yara; 3) Ko picky nipa awọn ohun elo, OX, Nitride, irin ẹnu-bode, amorphous erogba le gbogbo dagba; 4) Eto ibojuwo inu-ile wa, eyi ti o le ṣatunṣe ohunelo nipasẹ awọn iṣiro ion, oṣuwọn sisan gaasi, iwọn otutu ati sisanra fiimu.
LPCVD - Awọn fiimu tinrin ti o gbasilẹ nipasẹ LPCVD yoo ni agbegbe igbesẹ ti o dara julọ, akopọ ti o dara ati iṣakoso eto, oṣuwọn ifisilẹ giga ati iṣelọpọ. Ni afikun, LPCVD ko nilo gaasi ti ngbe, nitorinaa o dinku orisun ti idoti patiku pupọ ati pe o lo pupọ ni awọn ile-iṣẹ semikondokito ti o ṣafikun iye giga fun fifisilẹ fiimu tinrin.

 

Kaabọ si awọn alabara eyikeyi lati gbogbo agbala aye lati ṣabẹwo si wa fun ijiroro siwaju!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/