Iṣakojọpọ ipele wafer jade (FOWLP) jẹ ọna ti o munadoko-owo ni ile-iṣẹ semikondokito. Ṣugbọn awọn aṣoju ẹgbẹ ipa ti yi ilana ti wa ni warping ati ërún aiṣedeede. Laibikita ilọsiwaju ilọsiwaju ti ipele wafer ati afẹfẹ ipele nronu jade imọ-ẹrọ, awọn ọran wọnyi ti o ni ibatan si mimu tun wa.
Warping jẹ ohun ti o ṣẹlẹ nipasẹ isunki kẹmika ti idapọmọra funmorawon olomi (LCM) lakoko imularada ati itutu agbaiye lẹhin mimu. Idi keji fun ijagun ni aiṣedeede ni olùsọdipúpọ ti imugboroosi igbona (CTE) laarin chirún ohun alumọni, ohun elo mimu, ati sobusitireti. Aiṣedeede jẹ nitori otitọ pe awọn ohun elo mimu viscous pẹlu akoonu kikun ti o ga julọ le nigbagbogbo ṣee lo labẹ iwọn otutu giga ati titẹ giga. Bi awọn ërún ti wa ni ti o wa titi si awọn ti ngbe nipasẹ awọn ibùgbé imora, jijẹ otutu yoo rirọ awọn alemora, nitorina irẹwẹsi agbara alemora ati atehinwa awọn oniwe-agbara lati fix awọn ërún. Awọn keji idi fun aiṣedeede ni wipe awọn titẹ ti a beere fun igbáti ṣẹda wahala lori kọọkan ërún.
Lati le wa awọn ojutu si awọn italaya wọnyi, DELO ṣe iwadii iṣeeṣe kan nipa sisọpọ chirún afọwọṣe ti o rọrun kan sori ẹrọ ti ngbe. Ni awọn ofin ti iṣeto, wafer ti ngbe ni a bo pẹlu alemora imora igba diẹ, ati pe a gbe chirún naa si isalẹ. Lẹhinna, wafer naa ti di apẹrẹ nipa lilo alemora DELO viscosity kekere ati imularada pẹlu itọsi ultraviolet ṣaaju yiyọ wafer ti ngbe. Ni iru awọn ohun elo, ga iki thermosetting igbáti apapo ti wa ni ojo melo lo.
DELO tun ṣe afiwe oju-iwe ogun ti awọn ohun elo imudọgba thermosetting ati awọn ọja imularada UV ninu idanwo naa, ati awọn abajade fihan pe awọn ohun elo iṣipopada aṣoju yoo ja lakoko akoko itutu lẹhin iwọn otutu. Nitorinaa, lilo imularada ultraviolet otutu yara dipo imularada alapapo le dinku ipa ti aiṣedeede imugboroja igbona laarin agbo ti o n ṣe ati ti ngbe, nitorinaa idinku ijagun si iwọn nla ti o ṣeeṣe.
Lilo awọn ohun elo imularada ultraviolet tun le dinku lilo awọn kikun, nitorinaa idinku iki ati modulus ọdọ. Igi iki ti alemora awoṣe ti a lo ninu idanwo jẹ 35000 mPa · s, ati modulus ọdọ jẹ 1 GPa. Nitori isansa ti alapapo tabi titẹ giga lori ohun elo mimu, aiṣedeede chirún le dinku si iwọn nla ti o ṣeeṣe. Apapọ igbáti aṣoju kan ni iki ti bii 800000 mPa · s ati modulus ọdọ kan ni iwọn awọn nọmba meji.
Lapapọ, iwadii ti fihan pe lilo awọn ohun elo imularada UV fun sisọ agbegbe-nla jẹ anfani fun iṣelọpọ olupilẹṣẹ olufẹ jade iṣakojọpọ ipele wafer, lakoko ti o dinku oju-iwe ogun ati aiṣedeede chirún si iwọn nla ti o ṣeeṣe. Pelu awọn iyatọ ti o ṣe pataki ni awọn iṣiro imugboroja gbona laarin awọn ohun elo ti a lo, ilana yii tun ni awọn ohun elo pupọ nitori isansa ti iyatọ iwọn otutu. Ni afikun, itọju UV tun le dinku akoko imularada ati lilo agbara.
UV dipo imularada igbona dinku oju-iwe ogun ati ki o ku iyipada ninu iṣakojọpọ ipele-afẹfẹ jade
Ifiwera awọn wafers ti a bo 12-inch ni lilo imudana gbona, agbo-giga (A) ati agbo-ara UV-iwosan (B)
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kọkanla-05-2024