Nigbati àtọ siowo awọn iroyin, Agbọye elaborateness ti iṣelọpọ semikondokito jẹ iwulo. Wafer semikondokito jẹ paati pataki ni ile-iṣẹ yii, ṣugbọn wọn nigbagbogbo dojuko idoti lati aimọ oriṣiriṣi. Awọn idoti wọnyi, pẹlu atomu, ọrọ elere, ion ti fadaka, ati oxide, le ni ipa lori ilana iṣelọpọ.
Awọn patikulugẹgẹ bi awọn polima ati etching aimọ igbekele lori intermolecular agbara lati adsorb lori wafer ká dada, ni ipa lori ẹrọ Fọtolithography.Organic impuritiesbi homo ara epo ati ẹrọ epo fọọmu movie lori wafer, impede ninu.ti fadaka eroja ionsbi irin ati aluminiomu ti wa ni igba yọ nipasẹ awọn Ibiyi ti ti fadaka eroja dẹlẹ eka.Awọn oxidesṣe idiwọ ilana iṣelọpọ ati pe a yọkuro ni igbagbogbo nipasẹ Rẹ ni dilute hydrofluoric acid.
awọn ọna kemikaliti wa ni commonly lo lati nu ati oloriburuku wafer semikondokito. Ọrinrin kemikali ninu ilana bi ojutu submergence ati darí scrub ti wa ni ti nmulẹ. supersonic ati ọna mimọ megasonic nfunni ni awọn ọna to munadoko lati yọ aimọ kuro. mimọ kemikali gbẹ, pẹlu pilasima ati imọ-ẹrọ alakoso gaasi, tun ṣe iṣẹ kan ni awọn ilana mimọ wafer semikondokito.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-29-2024