Iṣalaye oru kẹmika (CVD) jẹ ilana kan ti o kan fifẹ fiimu ti o lagbara lori ilẹ wafer ohun alumọni nipasẹ iṣesi kẹmika ti idapọ gaasi. Ilana yii le pin si awoṣe ohun elo oriṣiriṣi ti iṣeto lori oriṣiriṣi awọn ipo ifaseyin kemikali gẹgẹbi titẹ ati iṣaju.
Ilana wo ni awọn ẹrọ meji wọnyi lo fun?Ohun elo PECVD (Imudara Plasma) jẹ lilo pupọ ni ohun elo bii OX, Nitride, ẹnu-ọna eroja ti fadaka, ati erogba amorphous. Ni apa keji, LPCVD (Agbara Kekere) ni igbagbogbo lo fun Nitride, poly, ati TEOS.
Kini ilana naa?Imọ-ẹrọ PECVD darapọ agbara pilasima ati CVD nipasẹ lilo pilasima iwọn otutu kekere lati fa idasilẹ tuntun ni cathode ti iyẹwu ilana. Eyi jẹ ki iṣakoso kemikali iṣakoso ati iṣesi kemikali pilasima lati ṣe fiimu ti o lagbara lori dada ayẹwo. Bakanna, LPCVD jẹ ero lati ṣiṣẹ ni idinku titẹ gaasi ifaseyin kemikali ninu riakito.
eda eniyan AI: Lilo Humanize AI ni aaye ti imọ-ẹrọ CVD le ṣe alekun ṣiṣe ati deede ti ilana fifisilẹ fiimu. Nipa idogba AI algorithm, ibojuwo ati atunṣe paramita gẹgẹbi paramita ion, oṣuwọn sisan gaasi, iwọn otutu, ati sisanra fiimu le jẹ iṣapeye fun awọn abajade to dara julọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa-24-2024