Bi han loke, ni a aṣoju
Idaji akọkọ:
Elementi alapapo (okun alapapo): ti o wa ni ayika tube ileru, nigbagbogbo ṣe ti awọn okun waya resistance, ti a lo lati gbona inu tube ileru.
Quartz Tube: Ipilẹ ileru ifoyina gbigbona, ti a ṣe ti quartz mimọ-giga ti o le koju awọn iwọn otutu giga ati ki o jẹ ailagbara kemikali.
Ifunni Gas: Ti o wa ni oke tabi ẹgbẹ ti tube ileru, a lo lati gbe atẹgun tabi awọn gaasi miiran si inu tube ileru.
SS Flange: awọn paati ti o so awọn tubes quartz ati awọn laini gaasi, ni idaniloju wiwọ ati iduroṣinṣin ti asopọ naa.
Awọn Laini Ifunni Gaasi: Awọn paipu ti o so MFC pọ si ibudo ipese gaasi fun gbigbe gaasi.
MFC (Aṣakoso Sisan Mass): Ẹrọ kan ti o ṣakoso sisan gaasi inu tube quartz kan lati ṣe deede deede iye gaasi ti o nilo.
Vent: Ti a lo lati sọ gaasi eefin lati inu tube ileru si ita ti ẹrọ naa.
Apa isalẹ
Ohun alumọni Wafers ni Dimu: Silicon wafers wa ni ile ni pataki kan dimu lati rii daju ooru aṣọ nigba ifoyina.
Dimu Wafer: Ti a lo lati mu wafer silikoni mu ati rii daju pe wafer silikoni duro ni iduroṣinṣin lakoko ilana naa.
Pedestal: Ẹya kan ti o mu Dimu wafer ohun alumọni kan, nigbagbogbo ṣe ti ohun elo sooro otutu giga.
Elevator: Ti a lo lati gbe awọn dimu Wafer sinu ati jade kuro ninu awọn tubes quartz fun ikojọpọ laifọwọyi ati gbigbejade awọn wafer silikoni.
Robot Gbigbe Wafer: ti o wa ni ẹgbẹ ti ẹrọ tube ileru, o lo lati yọ wafer silikoni kuro laifọwọyi lati apoti ki o gbe sinu tube ileru, tabi yọ kuro lẹhin ṣiṣe.
Ibi ipamọ Kasẹti Carousel: A lo carousel ibi ipamọ kasẹti lati tọju apoti kan ti o ni awọn wafers ohun alumọni ati pe o le yiyi fun iraye si roboti.
Kasẹti Wafer: Kasẹti wafer ni a lo lati fipamọ ati gbigbe awọn wafer silikoni lati ṣe ilọsiwaju.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 22-2024