Ilana ti inu ti ohun elo tube ileru jẹ alaye ni awọn alaye

Bi han loke, ni a aṣoju

Idaji akọkọ:

▪ Ohun elo alapapo (igi alapapo):

ti o wa ni ayika tube ileru, nigbagbogbo ti awọn okun waya resistance, ti a lo lati gbona inu tube ileru.

▪ Tube Quartz:

Ipilẹ ileru ifoyina gbigbona, ti a ṣe ti quartz mimọ-giga ti o le koju awọn iwọn otutu giga ati ki o wa ni ailagbara kemikali.

▪ Ifunni gaasi:

Ti o wa ni oke tabi ẹgbẹ ti tube ileru, a lo lati gbe atẹgun tabi awọn gaasi miiran si inu tube ileru.

▪ Flange SS:

awọn paati ti o so awọn tubes quartz ati awọn laini gaasi, ni idaniloju wiwọ ati iduroṣinṣin ti asopọ naa.

▪ Awọn Laini Ifunni Gaasi:

Awọn paipu ti o so MFC pọ si ibudo ipese gaasi fun gbigbe gaasi.

▪ MFC (Aṣakoso Sisan Mass):

Ẹrọ kan ti o ṣakoso sisan gaasi inu tube quartz kan lati ṣe deede ni deede iye gaasi ti o nilo.

▪ Afẹfẹ:

Ti a lo lati sọ gaasi eefin lati inu tube ileru si ita ti ẹrọ naa.

Apa isalẹ:

▪ Awọn Wafers Silicon Ni Dimu:

Awọn ohun alumọni silikoni ti wa ni ile ni Dimu pataki kan lati rii daju pe ooru iṣọkan lakoko ifoyina.

▪ Dimu Wafer:

Ti a lo lati mu wafer silikoni mu ati rii daju pe wafer silikoni duro ni iduroṣinṣin lakoko ilana naa.

▪ Ìtẹ̀síwájú:

Ẹya ti o mu Dimu wafer ohun alumọni kan, nigbagbogbo ṣe ti ohun elo sooro iwọn otutu giga.

▪ Atẹgun:

Ti a lo lati gbe awọn dimu Wafer sinu ati jade kuro ninu awọn tubes quartz fun ikojọpọ laifọwọyi ati ikojọpọ awọn wafer silikoni.

▪ Robot Gbigbe Wafer:

ti o wa ni ẹgbẹ ti ẹrọ tube ileru, o ti lo lati yọ ohun alumọni siliki kuro laifọwọyi lati apoti ki o si gbe e sinu tube ileru, tabi yọ kuro lẹhin ṣiṣe.

▪ Carousel Ibi ipamọ Kasẹti:

Carousel ipamọ kasẹti ni a lo lati tọju apoti kan ti o ni awọn wafer silikoni ati pe o le yiyi fun iraye si roboti.

▪ Kasẹti Wafer:

Kasẹti wafer ni a lo lati fipamọ ati gbe awọn wafer silikoni lati ṣe ilọsiwaju.