Diẹ ninu awọn ohun elo Organic ati awọn nkan inorganic ni a nilo lati kopa ninu iṣelọpọ semikondokito. Ni afikun, niwọn igba ti ilana naa jẹ nigbagbogbo ni yara mimọ pẹlu ikopa eniyan, semikondokitowafersti wa ni sàì ti doti nipa orisirisi impurities.
Ni ibamu si awọn orisun ati iseda ti awọn contaminants, won le wa ni aijọju pin si mẹrin isori: patikulu, Organic ọrọ, irin ions ati oxides.
1. Awọn patikulu:
Patikulu jẹ nipataki diẹ ninu awọn polima, photoresists ati etching impurities.
Iru contaminants nigbagbogbo gbarale awọn ipa intermolecular lati adsorb lori dada ti wafer, ni ipa lori dida awọn isiro jiometirika ati awọn aye itanna ti ilana fọtolithography ẹrọ naa.
Iru contaminants ti wa ni o kun kuro nipa maa din wọn olubasọrọ agbegbe pẹlu awọn dada ti awọnwafernipasẹ awọn ọna ti ara tabi kemikali.
2. Nkan ti ara:
Awọn orisun ti awọn idoti eleto jẹ iwọn jakejado, gẹgẹ bi epo awọ ara eniyan, kokoro arun, epo ẹrọ, girisi igbale, photoresist, awọn ohun mimu mimọ, ati bẹbẹ lọ.
Iru awọn contaminants maa n ṣe fiimu Organic lori dada ti wafer lati ṣe idiwọ omi mimọ lati de oke ti wafer, ti o yọrisi mimọ pipe ti dada wafer.
Yiyọ iru awọn idoti bẹẹ ni a ṣe nigbagbogbo ni igbesẹ akọkọ ti ilana mimọ, nipataki lilo awọn ọna kemikali bii sulfuric acid ati hydrogen peroxide.
3. Awọn ions irin:
Awọn idoti irin ti o wọpọ pẹlu irin, bàbà, aluminiomu, chromium, irin simẹnti, titanium, iṣuu soda, potasiomu, litiumu, bbl Awọn orisun akọkọ jẹ ọpọlọpọ awọn ohun elo, awọn paipu, awọn reagents kemikali, ati idoti irin ti a ṣe nigbati awọn asopọ irin ti wa ni akoso lakoko sisẹ.
Iru aimọ yii nigbagbogbo yọkuro nipasẹ awọn ọna kemikali nipasẹ dida awọn eka ion irin.
4. Oxide:
Nigba ti semikondokitowafersti wa ni fara si ayika ti o ni awọn atẹgun ati omi, a adayeba Layer Layer yoo dagba lori dada. Fiimu ohun elo afẹfẹ yoo ṣe idiwọ ọpọlọpọ awọn ilana ni iṣelọpọ semikondokito ati tun ni awọn aimọ irin kan. Labẹ awọn ipo kan, wọn yoo dagba awọn abawọn itanna.
Yiyọ kuro ti fiimu oxide yii nigbagbogbo pari nipasẹ rirẹ ni hydrofluoric acid dilute.
Gbogbogbo ninu ọkọọkan
Awọn idọti ti n ṣafẹri lori oju ti semikondokitowafersle pin si awọn oriṣi mẹta: molikula, ionic ati atomiki.
Lara wọn, agbara adsorption laarin awọn impurities molikula ati awọn dada ti wafer jẹ alailagbara, ati pe iru awọn patikulu aimọ yii jẹ irọrun rọrun lati yọ kuro. Wọn jẹ awọn idoti olomi pupọ julọ pẹlu awọn abuda hydrophobic, eyiti o le pese iboju boju fun ionic ati awọn impurities atomiki ti o jẹ idoti dada ti awọn wafers semikondokito, eyiti ko ṣe iranlọwọ si yiyọkuro awọn iru idoti meji wọnyi. Nitorinaa, nigba ti kemikali ninu awọn wafers semikondokito, awọn idoti molikula yẹ ki o yọkuro ni akọkọ.
Nitorinaa, ilana gbogbogbo ti semikondokitowaferilana mimọ jẹ:
De-molecularization-deionization-de-atomization-deionized omi rinsing.
Ni afikun, lati le yọ Layer oxide adayeba kuro lori oju wafer, igbesẹ amino acid dilute kan nilo lati ṣafikun. Nitorinaa, imọran ti mimọ ni lati kọkọ yọ idoti Organic kuro lori dada; lẹhinna tu Layer oxide; nipari yọ awọn patikulu ati idoti irin, ati passivate awọn dada ni akoko kanna.
Wọpọ ninu awọn ọna
Awọn ọna kẹmika ni igbagbogbo lo fun mimọ awọn wafers semikondokito.
Kemikali ninu n tọka si ilana ti lilo ọpọlọpọ awọn reagents kemikali ati awọn olomi Organic lati fesi tabi tu awọn aimọ ati awọn abawọn epo lori dada ti wafer lati desorb awọn idoti, ati lẹhinna fi omi ṣan pẹlu iye nla ti mimọ-giga ati omi tutu deionized lati gba a mọ dada.
Mimo kemikali le pin si mimọ kemikali tutu ati mimọ kemikali gbẹ, laarin eyiti mimọ kemikali tutu tun jẹ gaba.
Mimọ kemikali tutu
1. Mimọ kemikali tutu:
Mimọ kemikali tutu ni akọkọ pẹlu immersion ojutu, fifọ ẹrọ, mimọ ultrasonic, mimọ megasonic, spraying rotari, abbl.
2. Solusan iribọmi:
Solusan immersion jẹ ọna ti yiyọ idoti dada nipa ibọmi wafer ni ojutu kemikali kan. O jẹ ọna ti o wọpọ julọ ti a lo ni mimọ kemikali tutu. Awọn solusan oriṣiriṣi le ṣee lo lati yọ awọn oriṣiriṣi awọn idoti kuro lori oju ti wafer.
Ni ọpọlọpọ igba, ọna yii ko le yọkuro awọn idoti patapata lori dada ti wafer, nitorinaa awọn igbese ti ara gẹgẹbi alapapo, olutirasandi, ati gbigbo ni igbagbogbo lo lakoko immersing.
3. Fifọ ẹrọ mimu:
Ṣiṣayẹwo ẹrọ ni igbagbogbo lati yọkuro awọn patikulu tabi awọn iṣẹku Organic lori dada wafer. Ni gbogbogbo, o le pin si awọn ọna meji:fifọ ọwọ ati fifọ nipasẹ wiper.
Fifọ ọwọni alinisoro scrubing ọna. Fọlẹ irin alagbara kan ni a lo lati mu bọọlu ti a fi sinu ẹmu ethanol anhydrous tabi awọn ohun elo Organic miiran ki o rọra pa dada wafer ni itọsọna kanna lati yọ fiimu epo-eti, eruku, lẹ pọ tabi awọn patikulu to lagbara miiran. Ọna yii rọrun lati fa awọn idọti ati idoti to ṣe pataki.
Awọn wiper nlo yiyi darí lati bi won awọn dada ti awọn wafer pẹlu kan rirọ kìki irun fẹlẹ tabi kan adalu fẹlẹ. Ọna yii dinku pupọ lori wafer. Awọn wiper ti o ga-titẹ yoo ko fá awọn wafer nitori aini ti darí edekoyede, ati ki o le yọ awọn koto ninu awọn yara.
4. Ultrasonic ninu:
Ultrasonic ninu jẹ ọna mimọ ti a lo ni lilo pupọ ni ile-iṣẹ semikondokito. Awọn anfani rẹ jẹ ipa mimọ to dara, iṣẹ ti o rọrun, ati pe o tun le nu awọn ẹrọ eka ati awọn apoti mọ.
Ọna mimọ yii wa labẹ iṣe ti awọn igbi ultrasonic ti o lagbara (igbohunsafẹfẹ ultrasonic ti o wọpọ jẹ 20s40kHz), ati awọn ẹya fọnka ati ipon yoo jẹ ipilẹṣẹ inu alabọde olomi. Apa fọnka yoo ṣe agbejade ti nkuta iho ti o fẹẹrẹfẹ. Nigbati o ti nkuta iho ba sọnu, titẹ agbegbe ti o lagbara yoo wa ni ipilẹṣẹ nitosi rẹ, fifọ awọn asopọ kemikali ninu awọn ohun elo lati tu awọn idoti lori oju wafer. Ultrasonic ninu jẹ munadoko julọ fun yiyọ awọn iṣẹku ṣiṣan insoluble tabi insoluble.
5. Megasonic ninu:
Megasonic ninu ko nikan ni awọn anfani ti ultrasonic ninu, ṣugbọn tun bori awọn ailagbara rẹ.
Mimọ Megasonic jẹ ọna ti mimọ awọn wafers nipa apapọ ipa gbigbọn agbara-giga (850kHz) pẹlu iṣesi kemikali ti awọn aṣoju mimọ kemikali. Lakoko mimọ, awọn ohun elo ojutu jẹ isare nipasẹ igbi megasonic (iyara lẹsẹkẹsẹ ti o pọ julọ le de ọdọ 30cmVs), ati igbi omi iyara giga nigbagbogbo ni ipa lori dada wafer, nitorinaa awọn idoti ati awọn patikulu to dara ti o somọ dada ti wafer ti wa ni tipatipa kuro ki o si tẹ ojutu mimọ. Fikun awọn surfactants ekikan si ojutu mimọ, ni apa kan, le ṣaṣeyọri idi ti yiyọ awọn patikulu ati ọrọ Organic lori dada didan nipasẹ adsorption ti awọn surfactants; ti a ba tun wo lo, nipasẹ awọn Integration ti surfactants ati ekikan ayika, o le se aseyori awọn idi ti yiyọ irin kontaminesonu lori dada ti awọn polishing dì. Ọna yii le ni igbakanna ṣe ipa ti wiwọ ẹrọ ati mimọ kemikali.
Ni lọwọlọwọ, ọna mimọ megasonic ti di ọna ti o munadoko fun mimọ awọn aṣọ didan.
6. Ọna sokiri Rotari:
Ọna fun sokiri iyipo jẹ ọna ti o lo awọn ọna ẹrọ lati yi wafer ni iyara giga, ati fifa omi nigbagbogbo (omi deionized ti o ni mimọ tabi omi mimọ miiran) lori oju wafer lakoko ilana iyipo lati yọ awọn aimọ kuro lori dada ti wafer.
Ọna yii nlo idoti lori oju ti wafer lati tu ninu omi ti a fi sokiri (tabi fesi kemikali pẹlu rẹ lati tu), o si lo ipa centrifugal ti yiyi iyara-giga lati jẹ ki omi ti o ni awọn idoti ya sọtọ si oju ti wafer. ni akoko.
Ọna fun sokiri iyipo ni awọn anfani ti mimọ kemikali, mimọ awọn ẹrọ ito, ati fifọ titẹ-giga. Ni akoko kanna, ọna yii tun le ni idapo pelu ilana gbigbẹ. Lẹhin ti akoko kan ti deionized omi sokiri ninu, awọn omi sokiri ti wa ni duro ati ki o kan fun sokiri gaasi ti wa ni lilo. Ni akoko kanna, iyara yiyi le pọ si lati mu agbara centrifugal pọ si lati yara gbẹ dada ti wafer.
7.Gbẹ kemikali ninu
Isọdi gbigbẹ n tọka si imọ-ẹrọ mimọ ti ko lo awọn ojutu.
Awọn imọ-ẹrọ mimọ gbigbẹ ti a lo lọwọlọwọ pẹlu: imọ-ẹrọ mimọ pilasima, imọ-ẹrọ mimọ ipele gaasi, imọ-ẹrọ mimọ tan ina, ati bẹbẹ lọ.
Awọn anfani ti igbẹgbẹ gbigbẹ jẹ ilana ti o rọrun ati pe ko si idoti ayika, ṣugbọn iye owo jẹ giga ati pe ipari ti lilo ko tobi fun akoko naa.
1. Imọ-ẹrọ mimọ pilasima:
Pilasima mimọ ni igbagbogbo lo ninu ilana yiyọkuro photoresist. Iwọn kekere ti atẹgun ni a ṣe sinu eto ifaseyin pilasima. Labẹ iṣẹ ti aaye ina mọnamọna ti o lagbara, atẹgun n ṣe pilasima, eyiti o yara oxidizes photoresist sinu ipo gaasi iyipada ati ti jade.
Imọ-ẹrọ mimọ yii ni awọn anfani ti iṣiṣẹ irọrun, ṣiṣe giga, dada mimọ, ko si awọn itọ, ati pe o jẹ itara lati rii daju didara ọja ni ilana idinku. Jubẹlọ, o ko ni lo acids, alkalis ati Organic olomi, ko si si isoro bi egbin nu ati ayika idoti. Nitorina, o ti wa ni increasingly wulo nipa awon eniyan. Sibẹsibẹ, ko le yọ erogba kuro ati awọn irin miiran ti kii ṣe iyipada tabi awọn idoti ohun elo afẹfẹ.
2. Imọ-ẹrọ mimọ alakoso gaasi:
Isọdi ipele gaasi tọka si ọna mimọ ti o nlo ipele gaasi deede ti nkan ti o baamu ninu ilana omi lati ṣe ajọṣepọ pẹlu nkan ti o doti lori oju wafer lati ṣaṣeyọri idi ti yiyọ awọn aimọ.
Fun apẹẹrẹ, ninu ilana CMOS, mimọ wafer nlo ibaraenisepo laarin ipele gaasi HF ati oru omi lati yọ awọn oxides kuro. Nigbagbogbo, ilana HF ti o ni omi gbọdọ wa pẹlu ilana yiyọ patiku kan, lakoko ti lilo gaasi ipele HF imọ-ẹrọ mimọ ko nilo ilana yiyọ patiku atẹle.
Awọn anfani pataki julọ ni akawe si ilana HF olomi jẹ agbara kemikali HF ti o kere pupọ ati ṣiṣe mimọ ti o ga julọ.
Kaabọ si awọn alabara eyikeyi lati gbogbo agbala aye lati ṣabẹwo si wa fun ijiroro siwaju!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-13-2024