Ṣiṣejade ẹrọ semikondokito ni akọkọ pẹlu awọn ẹrọ ọtọtọ, awọn iyika ti a ṣepọ ati awọn ilana iṣakojọpọ wọn.
Iṣelọpọ Semikondokito le pin si awọn ipele mẹta: iṣelọpọ ohun elo ara ọja, ọjawaferiṣelọpọ ati apejọ ẹrọ. Lara wọn, idoti to ṣe pataki julọ ni ipele iṣelọpọ wafer ọja.
Awọn idoti ni pataki pin si omi idọti, gaasi egbin ati egbin to lagbara.
Awọn ilana iṣelọpọ Chip:
Silikoni waferlẹhin lilọ itagbangba - mimọ - ifoyina - koju aṣọ ile - fọtolithography - idagbasoke - etching - itankale, gbin ion - ifasilẹ oru kemikali - didan ẹrọ kemikali - didan, ati bẹbẹ lọ.
Omi idọti
Iye nla ti omi idọti jẹ ipilẹṣẹ ni igbesẹ ilana kọọkan ti iṣelọpọ semikondokito ati idanwo apoti, nipataki omi idọti-orisun acid, omi idọti ti o ni amonia ati omi idọti Organic.
1. omi idọti ti o ni fluorine:
Hydrofluoric acid di epo akọkọ ti a lo ninu ifoyina ati awọn ilana etching nitori awọn ohun-ini oxidizing ati ibajẹ. Omi idọti ti o ni fluorine ninu ilana ni akọkọ wa lati ilana itankale ati ilana didan kemikali ninu ilana iṣelọpọ chirún. Ninu ilana mimọ ti awọn wafer silikoni ati awọn ohun elo ti o jọmọ, hydrochloric acid tun lo ni ọpọlọpọ igba. Gbogbo awọn ilana wọnyi ti pari ni awọn tanki etching igbẹhin tabi ohun elo mimọ, nitorinaa omi idọti ti o ni fluorine le jẹ idasilẹ ni ominira. Gẹgẹbi ifọkansi naa, o le pin si omi idọti ti o ni fluorine ti o ga ati idọti kekere ti o ni amonia ti o ni omi idọti. Ni gbogbogbo, ifọkansi ti omi idọti ti o ni amonia-giga le de ọdọ 100-1200 mg/L. Pupọ awọn ile-iṣẹ tunlo apakan yii ti omi idọti fun awọn ilana ti ko nilo didara omi giga.
2. Omi idọti-ipilẹ acid:
Fere gbogbo ilana ninu awọn ese Circuit ẹrọ ilana nbeere ni ërún lati wa ni ti mọtoto. Ni lọwọlọwọ, sulfuric acid ati hydrogen peroxide jẹ awọn fifa mimọ ti o wọpọ julọ ti a lo ninu ilana iṣelọpọ iyika iṣọpọ. Ni akoko kanna, awọn reagents orisun-acid gẹgẹbi nitric acid, hydrochloric acid ati omi amonia tun lo.
Omi idọti-orisun acid ti ilana iṣelọpọ ni akọkọ wa lati ilana mimọ ninu ilana iṣelọpọ chirún. Ninu ilana iṣakojọpọ, chirún naa ni itọju pẹlu ojutu ipilẹ-acid lakoko elekitirola ati itupalẹ kemikali. Lẹhin itọju, o nilo lati fọ pẹlu omi mimọ lati ṣe agbejade omi idọti-orisun acid. Ni afikun, awọn reagents orisun-acid gẹgẹbi sodium hydroxide ati hydrochloric acid ni a tun lo ni ibudo omi mimọ lati tun anion ati awọn resini cation lati ṣe agbejade omi idọti isọdọtun-ipilẹ. Fifọ omi iru jẹ tun ṣejade lakoko ilana fifọ gaasi egbin acid-base. Ni awọn ile-iṣẹ iṣelọpọ iyika iṣọpọ, iye omi idọti-orisun acid jẹ pataki pupọ.
3. Omi egbin Organic:
Nitori awọn ilana iṣelọpọ ti o yatọ, iye awọn olomi Organic ti a lo ninu ile-iṣẹ semikondokito yatọ pupọ. Bibẹẹkọ, bi awọn aṣoju mimọ, awọn ohun elo Organic tun jẹ lilo pupọ ni ọpọlọpọ awọn ọna asopọ ti apoti iṣelọpọ. Diẹ ninu awọn olomi di itasi omi idọti Organic.
4. Omi idọti miiran:
Ilana etching ti ilana iṣelọpọ semikondokito yoo lo iye nla ti amonia, fluorine ati omi mimọ-giga fun isọkuro, nitorinaa ti n ṣe idasilo omi idọti ti o ni amonia ti o ga julọ.
Ilana itanna ni a nilo ninu ilana iṣakojọpọ semikondokito. Awọn ërún nilo lati wa ni ti mọtoto lẹhin electroplating, ati electroplating ninu omi idọti yoo wa ni ti ipilẹṣẹ ninu ilana yi. Niwọn igba ti a ti lo diẹ ninu awọn irin ni elekitiroplating, awọn itujade ion irin yoo wa ninu omi idọti mimu eletiriki, gẹgẹbi asiwaju, tin, disiki, zinc, aluminiomu, ati bẹbẹ lọ.
Gaasi egbin
Niwọn igba ti ilana semikondokito ni awọn ibeere giga gaan fun mimọ ti yara iṣẹ, awọn onijakidijagan nigbagbogbo lo lati yọ ọpọlọpọ awọn iru ti awọn gaasi egbin ti yipada lakoko ilana naa. Nitorinaa, awọn itujade gaasi egbin ni ile-iṣẹ semikondokito jẹ ijuwe nipasẹ iwọn eefin nla ati ifọkansi itujade kekere. Awọn itujade gaasi egbin tun jẹ iyipada ni pataki.
Awọn itujade gaasi egbin wọnyi ni a le pin ni pataki si awọn ẹka mẹrin: gaasi ekikan, gaasi ipilẹ, gaasi egbin Organic ati gaasi majele.
1. Gaasi egbin-ipilẹ acid:
Gaasi egbin-orisun acid ni akọkọ wa lati itankale,CVD, CMP ati awọn ilana etching, eyiti o lo ojutu mimọ-acid lati sọ di mimọ.
Ni lọwọlọwọ, epo mimọ ti o wọpọ julọ ti a lo ni ilana iṣelọpọ semikondokito jẹ adalu hydrogen peroxide ati sulfuric acid.
Gaasi egbin ti o wa ninu awọn ilana wọnyi pẹlu awọn gaasi ekikan gẹgẹbi sulfuric acid, hydrofluoric acid, hydrochloric acid, nitric acid ati phosphoric acid, ati gaasi ipilẹ jẹ amonia ni pataki.
2. Gaasi egbin Organic:
Gaasi egbin Organic ni akọkọ wa lati awọn ilana bii fọtolithography, idagbasoke, etching ati itankale. Ninu awọn ilana wọnyi, ojutu Organic (gẹgẹbi oti isopropyl) ni a lo lati nu dada ti wafer, ati gaasi egbin ti ipilẹṣẹ nipasẹ iyipada jẹ ọkan ninu awọn orisun ti gaasi egbin Organic;
Ni akoko kanna, photoresist (photoresist) ti a lo ninu ilana ti fọtolithography ati etching ni awọn ohun elo ti o wa ni erupẹ ti o ni iyipada, gẹgẹbi butyl acetate, eyiti o ṣe iyipada sinu afẹfẹ lakoko ilana ilana wafer, eyiti o jẹ orisun miiran ti gaasi egbin Organic.
3. Gaasi egbin oloro:
Gaasi egbin majele wa lati awọn ilana bii epitaxy gara, etching gbẹ ati CVD. Ninu awọn ilana wọnyi, ọpọlọpọ awọn gaasi pataki mimọ-giga ni a lo lati ṣe ilana wafer, gẹgẹbi silikoni (SiHj), irawọ owurọ (PH3), tetrachloride carbon (CFJ), borane, boron trioxide, bbl Diẹ ninu awọn gaasi pataki jẹ majele. asphyxiating ati ipata.
Ni akoko kanna, ninu ilana etching gbigbẹ ati mimọ lẹhin ifasilẹ ọru kemikali ni iṣelọpọ semikondokito, iye nla ti gaasi oxide kikun (PFCS) ni a nilo, gẹgẹbi NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, ati bẹbẹ lọ Awọn agbo ogun perfluorinated wọnyi. ni gbigba agbara ni agbegbe ina infurarẹẹdi ati duro ni oju-aye fun igba pipẹ. A gba wọn ni gbogbogbo lati jẹ orisun akọkọ ti ipa eefin agbaye.
4. Iṣakojọpọ gaasi egbin:
Ti a ṣe afiwe pẹlu ilana iṣelọpọ semikondokito, gaasi egbin ti ipilẹṣẹ nipasẹ ilana iṣakojọpọ semikondokito jẹ irọrun ti o rọrun, nipataki gaasi ekikan, resini iposii ati eruku.
Gaasi egbin ekikan jẹ ipilẹṣẹ ni akọkọ ninu awọn ilana bii elekitiropu;
Gaasi egbin ti yan ni ipilẹṣẹ ninu ilana ti yan lẹhin titọ ọja ati lilẹ;
Ẹrọ dicing n ṣe ina gaasi egbin ti o ni eruku ohun alumọni itọpa lakoko ilana gige wafer.
Awọn iṣoro idoti ayika
Fun awọn iṣoro idoti ayika ni ile-iṣẹ semikondokito, awọn iṣoro akọkọ ti o nilo lati yanju ni:
· Ijadejade titobi nla ti awọn idoti afẹfẹ ati awọn agbo-ara ti o ni iyipada (VOCs) ninu ilana fọtolithography;
· Itujade ti awọn agbo ogun perfluorinated (PFCS) ni pilasima etching ati awọn ilana itusilẹ eeru kemikali;
· Agbara nla ti agbara ati omi ni iṣelọpọ ati aabo aabo ti awọn oṣiṣẹ;
· Atunlo ati ibojuwo idoti ti awọn ọja-ọja;
· Awọn iṣoro ti lilo awọn kemikali oloro ni awọn ilana iṣakojọpọ.
Ṣiṣejade mimọ
Ẹrọ iṣelọpọ semikondokito mimọ imọ-ẹrọ iṣelọpọ le ni ilọsiwaju lati awọn apakan ti awọn ohun elo aise, awọn ilana ati iṣakoso ilana.
Imudara awọn ohun elo aise ati agbara
Ni akọkọ, mimọ ti awọn ohun elo yẹ ki o wa ni iṣakoso muna lati dinku ifihan ti awọn aimọ ati awọn patikulu.
Ni ẹẹkeji, ọpọlọpọ awọn iwọn otutu, wiwa jijo, gbigbọn, mọnamọna foliteji giga-giga ati awọn idanwo miiran yẹ ki o ṣee ṣe lori awọn paati ti nwọle tabi awọn ọja ti o pari-pari ṣaaju ki wọn to fi sinu iṣelọpọ.
Ni afikun, mimọ ti awọn ohun elo iranlọwọ yẹ ki o wa ni iṣakoso muna. Awọn imọ-ẹrọ pupọ lo wa ti o le ṣee lo fun iṣelọpọ agbara mimọ.
Mu ilana iṣelọpọ pọ si
Ile-iṣẹ semikondokito funrararẹ n gbiyanju lati dinku ipa rẹ lori agbegbe nipasẹ awọn ilọsiwaju imọ-ẹrọ ilana.
Fun apẹẹrẹ, ni awọn ọdun 1970, awọn olomi Organic ni a lo nipataki lati nu wafers ni imọ-ẹrọ mimọ iyika iṣọpọ. Ni awọn ọdun 1980, acid ati awọn ojutu alkali gẹgẹbi sulfuric acid ni a lo lati nu awọn wafers. Titi di awọn ọdun 1990, imọ-ẹrọ mimọ atẹgun pilasima ti ni idagbasoke.
Ni awọn ofin ti iṣakojọpọ, ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ lọwọlọwọ lo imọ-ẹrọ itanna, eyiti yoo fa idoti irin ti o wuwo si agbegbe.
Sibẹsibẹ, awọn ohun elo iṣakojọpọ ni Shanghai ko lo imọ-ẹrọ itanna mọ, nitorinaa ko si ipa ti awọn irin eru lori agbegbe. O le rii pe ile-iṣẹ semikondokito maa n dinku ipa rẹ lori agbegbe nipasẹ awọn ilọsiwaju ilana ati iyipada kemikali ninu ilana idagbasoke tirẹ, eyiti o tun tẹle aṣa idagbasoke agbaye lọwọlọwọ ti ilana igbero ati apẹrẹ ọja ti o da lori agbegbe.
Lọwọlọwọ, awọn ilọsiwaju ilana agbegbe diẹ sii ni a ṣe, pẹlu:
· Rirọpo ati idinku ti gbogbo-ammonium PFCS gaasi, gẹgẹbi lilo gaasi PFCs pẹlu ipa eefin kekere lati rọpo gaasi pẹlu ipa eefin giga, gẹgẹbi imudarasi ṣiṣan ilana ati idinku iye gaasi PFCS ti a lo ninu ilana;
· Imudarasi olona-wafer ninu si mimọ-wafer kan lati dinku iye awọn aṣoju mimọ kemikali ti a lo ninu ilana mimọ.
· Iṣakoso ilana to muna:
a. Ṣe idanimọ adaṣe adaṣe ti ilana iṣelọpọ, eyiti o le mọ sisẹ deede ati iṣelọpọ ipele, ati dinku oṣuwọn aṣiṣe giga ti iṣẹ afọwọṣe;
b. Awọn ifosiwewe ayika ilana ilana-mimọ, nipa 5% tabi kere si ti pipadanu ikore jẹ ṣẹlẹ nipasẹ eniyan ati agbegbe. Awọn ifosiwewe ayika ilana ilana mimọ ni akọkọ pẹlu mimọ afẹfẹ, omi mimọ-giga, afẹfẹ fisinuirindigbindigbin, CO2, N2, iwọn otutu, ọriniinitutu, bbl Ipele mimọ ti idanileko mimọ ni igbagbogbo ni iwọn nipasẹ nọmba ti o pọju ti awọn patikulu laaye fun iwọn iwọn ẹyọkan. air, ti o jẹ, patiku ka fojusi;
c. Mu wiwa lagbara, ki o yan awọn aaye bọtini ti o yẹ fun wiwa ni awọn ibi iṣẹ pẹlu iye egbin nla lakoko ilana iṣelọpọ.
Kaabọ si awọn alabara eyikeyi lati gbogbo agbala aye lati ṣabẹwo si wa fun ijiroro siwaju!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-13-2024