1. Akopọ tiohun alumọni carbide sobusitiretiọna ẹrọ processing
Ẹlẹtiriki naaohun alumọni carbide sobusitireti Awọn igbesẹ ilana pẹlu: lilọ Circle ita, slicing, chamfering, lilọ, didan, mimọ, bbl Bibẹ jẹ igbesẹ pataki ni sisẹ sobusitireti semikondokito ati igbesẹ bọtini ni yiyipada ingot si sobusitireti. Lọwọlọwọ, gige tiohun alumọni carbide sobsitiretijẹ o kun waya gige. Ige slurry olona-waya jẹ ọna gige gige waya ti o dara julọ ni lọwọlọwọ, ṣugbọn awọn iṣoro tun wa ti didara gige ti ko dara ati pipadanu gige nla. Awọn isonu ti waya gige yoo se alekun pẹlu awọn ilosoke ti sobusitireti iwọn, eyi ti o jẹ ko conducive si awọnohun alumọni carbide sobusitiretiawọn olupese lati ṣaṣeyọri idinku iye owo ati ilọsiwaju ṣiṣe. Ninu ilana gige8-inch ohun alumọni carbide sobsitireti, Apẹrẹ dada ti sobusitireti ti a gba nipasẹ gige waya ko dara, ati awọn abuda nọmba bii WARP ati BOW ko dara.
Bibẹ jẹ igbesẹ bọtini ni iṣelọpọ sobusitireti semikondokito. Ile-iṣẹ naa n gbiyanju awọn ọna gige tuntun nigbagbogbo, gẹgẹbi gige okun waya diamond ati yiyọ laser. Imọ-ẹrọ idinku lesa ti wa gaan laipẹ. Ifihan ti imọ-ẹrọ yii dinku pipadanu gige ati ilọsiwaju ṣiṣe gige lati ipilẹ imọ-ẹrọ. Ojutu yiyọ laser ni awọn ibeere giga fun ipele adaṣe ati nilo imọ-ẹrọ tinrin lati ṣe ifọwọsowọpọ pẹlu rẹ, eyiti o wa ni ila pẹlu itọsọna idagbasoke iwaju ti iṣelọpọ sobusitireti ohun alumọni carbide. Awọn ikore bibẹ ti ibile amọ waya gige ni gbogbo 1.5-1.6. Ifihan imọ-ẹrọ yiyọ ina lesa le mu ikore bibẹ pọ si bii 2.0 (tọkasi ohun elo DISCO). Ni ọjọ iwaju, bi idagbasoke ti imọ-ẹrọ yiyọ ina lesa n pọ si, ikore bibẹ le ni ilọsiwaju siwaju; ni akoko kanna, yiyọ laser tun le mu ilọsiwaju daradara ti slicing. Gẹgẹbi iwadii ọja, oludari ile-iṣẹ DISCO ge bibẹ pẹlẹbẹ kan ni bii awọn iṣẹju 10-15, eyiti o munadoko diẹ sii ju gige gige amọ amọ lọwọlọwọ ti awọn iṣẹju 60 fun bibẹ kan.
Awọn igbesẹ ilana ti gige waya ti aṣa ti awọn ohun alumọni carbide sobsitireti jẹ: gige-igi-igi-iyẹfun-itanran didan didan ati didan didan. Lẹhin ilana yiyọ laser rọpo gige gige, ilana tinrin ni a lo lati rọpo ilana lilọ, eyiti o dinku isonu ti awọn ege ati ki o mu iṣẹ ṣiṣe ṣiṣẹ. Ilana yiyọ laser ti gige, lilọ ati didan ti awọn sobusitireti ohun alumọni carbide ti pin si awọn igbesẹ mẹta: ibojuwo oju laser-substrate stripping-ingot flattening: Ṣiṣayẹwo dada laser ni lati lo awọn iṣọn laser ultrafast lati ṣe ilana dada ti ingot lati ṣe iyipada kan Layer inu ingot; Yiyọ sobusitireti ni lati ya sobusitireti loke ipele ti a ti yipada lati ingot nipasẹ awọn ọna ti ara; ingot flattening ni lati yọ awọn ti a ti yipada Layer lori dada ti ingot lati rii daju awọn flatness ti awọn ingot dada.
Silikoni carbide lesa idinku ilana
2. Ilọsiwaju agbaye ni imọ-ẹrọ idinku laser ati awọn ile-iṣẹ kopa ti ile-iṣẹ
Ilana yiyọ ina lesa ni akọkọ gba nipasẹ awọn ile-iṣẹ okeokun: Ni ọdun 2016, DISCO ti Japan ṣe idagbasoke imọ-ẹrọ slicing laser tuntun KABRA, eyiti o ṣe fẹlẹfẹlẹ iyapa kan ati ya awọn wafers ni ijinle kan pato nipasẹ didimu nigbagbogbo ingot pẹlu lesa, eyiti o le ṣee lo fun ọpọlọpọ orisi ti SiC ingots. Ni Oṣu kọkanla ọdun 2018, Awọn Imọ-ẹrọ Infineon gba Siltectra GmbH, ibẹrẹ gige gige kan, fun awọn owo ilẹ yuroopu 124. Igbẹhin naa ni idagbasoke ilana Tutu Pipin, eyiti o nlo imọ-ẹrọ laser itọsi lati ṣalaye ibiti o yapa, aṣọ awọn ohun elo polymer pataki, eto itutu agbaiye ti a fa wahala, awọn ohun elo pipin ni deede, ati pọn ati mimọ lati ṣaṣeyọri gige wafer.
Ni awọn ọdun aipẹ, diẹ ninu awọn ile-iṣẹ inu ile tun ti wọ ile-iṣẹ ohun elo fifin laser: awọn ile-iṣẹ akọkọ jẹ Han's Laser, Delong Laser, Instrument West Lake, Intelligence Universal, China Electronics Technology Group Corporation ati Institute of Semiconductor of the Chinese Academy of Sciences. Lara wọn, awọn ile-iṣẹ ti a ṣe akojọ Han's Laser ati Delong Laser ti wa ni ipilẹ fun igba pipẹ, ati pe awọn ọja wọn jẹ iṣeduro nipasẹ awọn onibara, ṣugbọn ile-iṣẹ ni ọpọlọpọ awọn laini ọja, ati awọn ohun elo gbigbọn laser jẹ ọkan ninu awọn iṣowo wọn. Awọn ọja ti awọn irawọ ti nyara gẹgẹbi West Lake Instrument ti ṣaṣeyọri awọn gbigbe aṣẹ aṣẹ deede; Imọye Agbaye, China Electronics Technology Group Corporation 2, Institute of Semiconductor of the Chinese Academy of Sciences ati awọn ile-iṣẹ miiran ti tun tu ilọsiwaju ohun elo.
3. Awọn ifosiwewe awakọ fun idagbasoke ti imọ-ẹrọ idinku laser ati ariwo ti ifihan ọja
Idinku idiyele ti awọn sobusitireti ohun alumọni ohun alumọni 6-inch ṣe awakọ idagbasoke ti imọ-ẹrọ yiyọ laser: Ni lọwọlọwọ, idiyele ti awọn sobusitireti silikoni carbide 6-inch ti lọ silẹ ni isalẹ 4,000 yuan / nkan, ti o sunmọ idiyele idiyele ti diẹ ninu awọn aṣelọpọ. Ilana yiyọ ina lesa ni oṣuwọn ikore giga ati ere ti o lagbara, eyiti o nmu iwọn ilaluja ti imọ-ẹrọ yiyọ laser lati pọ si.
Tinrin ti awọn sobusitireti ohun alumọni ohun alumọni 8-inch ṣe iwakọ idagbasoke ti imọ-ẹrọ yiyọ laser: sisanra ti awọn sobusitireti ohun alumọni carbide 8-inch lọwọlọwọ jẹ 500um, ati pe o n dagbasoke si sisanra ti 350um. Ilana gige waya ko munadoko ni sisẹ silikoni carbide 8-inch (dada sobusitireti ko dara), ati awọn iye BOW ati WARP ti bajẹ ni pataki. Yiyọ lesa ni a gba bi imọ-ẹrọ ṣiṣe pataki fun sisẹ sobusitireti ohun alumọni 350um, eyiti o ṣe iwọn ilaluja ti imọ-ẹrọ yiyọ laser lati pọ si.
Awọn ireti ọja: SiC sobusitireti lesa ohun elo awọn anfani lati imugboroosi ti 8-inch SiC ati idinku idiyele ti 6-inch SiC. Ojuami pataki ile-iṣẹ lọwọlọwọ n sunmọ, ati idagbasoke ile-iṣẹ naa yoo ni iyara pupọ.
Akoko ifiweranṣẹ: Jul-08-2024