Iṣafihan si imọ-ẹrọ ifisilẹ tinrin fiimu ti kemikali (CVD).

Idojukọ Vapor Kemikali (CVD) jẹ imọ-ẹrọ ifisilẹ fiimu tinrin pataki, nigbagbogbo lo lati mura ọpọlọpọ awọn fiimu iṣẹ ṣiṣe ati awọn ohun elo tinrin, ati pe o lo pupọ ni iṣelọpọ semikondokito ati awọn aaye miiran.

1. Ṣiṣẹ opo ti CVD

Ninu ilana CVD, iṣaju gaasi kan (ọkan tabi diẹ sii awọn agbo ogun ti o ṣaju gaseous) ni a mu wa si olubasọrọ pẹlu dada sobusitireti ati ki o kikan si iwọn otutu kan lati fa idasi kemikali ati idogo lori dada sobusitireti lati dagba fiimu ti o fẹ tabi ibora. Layer. Ọja ti iṣesi kẹmika yii jẹ ohun ti o lagbara, nigbagbogbo agbopọ ti ohun elo ti o fẹ. Ti a ba fẹ lati fi ohun alumọni si aaye kan, a le lo trichlorosilane (SiHCl3) bi gaasi iṣaaju: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silicon yoo sopọ mọ aaye eyikeyi ti o han (mejeeji ti inu ati ita), lakoko ti chlorine ati awọn gaasi acid hydrochloric yoo yọ kuro ninu iyẹwu naa.

2. CVD classification

CVD gbigbona: Nipa gbigbona gaasi iṣaaju lati decompose ati fi sii sori dada sobusitireti. CVD Imudara Plasma (PECVD): Plasma ti wa ni afikun si CVD ti o gbona lati jẹki oṣuwọn ifaseyin ati iṣakoso ilana fifisilẹ. Irin Organic CVD (MOCVD): Lilo awọn agbo ogun Organic irin bi awọn gaasi iṣaaju, awọn fiimu tinrin ti awọn irin ati awọn semikondokito le ṣee pese, ati nigbagbogbo lo ninu iṣelọpọ awọn ẹrọ bii Awọn LED.

3. Ohun elo

(1) Semikondokito iṣelọpọ

Fiimu Silicide: ti a lo lati ṣeto awọn ipele idabobo, awọn sobusitireti, awọn ipele ipinya, bbl Nitride fiimu: ti a lo lati ṣeto silikoni nitride, nitride aluminiomu, ati bẹbẹ lọ, ti a lo ninu awọn LED, awọn ẹrọ agbara, bbl Fiimu irin: ti a lo lati ṣeto awọn ipele conductive, metallized fẹlẹfẹlẹ, ati be be lo.

(2) Ifihan ọna ẹrọ

Fiimu ITO: Fiimu ohun elo afẹfẹ iṣipaya, ti a lo nigbagbogbo ni awọn ifihan nronu alapin ati awọn iboju ifọwọkan. Fiimu Ejò: ti a lo lati ṣeto awọn ipele apoti, awọn laini adaṣe, ati bẹbẹ lọ, lati mu iṣẹ ṣiṣe ti awọn ẹrọ ifihan ṣiṣẹ.

(3) Awọn aaye miiran

Awọn ideri opiti: pẹlu awọn ohun elo ti o lodi si ifojusọna, awọn asẹ opiti, ati bẹbẹ lọ. Aṣọ atako-ibajẹ: ti a lo ninu awọn ẹya ọkọ ayọkẹlẹ, awọn ẹrọ aerospace, ati bẹbẹ lọ.

4. Awọn abuda kan ti ilana CVD

Lo agbegbe iwọn otutu ti o ga lati ṣe igbelaruge iyara ifaseyin. Nigbagbogbo a ṣe ni agbegbe igbale. Awọn idoti ti o wa lori oju ti apakan gbọdọ yọkuro ṣaaju kikun. Ilana naa le ni awọn aropin lori awọn sobusitireti ti a le bo, ie awọn idiwọn iwọn otutu tabi awọn idiwọn imuṣiṣẹ. Iboju CVD yoo bo gbogbo awọn agbegbe ti apakan, pẹlu awọn okun, awọn iho afọju ati awọn ipele inu. Le ṣe idinwo agbara lati boju awọn agbegbe ibi-afẹde kan pato. Fiimu sisanra ni opin nipasẹ ilana ati awọn ipo ohun elo. Adhesion ti o ga julọ.