Awọn anfani ti atilẹyin ọkọ oju omi silikoni carbide ni akawe si atilẹyin ọkọ oju omi quartz

Awọn ifilelẹ ti awọn iṣẹ tisilikoni carbide ọkọatilẹyin ati atilẹyin ọkọ oju omi quartz jẹ kanna.Silikoni carbide ọkọsupport ni o ni o tayọ išẹ sugbon ga owo. O jẹ ibatan omiiran pẹlu atilẹyin ọkọ oju omi kuotisi ninu ohun elo mimu batiri pẹlu awọn ipo iṣẹ lile (gẹgẹbi ohun elo LPCVD ati ohun elo tan kaakiri boron). Ninu ohun elo sisẹ batiri pẹlu awọn ipo iṣẹ lasan, nitori awọn ibatan idiyele, silikoni carbide ati atilẹyin ọkọ oju omi quartz di ibagbepọ ati awọn ẹka idije.

① Ibasepo iyipada ni LPCVD ati ohun elo itankale boron

Ohun elo LPCVD ni a lo fun ifoyina eefin sẹẹli batiri ati ilana igbaradi Layer polysilicon doped. Ilana iṣẹ:

Labẹ oju-aye titẹ kekere, ni idapo pẹlu iwọn otutu ti o yẹ, iṣesi kemikali ati idasile fiimu ti waye lati mura Layer oxide oxide ultra-tinrin ati fiimu polysilicon. Ninu oxidation tunneling ati ilana igbaradi polysilicon Layer doped, atilẹyin ọkọ oju-omi ni iwọn otutu ti n ṣiṣẹ giga ati fiimu ohun alumọni yoo wa ni ipamọ lori ilẹ. Olusọdipúpọ igbona ti quartz yatọ pupọ si ti ohun alumọni. Nigbati o ba lo ninu ilana ti o wa loke, o jẹ dandan lati mu nigbagbogbo ati yọ ohun alumọni ti a fi silẹ lori dada lati ṣe idiwọ atilẹyin ọkọ oju omi quartz lati fifọ nitori imugboroja gbona ati ihamọ nitori iyatọ imugboroja igbona ti o yatọ lati ohun alumọni. Nitori gbigba loorekoore ati agbara iwọn otutu kekere, dimu ọkọ oju-omi kuotisi ni igbesi aye kukuru ati pe a rọpo nigbagbogbo ni ifoyina oju eefin ati ilana igbaradi polysilicon Layer doped, eyiti o pọ si idiyele iṣelọpọ ti sẹẹli batiri naa. Awọn imugboroosi olùsọdipúpọ tiohun alumọni carbidejẹ sunmo si ti silikoni. Awọn esesilikoni carbide ọkọdimu ko ni beere pickling ni eefin ifoyina ati doped polysilicon Layer igbaradi ilana. O ni agbara iwọn otutu giga ati igbesi aye iṣẹ pipẹ. O jẹ yiyan ti o dara si dimu ọkọ oju omi quartz.

Awọn ohun elo imugboroja boron jẹ lilo ni akọkọ fun ilana ti awọn eroja boron doping lori sobusitireti ohun alumọni iru N-iru ti sẹẹli batiri lati mura emitter iru P lati ṣe ọna asopọ PN kan. Ilana iṣiṣẹ ni lati mọ iṣesi kemikali ati dida fiimu ifisilẹ molikula ni oju-aye otutu-giga. Lẹhin ti a ti ṣẹda fiimu naa, o le tan kaakiri nipasẹ alapapo iwọn otutu lati mọ iṣẹ doping ti dada wafer silikoni. Nitori iwọn otutu iṣẹ giga ti ohun elo imugboroja boron, dimu ọkọ oju omi quartz ni agbara iwọn otutu kekere ati igbesi aye iṣẹ kukuru ninu ohun elo imugboroja boron. Awọn esesilikoni carbide ọkọdimu ni agbara iwọn otutu giga ati pe o jẹ yiyan ti o dara si dimu ọkọ oju omi quartz ninu ilana imugboroja boron.

② Ibasepo iyipada ninu awọn ohun elo ilana miiran

Awọn atilẹyin ọkọ oju omi SiC ni agbara iṣelọpọ ju ati iṣẹ ṣiṣe to dara julọ. Ifowoleri wọn ga julọ ni gbogbogbo ju ti awọn atilẹyin ọkọ oju omi quartz lọ. Ni awọn ipo iṣẹ gbogbogbo ti ẹrọ iṣelọpọ sẹẹli, iyatọ ninu igbesi aye iṣẹ laarin awọn atilẹyin ọkọ oju omi SiC ati awọn atilẹyin ọkọ oju omi quartz jẹ kekere. Awọn alabara ibosile ni akọkọ ṣe afiwe ati yan laarin idiyele ati iṣẹ ṣiṣe ti o da lori awọn ilana ati awọn iwulo tiwọn. Awọn atilẹyin ọkọ oju omi SiC ati awọn atilẹyin ọkọ oju omi quartz ti di ibagbepo ati ifigagbaga. Bibẹẹkọ, ala èrè nla ti awọn atilẹyin ọkọ oju omi SiC jẹ giga ni lọwọlọwọ. Pẹlu idinku ninu idiyele iṣelọpọ ti awọn atilẹyin ọkọ oju-omi SiC, ti idiyele tita ọkọ oju-omi SiC ba n ṣe atilẹyin ni itara, yoo tun jẹ ifigagbaga nla si awọn atilẹyin ọkọ oju omi quartz.

Iwọn lilo

Ọna ọna ẹrọ sẹẹli jẹ imọ-ẹrọ PERC ni pataki ati imọ-ẹrọ TOPCon. Ipin ọja ti imọ-ẹrọ PERC jẹ 88%, ati ipin ọja ti imọ-ẹrọ TOPCon jẹ 8.3%. Ipin ọja apapọ ti awọn meji jẹ 96.30%.

Bi o ṣe han ninu aworan ni isalẹ:

Ni imọ-ẹrọ PERC, awọn atilẹyin ọkọ oju omi nilo fun itankale irawọ owurọ iwaju ati awọn ilana mimu. Ni imọ-ẹrọ TOPCon, awọn atilẹyin ọkọ oju omi ni a nilo fun itankale boron iwaju, LPCVD, itankale irawọ owurọ ati awọn ilana mimu. Ni lọwọlọwọ, awọn atilẹyin ọkọ oju omi silikoni ni a lo ni akọkọ ninu ilana LPCVD ti imọ-ẹrọ TOPCon, ati pe ohun elo wọn ninu ilana itankale boron ni a ti rii daju ni pataki.

Iṣiro Ohun elo ti awọn atilẹyin ọkọ oju omi ni ilana ṣiṣe sẹẹli

Akiyesi: Lẹhin ideri iwaju ati ẹhin ti PERC ati awọn imọ-ẹrọ TOPCon, awọn ọna asopọ tun wa bii titẹjade iboju, sisọpọ ati idanwo ati yiyan, eyiti ko kan lilo awọn atilẹyin ọkọ oju omi ati pe ko ṣe atokọ ni nọmba ti o wa loke.