Awọn irinṣẹ ṣiṣe-daradara, awọn atukọ ere iwé, ati pupọ dara julọ lẹhin awọn ọja ati iṣẹ tita; A ti tun ti iṣọkan pataki oko ati awọn ọmọ, gbogbo eniyan Stick si awọn ile-anfani “isokan, ìyàsímímọ, ifarada” fun Didara didara Silicon Carbide RBSIC/SISIC Cantilever Paddle Lo in Solar Photovoltaic Industry, A tọkàntọkàn ku awọn meji ajeji ati abele Awọn ẹlẹgbẹ ile-iṣẹ iṣowo, ati nireti lati ṣiṣẹ pẹlu rẹ ni isunmọ si igba pipẹ!
Awọn irinṣẹ ṣiṣe-daradara, awọn atukọ ere iwé, ati pupọ dara julọ lẹhin awọn ọja ati iṣẹ tita; A tun ti jẹ alabaṣepọ pataki ati awọn ọmọde ti iṣọkan, gbogbo eniyan duro si ile-iṣẹ anfani "iṣọkan, iyasọtọ, ifarada" funChina Refractory seramiki ati seramiki kiln, Lati pade awọn ibeere ti awọn onibara eniyan pato fun iṣẹ pipe diẹ sii ati awọn ohun didara iduroṣinṣin. A fi itara gba awọn alabara kakiri agbaye lati ṣabẹwo si wa, pẹlu ifowosowopo ọpọlọpọ-faceted, ati idagbasoke awọn ọja tuntun ni apapọ, ṣẹda ọjọ iwaju didan!
SiC ti a bo / ti a bo ti Graphite sobusitireti fun Semikondokito Susceptors mu ati ki o ooru semikondokito wafers nigba gbona processing. A ṣe alailagbara ti ohun elo ti o n gba agbara nipasẹ fifa irọbi, itọpa, ati/tabi itankalẹ ati igbona wafer. Idaduro mọnamọna igbona rẹ, adaṣe igbona, ati mimọ jẹ pataki si sisẹ igbona iyara (RTP). Silicon carbide graphite ti a bo, ohun alumọni carbide (SiC), ati ohun alumọni (Si) ni a lo nigbagbogbo fun awọn alara ti o da lori igbona kan pato ati agbegbe kemikali. PureSiC® CVD SiC ati ClearCarbon ™ ohun elo ultra-pure eyiti o funni ni iduroṣinṣin igbona giga, resistance ipata, ati agbara. ọja Apejuwe
Iboju SiC ti sobusitireti Graphite fun awọn ohun elo Semikondokito ṣe agbejade apakan kan pẹlu mimọ ti o ga julọ ati resistance si oju-aye oxidizing.
CVD SiC tabi CVI SiC ti lo si Graphite ti awọn ẹya apẹrẹ ti o rọrun tabi eka. Ibora le ṣee lo ni awọn sisanra oriṣiriṣi ati si awọn ẹya ti o tobi pupọ.
Awọn ohun elo imọ-ẹrọ jẹ yiyan adayeba fun awọn ohun elo iṣelọpọ igbona semikondokito pẹlu RTP (Ilana Imudara Gbona), Epi (Epitaxial), tan kaakiri, oxidation, ati annealing. CoorsTek n pese awọn paati ohun elo to ti ni ilọsiwaju ti a ṣe apẹrẹ pataki lati koju awọn iyalẹnu igbona pẹlu mimọ-giga, to lagbara, iṣẹ ṣiṣe atunṣe fun iwọn otutu giga
Awọn ẹya:
· O tayọ Gbona mọnamọna Resistance
· O tayọ ti ara mọnamọna Resistance
· O tayọ Kemikali Resistance
· Super High ti nw
· Wiwa ni eka apẹrẹ
· Lilo labẹ Oxidizing Atmosphere
ohun elo:
Wafer nilo lati kọja nipasẹ awọn igbesẹ pupọ ṣaaju ki o to ṣetan fun lilo ninu awọn ẹrọ itanna. Ilana pataki kan jẹ epitaxy silikoni, ninu eyiti a gbe awọn wafers lori awọn ifura graphite. Awọn ohun-ini ati didara awọn alailagbara ni ipa pataki lori didara Layer epitaxial wafer.
Awọn ohun-ini Aṣoju ti Ohun elo Graphite Ipilẹ:
| Ìwúwo tó hàn gbangba: | 1,85 g / cm3 |
| Itanna Resisiti: | 11 μΩm |
| Agbara Flexural: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| Lile okun: | 58 |
| Eeru: | <5ppm |
| Imudara Ooru: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Produ diẹ sii
