CVD ohun alumọni Carbide Ti a bo Graphite Oruka

Apejuwe kukuru:

VET Energy silikoni carbide oruka graphite ti a bo jẹ ọja iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ ṣiṣe deede ati igbẹkẹle lori akoko gigun. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.


Alaye ọja

ọja Tags

Awọn ohun-ini Aṣoju ti Ohun elo Graphite Ipilẹ:

Ìwúwo tó hàn gbangba: 1,85 g / cm3
Itanna Resisiti: 11 μΩm
Agbara Flexural: 49 MPa (500kgf/cm2)
Lile okun: 58
Eeru: <5ppm
Imudara Ooru: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

A pese ọpọlọpọ awọn susceptors ati awọn paati lẹẹdi fun gbogbo awọn reactors epitaxy lọwọlọwọ. Awọn ọja wa pẹlu awọn alamọja agba fun awọn ẹya LPE, awọn ifura pancake fun LPE, CSD, ati awọn ẹya Gemini, ati awọn ifura wafer ẹyọkan fun lilo ati awọn ẹya ASM.

Nipa apapọ awọn ajọṣepọ to lagbara pẹlu awọn OEM asiwaju, imọran awọn ohun elo ati imọ-ẹrọ iṣelọpọ, vet nfunni ni apẹrẹ ti o dara julọ fun ohun elo rẹ.

3

Agbara VET jẹ awọnolupese gidi ti graphite ti adani ati awọn ọja ohun alumọni carbide pẹlu ibora CVD,le peseorisirisiawọn ẹya adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic. OẸgbẹ imọ-ẹrọ ur wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ siifun e.

Founjẹ ti awọn ọja wa:

1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700.
2. Ga ti nw atigbona uniformity
3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ

CVD SiC薄膜基本物理性能

Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo

性质 / Ohun ini

典型数值 / Aṣoju Iye

晶体结构 / Crystal Be

FCC β ipele多晶,主要为(111)取向

密度 / iwuwo

3.21 g/cm³

硬度 / Lile

2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

晶粒大小 / Ọkà SiZe

2 ~ 10μm

纯度 / Kemikali ti nw

99.99995%

热容 / Ooru Agbara

640 · kg-1· K-1

升华温度 / Sublimation otutu

2700 ℃

抗弯强度 / Agbara Flexural

415 MPa RT 4-ojuami

杨氏模量 / Young's Modul

430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃

导热系数 / ThermalIwa ihuwasi

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • WhatsApp Online iwiregbe!