VET Energy PECVD לאָודינג טאַץ איז אַ פּינטלעכקייַט טרעגער דיזיינד פֿאַר PECVD (פּלאַזמאַ ענכאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן) פּראָצעס. דעם הויך-קוואַליטעט דעפּאַזישאַן גראַפייט טאַץ איז געמאכט פון הויך-ריינקייַט, הויך-געדיכטקייַט גראַפייט מאַטעריאַל. עס האט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייַט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס. עס קענען צושטעלן אַ סטאַביל טרעגער פּלאַטפאָרמע פֿאַר PECVD פּראָצעס און ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַטנאַס פון פילם דעפּאַזישאַן.
VET Energy PECVD לאָודינג טאַץ זענען וויידלי געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער, פאָטאָוואָלטאַיק, געפירט און אנדערע פעלדער. למשל:
▪ סעמיקאַנדאַקטער: PECVD פּראָצעס פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַזאַ ווי סיליציום ווייפערז און עפּיטאַקסיאַל ווייפערז.
▪ פאָטאָוואָלטאַיק: PECVD פּראָצעס פֿאַר זונ - צעל דין פילמס.
▪ געפירט: פּעקווד פּראָצעס פֿאַר געפירט טשיפּס.
פּראָדוקט אַדוואַנטאַגעס
▪פֿאַרבעסערן פילם קוואַליטעט:ינשור מונדיר פילם דעפּאַזישאַן און פֿאַרבעסערן פילם קוואַליטעט.
▪פאַרברייטערן די לעבן פון ויסריכט:ויסגעצייכנט קעראָוזשאַן קעגנשטעל, פאַרברייטערן די דינסט לעבן פון PECVD ויסריכט.
▪רעדוצירן פּראָדוקציע קאָס:הויך-קוואַליטעט גראַפייט טאַץ קענען רעדוצירן ברעקל קורס און רעדוצירן פּראָדוקציע קאָס.
גראַפיטע מאַטעריאַל פון SGL:
| טיפּיש פּאַראַמעטער: R6510 | |||
| אינדעקס | טעסט נאָרמאַל | ווערט | אַפּאַראַט |
| דורכשניטלעך קערל גרייס | ISO 13320 | 10 | μm |
| פאַרנעם געדיכטקייַט | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ג / סענטימעטער3 |
| עפענען פּאָראָסיטי | DIN66133 | 10 | % |
| מיטל פּאָרע גרייס | DIN66133 | 1.8 | μm |
| לעדוירעס | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| ראָקקוועלל כאַרדנאַס HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ספּעציפיש עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩם |
| פלעקסוראַל שטאַרקייַט | DIN IEC 60413/501 | 60 | מפּאַ |
| קאַמפּרעסיוו שטאַרקייַט | DIN 51910 | 130 | מפּאַ |
| יונג ס מאָדולע | DIN 51915 | 11.5×10³ | מפּאַ |
| טערמאַל יקספּאַנשאַן (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
עס איז ספּאַסיפיקלי דיזיינד פֿאַר הויך-עפעקטיווקייַט זונ - צעל מאַנופאַקטורינג, וואָס שטיצט G12 גרויס-גרייס ווייפער פּראַסעסינג. אָפּטימיזעד טרעגער פּלאַן ינקריסאַז די טרופּוט באטייטיק, וואָס אַלאַוז העכער טראָגן רייץ און נידעריקער פּראָדוקציע קאָס.
| נומער | טיפּ | נומער ווייפער טרעגער |
| PEVCD Grephite שיפל - די 156 סעריע | 156-13 גראַפייט שיפל | 144 |
| 156-19 גראַפייט שיפל | 216 | |
| 156-21 גראַפייט שיפל | 240 | |
| 156-23 גראַפייט שיפל | 308 | |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 125 סעריע | 125-15 גראַפייט שיפל | 196 |
| 125-19 גראַפייט שיפל | 252 | |
| 125-21 גרפיטע שיפל | 280 |
-
קאַסטאַמייזד פלעקסאַבאַל גראַפייט רינג הויך טעמפּעראַטור ...
-
הויך קוואַליטעט גראַפייט פּאַפּיר ריינפאָרסט פלעקסאַבאַל ...
-
הויך שטאַרקייַט גראַפיטע טעלער גראַפיטע בלאָק גרייס ...
-
ראַפראַקטערי גראַפייט רוט גראַפייט טשאַד רוט גראַ ...
-
אַנטימאָני ימפּרעגנייטאַד גראַפייט רינג הויך טעמפּעראַטור ...
-
גראַפיטע מאַגנעטיק פּאָמפּע סליידינג שייַכעס טראָגן-ריז ...