גראַפיטע סאַבסטרייט ווייפער האָלדער פֿאַר PECVD

VET ענערגיע גראַפיטע סאַבסטרייט וואַפער האָלדער איז אַ פּינטלעכקייַט טרעגער דיזיינד פֿאַר פּעקווד (פּלאַזמאַ ענכאַנסט כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן) פּראָצעס. דעם הויך-קוואַליטעט גראַפייט סאַבסטרייט האָלדער איז געמאכט פון הויך-ריינקייַט, הויך-געדיכטקייַט גראַפייט מאַטעריאַל, מיט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייַט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס. עס קענען צושטעלן אַ סטאַביל שטיצן פּלאַטפאָרמע פֿאַר PECVD פּראָצעס און ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַטנאַס פון פילם דעפּאַזישאַן.

VET Energy PECVD פּראָצעס גראַפייט ווייפער שטיצן טיש האט די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:

▪הויך ריינקייַט:גאָר נידעריק טומע צופרידן, ויסמיידן קאַנטאַמאַניישאַן פון פילם, ענשור פילם קוואַליטעט.

▪הויך געדיכטקייַט:הויך געדיכטקייַט, הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט, קענען וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק פּעקווד סוויווע.

▪גוט דימענשאַנאַל פעסטקייַט:קליין דימענשאַנאַל טוישן אין הויך טעמפּעראַטור, ינשורינג פּראָצעס פעסטקייַט.

▪ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי:יפעקטיוולי אַריבערפירן היץ צו פאַרמייַדן ווייפער אָוווערכיטינג.

▪שטאַרק קעראָוזשאַן קעגנשטעל:קענען אַנטקעגנשטעלנ יראָוזשאַן דורך פאַרשידן קעראָוסיוו גאַסאַז און פּלאַזמע.

▪קאַסטאַמייזד דינסט:גראַפייט שטיצן טישן פון פאַרשידענע סיזעס און שאַפּעס קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט צו קונה דאַרף.

פּראָדוקט אַדוואַנטאַגעס

▪פֿאַרבעסערן פילם קוואַליטעט:ינשור מונדיר פילם דעפּאַזישאַן און פֿאַרבעסערן פילם קוואַליטעט.

▪פאַרברייטערן די לעבן פון ויסריכט:ויסגעצייכנט קעראָוזשאַן קעגנשטעל, פאַרברייטערן די דינסט לעבן פון PECVD ויסריכט.

▪רעדוצירן פּראָדוקציע קאָס:הויך-קוואַליטעט גראַפייט טאַץ קענען רעדוצירן ברעקל קורס און רעדוצירן פּראָדוקציע קאָס.