VET Energy PECVD פּראָצעס גראַפייט ווייפער שטיצן איז אַ האַרץ קאָנסומאַבלע דיזיינד פֿאַר PECVD (פּלאַזמאַ ענכאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן) פּראָצעס. דער פּראָדוקט איז געמאכט פון הויך-ריינקייַט, הויך-געדיכטקייַט גראַפייט מאַטעריאַל, מיט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייַט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס, קענען צושטעלן אַ סטאַביל שטיצן פּלאַטפאָרמע פֿאַר PECVD פּראָצעס, צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַטנאַס פון פילם דעפּאַזישאַן.
די "גראַפיטע שטיצן" פּלאַן פון VET Energy גראַפייט ווייפער שטיצן קענען ניט בלויז יפעקטיוולי שטיצן די ווייפער, אָבער אויך צושטעלן טערמאַל פעסטקייַט אין די הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק PECVD סוויווע צו ענשור די פעסטקייַט פון דעם פּראָצעס.
VET Energy PECVD פּראָצעס גראַפייט ווייפער שטיצן האט די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:
▪הויך ריינקייַט:גאָר נידעריק טומע צופרידן, ויסמיידן קאַנטאַמאַניישאַן פון דעם פילם, צו ענשור די קוואַליטעט פון די פילם.
▪הויך געדיכטקייַט:הויך געדיכטקייַט, הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט, קענען וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק פּעקווד סוויווע.
▪גוט דימענשאַנאַל פעסטקייַט:קליין דימענשאַנאַל ענדערונגען אין הויך טעמפּעראַטור צו ענשור די פעסטקייַט פון דעם פּראָצעס.
▪ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי:יפעקטיוולי אַריבערפירן היץ צו פאַרמייַדן ווייפער אָוווערכיטינג.
▪שטאַרק קעראָוזשאַן קעגנשטעל:קענען צו אַנטקעגנשטעלנ יראָוזשאַן דורך פאַרשידן קעראָוסיוו גאַסאַז און פּלאַזמע.
▪קאַסטאַמייזד דינסט:גראַפיטע שטיצן טישן פון פאַרשידענע סיזעס און שאַפּעס קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט צו קונה דאַרף.
גראַפיטע מאַטעריאַל פון SGL:
| טיפּיש פּאַראַמעטער: R6510 | |||
| אינדעקס | טעסט נאָרמאַל | ווערט | אַפּאַראַט |
| דורכשניטלעך קערל גרייס | ISO 13320 | 10 | μm |
| פאַרנעם געדיכטקייַט | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ג / סענטימעטער3 |
| עפענען פּאָראָסיטי | DIN66133 | 10 | % |
| מיטל פּאָרע גרייס | DIN66133 | 1.8 | μm |
| לעדוירעס | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| ראָקקוועלל כאַרדנאַס HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ספּעציפיש עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩם |
| פלעקסוראַל שטאַרקייַט | DIN IEC 60413/501 | 60 | מפּאַ |
| קאַמפּרעסיוו שטאַרקייַט | DIN 51910 | 130 | מפּאַ |
| יונג ס מאָדולע | DIN 51915 | 11.5×10³ | מפּאַ |
| טערמאַל יקספּאַנשאַן (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
עס איז ספּאַסיפיקלי דיזיינד פֿאַר הויך-עפעקטיווקייַט זונ - צעל מאַנופאַקטורינג, וואָס שטיצט G12 גרויס-גרייס ווייפער פּראַסעסינג. אָפּטימיזעד טרעגער פּלאַן ינקריסאַז די טרופּוט באטייטיק, וואָס אַלאַוז העכער טראָגן רייץ און נידעריקער פּראָדוקציע קאָס.
| נומער | טיפּ | נומער ווייפער טרעגער |
| PEVCD Grephite שיפל - די 156 סעריע | 156-13 גראַפייט שיפל | 144 |
| 156-19 גראַפייט שיפל | 216 | |
| 156-21 גראַפייט שיפל | 240 | |
| 156-23 גראַפייט שיפל | 308 | |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 125 סעריע | 125-15 גראַפייט שיפל | 196 |
| 125-19 גראַפייט שיפל | 252 | |
| 125-21 גרפיטע שיפל | 280 |
-
הויך ריינקייַט הויך געדיכטקייַט עדם גראַפייט בלאָק קאָר ...
-
מאַגנעטיק וואַסער פּאָמפּע גראַפייט שייַכעס מנהג הויך ...
-
מאַשין טשאַד גראַפייט פּראָדוקטן עלעקטראָניש ...
-
גראַפיטע פּאַפּיר גראַפייט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פי ...
-
מנהג ימפּרעגנייטאַד אַנטימאָני גראַפייט רינג וואַקווו ...
-
שפּאַלטן גראַפייט רינג טראָגן-קעגנשטעליק סטאַטיק דרוק ...