VET ענערגי גראַפייט ווייפער שיפל איז אַ הויך-קוואַליטעט קאַנסאַמאַבאַל טיילערד פֿאַר דעפּאַזישאַן פּראַסעסאַז אין סעמיקאַנדאַקטער, פאָטאָוואָלטאַיק און אנדערע ינדאַסטריז. געמאכט פון הויך-ריינקייַט, הויך-געדיכטקייַט גראַפייט מאַטעריאַל, דעם פּראָדוקט האט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייַט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס, און קענען צושטעלן אַ סטאַביל טרעגער פּלאַטפאָרמע פֿאַר די דעפּאַזישאַן פּראָצעס צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַטנאַס פון דין פילם דעפּאַזישאַן. .
די PECVD גראַפייט שיפל פון VET Energy איז מאַניאַפאַקטשערד מיט יסאָסטאַטיק גראַפייט מיט הויך ריינקייַט, מיט פּאָראָסיטי ונטער 15% און ייבערפלאַך ראַפנאַס ראַ≤1.6μם. די העכער דימענשאַנאַל פעסטקייַט און טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי ענשור מונדיר פילם דעפּאַזישאַן און ימפּרוווד צעל עפעקטיווקייַט.
גראַפיטע מאַטעריאַל פון SGL:
טיפּיש פּאַראַמעטער: R6510 | |||
אינדעקס | טעסט נאָרמאַל | ווערט | אַפּאַראַט |
דורכשניטלעך קערל גרייס | ISO 13320 | 10 | μm |
פאַרנעם געדיכטקייַט | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ג / סענטימעטער3 |
עפענען פּאָראָסיטי | DIN66133 | 10 | % |
מיטל פּאָרע גרייס | DIN66133 | 1.8 | μm |
לעדוירעס | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
ראָקקוועלל כאַרדנאַס HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
ספּעציפיש עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩם |
פלעקסוראַל שטאַרקייַט | DIN IEC 60413/501 | 60 | מפּאַ |
קאַמפּרעסיוו שטאַרקייַט | DIN 51910 | 130 | מפּאַ |
יונג ס מאָדולע | DIN 51915 | 11.5×10³ | מפּאַ |
טערמאַל יקספּאַנשאַן (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
עס איז ספּאַסיפיקלי דיזיינד פֿאַר הויך-עפעקטיווקייַט זונ - צעל מאַנופאַקטורינג, וואָס שטיצט G12 גרויס-גרייס ווייפער פּראַסעסינג. אָפּטימיזעד טרעגער פּלאַן ינקריסאַז די טרופּוט באטייטיק, וואָס אַלאַוז העכער טראָגן רייץ און נידעריקער פּראָדוקציע קאָס.
נומער | טיפּ | נומער ווייפער טרעגער |
PEVCD Grephite שיפל - די 156 סעריע | 156-13 גראַפייט שיפל | 144 |
156-19 גראַפייט שיפל | 216 | |
156-21 גראַפייט שיפל | 240 | |
156-23 גראַפייט שיפל | 308 | |
PEVCD גרעפיטע שיפל - די 125 סעריע | 125-15 גראַפייט שיפל | 196 |
125-19 גראַפייט שיפל | 252 | |
125-21 גרפיטע שיפל | 280 |