די ינערלעך סטרוקטור פון די אויוון רער עקוויפּמענט איז דערקלערט אין דעטאַל

ווי געוויזן אויבן, איז אַ טיפּיש

דער ערשטער העלפט:
באַהיצונג עלעמענט (באַהיצונג שפּול): ליגן אַרום די אויוון רער, יוזשאַוואַלי געמאכט פון קעגנשטעל ווירעס, געניצט צו היץ די ין פון די אויוון רער.
קוואַרץ רער: די האַרץ פון אַ הייס אַקסאַדיישאַן אויוון, געמאכט פון הויך ריינקייַט קוואַרץ וואָס קענען וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטורעס און בלייבן כעמיש ינערט.
גאַז פיטער: ליגן אין דער אויבערשטער אָדער זייַט פון די אויוון רער, עס איז געניצט צו אַריבערפירן זויערשטאָף אָדער אנדערע גאַסאַז צו די ין פון די אויוון רער.
SS פלאַנדזש: קאַמפּאָונאַנץ וואָס פאַרבינדן קוואַרץ טובז און גאַז שורות, ינשורינג די טייטנאַס און פעסטקייַט פון די קשר.
גאַז פיטער לינעס: פּייפּס וואָס פאַרבינדן די MFC צו די גאַז צושטעלן פּאָרט פֿאַר גאַז טראַנסמיסיע.
MFC (Mass Flow Controller) : א מיטל וואס קאנטראלירט די גאז לויפן אין א קווארטס רער צו גענוי רעגולירן די סומע פון ​​גאז פארלאנגט.
ווענט: געניצט צו ויסגיסן די ויסמאַטערן גאַז פון ין די אויוון רער צו די אַרויס פון די עקוויפּמענט.

נידעריקער טייל
סיליציום ווייפערז אין האָלדער: סיליציום ווייפערז זענען כאַוזד אין אַ ספּעציעל האָלדער צו ענשור מונדיר היץ בעשאַס אַקסאַדיישאַן.
ווייפער האָלדער: געניצט צו האַלטן די סיליציום ווייפער און ענשור אַז די סיליציום ווייפער בלייבט סטאַביל בעשאַס דעם פּראָצעס.
פּעדעסטאַל: אַ סטרוקטור וואָס האלט אַ סיליציום ווייפער האָלדער, יוזשאַוואַלי געמאכט פון אַ הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק מאַטעריאַל.
ליפט: געניצט צו הייבן וואַפער האָלדערס אין און אויס פון קוואַרץ טובז פֿאַר אָטאַמאַטיק לאָודינג און אַנלאָודינג פון סיליציום ווייפערז.
ווייפער אַריבערפירן ראָבאָט: ליגן אויף די זייַט פון די אויוון רער מיטל, עס איז געניצט צו אויטאָמאַטיש באַזייַטיקן די סיליציום ווייפער פון די קעסטל און שטעלן עס אין די אויוון רער, אָדער צו באַזייַטיקן עס נאָך פּראַסעסינג.
קאַסעט סטאָרידזש קאַראַסעל: קאַסעט סטאָרידזש קעראַסעל איז געניצט צו קראָם אַ קעסטל מיט סיליציום ווייפערז און קענען זיין ראָוטייטיד פֿאַר ראָבאָט אַקסעס.
ווייפער קאַסעט: ווייפער קאַסעט איז געניצט צו קראָם און אַריבערפירן די סיליציום ווייפערז צו זיין פּראַסעסט.