די מאַנופאַקטורינג פון יעדער סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקט ריקווייערז הונדערטער פון פּראַסעסאַז. מיר טיילן די גאנצע מאַנופאַקטורינג פּראָצעס אין אַכט סטעפּס:ווייפערפּראַסעסינג-אַקסאַדיישאַן-פאָטאָליטאָגראַפי-עטטשינג-דין פילם דעפּאַזישאַן-עפּיטאַקסיאַל גראָוט-דיפיוזשאַן-יאָן ימפּלאַנטיישאַן.
צו העלפֿן איר פֿאַרשטיין און דערקענען סעמיקאַנדאַקטערז און פֿאַרבונדענע פּראַסעסאַז, מיר וועלן שטופּן WeChat אַרטיקלען אין יעדער אַרויסגעבן צו באַקענען יעדער פון די אויבן סטעפּס איינער דורך איינער.
אין די פריערדיקע אַרטיקל, עס איז געווען דערמאנט אַז אין סדר צו באַשיצן דיווייפערפו ן פארשײדענ ע אומרײנקײט ן הא ט מע ן געמאכ ט א אקסייד־פילם ־ אקסידאציע־פראצעס . הייַנט מיר וועלן דיסקוטירן די "פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס" פון פאָטאָגראַפינג די סעמיקאַנדאַקטער פּלאַן קרייַז אויף די ווייפער מיט די אַקסייד פילם געשאפן.
פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס
1. וואָס איז פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס
פאָטאָליטאָגראַפי איז צו מאַכן די סערקאַץ און פאַנגקשאַנאַל געביטן פארלאנגט פֿאַר שפּאָן פּראָדוקציע.
די ליכט ימיטיד דורך די פאָטאָליטאָגראַפי מאַשין איז געניצט צו ויסשטעלן די דין פילם קאָוטאַד מיט פאָטאָרעסיסט דורך אַ מאַסקע מיט אַ מוסטער. דער פאָטאָרעסיסט וועט טוישן זייַן פּראָפּערטיעס נאָך געזען די ליכט, אַזוי אַז די מוסטער אויף די מאַסקע איז קאַפּיד צו די דין פילם, אַזוי אַז די דין פילם האט די פֿונקציע פון אַן עלעקטראָניש קרייַז דיאַגראַמע. דאָס איז די ראָלע פון פאָטאָליטאָגראַפי, ענלעך צו נעמען בילדער מיט אַ אַפּאַראַט. די פאָטאָס גענומען דורך די אַפּאַראַט זענען געדרוקט אויף די פילם, בשעת די פאָטאָליטאָגראַפי טוט נישט ינגרייווד פאָטאָס, אָבער קרייַז דייאַגראַמז און אנדערע עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ.
פאָטאָליטאָגראַפי איז אַ גענוי מיקראָ-מאַשינינג טעכנאָלאָגיע
קאַנווענשאַנאַל פאָטאָליטאָגראַפי איז אַ פּראָצעס וואָס ניצט אַלטראַווייאַליט ליכט מיט אַ ווייוולענגט פון 2000 צו 4500 אַנגסטראַמז ווי די בילד אינפֿאָרמאַציע טרעגער, און ניצט פאָטאָרעסיסט ווי די ינטערמידייט (בילד רעקאָרדינג) מיטל צו דערגרייכן די טראַנספאָרמאַציע, אַריבערפירן און פּראַסעסינג פון גראַפיקס, און לעסאָף טראַנסמיטטעד די בילד. אינפֿאָרמאַציע צו די שפּאָן (דער הויפּט סיליציום שפּאָן) אָדער דיעלעקטריק שיכטע.
מען קען זאָגן אַז פאָטאָליטאָגראַפי איז דער יסוד פון מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער, מיקראָעלעקטראָניק און אינפֿאָרמאַציע ינדאַסטריז, און פאָטאָליטאָגראַפי גלייך דיטערמאַנז די אַנטוויקלונג מדרגה פון די טעקנאַלאַדזשיז.
אין די מער ווי 60 יאָר זינט די געראָטן דערפינדונג פון ינאַגרייטיד סערקאַץ אין 1959, די שורה ברייט פון זייַן גראַפיקס איז רידוסט מיט וועגן פיר אָרדערס פון מאַגנאַטוד, און די קרייַז ינאַגריישאַן איז ימפּרוווד מיט מער ווי זעקס אָרדערס פון מאַגנאַטוד. דער גיך פּראָגרעס פון די טעקנאַלאַדזשיז איז דער הויפּט אַטריביאַטאַד צו דער אַנטוויקלונג פון פאָטאָליטאָגראַפי.
(רעקווירעמענץ פֿאַר פאָטאָליטאָגראַפי טעכנאָלאָגיע אין פאַרשידן סטאַגעס פון אַנטוויקלונג פון ינאַגרייטיד קרייַז מאַנופאַקטורינג)
2. יקערדיק פּרינסאַפּאַלז פון פאָטאָליטאָגראַפי
פאָטאָליטאָגראַפי מאַטעריאַלס בכלל אָפּשיקן צו פאָטאָרעסיסץ, אויך באקאנט ווי פאָטאָרעסיסץ, וואָס זענען די מערסט קריטיש פאַנגקשאַנאַל מאַטעריאַלס אין פאָטאָליטאָגראַפי. דעם טיפּ פון מאַטעריאַל האט די קעראַקטעריסטיקס פון ליכט (אַרייַנגערעכנט קענטיק ליכט, אַלטראַווייאַליט ליכט, עלעקטראָן שטראַל, אאז"ו ו) אָפּרוף. נאָך פאָטאָטשעמיקאַל אָפּרוף, זייַן סאָלוביליטי ענדערונגען באטייטיק.
צווישן זיי, די סאָלוביליטי פון positive פאָטאָרעסיסט אין די דעוועלאָפּער ינקריסיז, און דער באקומען מוסטער איז די זעלבע ווי די מאַסקע; נעגאַטיוו פאָטאָרעסיסט איז דער פאַרקערט, דאָס איז, די סאָלוביליטי דיקריסאַז אָדער אפילו ווערט ינסאַליאַבאַל נאָך יקספּאָוזד צו די דעוועלאָפּער, און דער באקומען מוסטער איז פאַרקערט צו די מאַסקע. די אַפּלאַקיישאַן פעלדער פון די צוויי טייפּס פון פאָטאָרעסיסץ זענען אַנדערש. Positive פאָטאָרעסיסץ זענען מער קאַמאַנלי געניצט, אַקאַונטינג פֿאַר מער ווי 80% פון די גאַנץ.
דער אויבן איז אַ סכעמאַטיש דיאַגראַמע פון די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס
(1) גלוינג: דאָס איז, פאָרמינג אַ פאָטאָרעסיסט פילם מיט מונדיר גרעב, שטאַרק אַדכיזשאַן און קיין חסרונות אויף די סיליציום ווייפער. אין סדר צו פאַרבעסערן די אַדכיזשאַן צווישן די פאָטאָרעסיסט פילם און די סיליציום ווייפער, עס איז אָפט נייטיק צו ערשטער מאָדיפיצירן די ייבערפלאַך פון די סיליציום ווייפער מיט סאַבסטאַנסיז אַזאַ ווי העקסאַמעטהילדיסילאַסאַנע (HMDS) און טרימעטהילסיילדיעטהילאַמינע (TMSDEA). דערנאָך, די פאָטאָרעסיסט פילם איז צוגעגרייט דורך ומדריי קאָוטינג.
(2) פאַר-באַקינג: נאָך ומדריי קאָוטינג, די פאָטאָרעסיסט פילם נאָך כּולל אַ זיכער סומע פון סאַלוואַנט. נאָך באַקינג אין אַ העכער טעמפּעראַטור, די סאַלוואַנט קענען זיין אַוועקגענומען ווי קליין ווי מעגלעך. נאָך פאַר-באַקינג, די אינהאַלט פון די פאָטאָרעסיסט איז רידוסט צו וועגן 5%.
(3) ויסשטעלן: דאָס איז, די פאָטאָרעסיסט איז יקספּאָוזד צו ליכט. אין דעם צייַט, אַ פאָטאָרעאַקטיאָן אַקערז, און די סאָלוביליטי חילוק צווישן די ילומאַנייטאַד טייל און די ניט-ילומאַנייטאַד טייל אַקערז.
(4) אַנטוויקלונג & כאַרדאַנינג: דער פּראָדוקט איז געטובלט אין די דעוועלאָפּער. אין דעם צייט, די יקספּאָוזד געגנט פון די positive פאָטאָרעסיסט און די ניט-יקספּאָוזד געגנט פון די נעגאַטיוו פאָטאָרעסיסט וועט צעלאָזן אין דער אַנטוויקלונג. דאָס גיט אַ דריי-דימענשאַנאַל מוסטער. נאָך אַנטוויקלונג, דער שפּאָן דאַרף אַ הויך-טעמפּעראַטור באַהאַנדלונג פּראָצעס צו ווערן אַ שווער פילם, וואָס דער הויפּט סערוועס צו ווייַטער פאַרבעסערן די אַדכיזשאַן פון די פאָטאָרעסיסט צו די סאַבסטרייט.
(5) עטשינג: דער מאַטעריאַל אונטער די פאָטאָרעסיסט איז עטשט. עס כולל פליסיק נאַס עטשינג און גאַזיאַס טרוקן עטשינג. פֿאַר בייַשפּיל, פֿאַר נאַס עטשינג פון סיליציום, אַ אַסידיק ייקוויאַס לייזונג פון הידראָפלואָריק זויער איז געניצט; פֿאַר נאַס עטשינג פון קופּער, אַ שטאַרק זויער לייזונג אַזאַ ווי ניטריק זויער און סאַלפיוריק זויער איז געניצט, בשעת טרוקן עטשינג אָפט ניצט פּלאַזמע אָדער הויך-ענערגיע יאָן בימז צו שעדיקן די ייבערפלאַך פון דעם מאַטעריאַל און עטשינג עס.
(6) דעגומינג: צום סוף, די פאָטאָרעסיסט דאַרף זיין אַוועקגענומען פון די ייבערפלאַך פון די אָביעקטיוו. דעם שריט איז גערופן דעגומינג.
זיכערקייַט איז די מערסט וויכטיק אַרויסגעבן אין אַלע סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע. די הויפּט געפערלעך און שעדלעך פאָטאָליטאָגראַפי גאַסאַז אין די שפּאָן ליטהאָגראַפי פּראָצעס זענען ווי גייט:
1. הידראָגען פּעראַקסייד
הידראָגען פּעראַקסייד (ה 2 אָ 2) איז אַ שטאַרק אַקסאַדאַנט. דירעקט קאָנטאַקט קענען אָנמאַכן הויט און אויג אָנצינדונג און ברענט.
2. קסילענע
קסילענע איז אַ סאַלוואַנט און דעוועלאָפּער געניצט אין נעגאַטיוו ליטהאָגראַפי. עס איז ברענעוודיק און האט אַ נידעריק טעמפּעראַטור פון בלויז 27.3 ℃ (בעערעך צימער טעמפּעראַטור). עס איז יקספּלאָוסיוו ווען די קאַנסאַנטריישאַן אין די לופט איז 1%-7%. ריפּיטיד קאָנטאַקט מיט קסילענע קענען אָנמאַכן הויט אָנצינדונג. קסילענע פארע איז זיס, ענלעך צו דער שמעקן פון אַעראָפּלאַן טאַק; ויסשטעלן צו קסילענע קענען אָנמאַכן אָנצינדונג פון די אויגן, נאָז און האַלדז. ינאַליישאַן פון די גאַז קענען אָנמאַכן כעדייקס, קאָפּשווינדל, אָנווער פון אַפּעטיט און מידקייַט.
3. העקסאַמעטהיל דיסילאַזאַנע (HMDS)
העקסאַמעהיל דיסילאַזאַנע (HMDS) איז מערסט קאַמאַנלי געניצט ווי אַ אָנפאַנגער שיכטע צו פאַרגרעסערן די אַדכיזשאַן פון פאָטאָרעסיסט אויף די ייבערפלאַך פון די פּראָדוקט. עס איז ברענעוודיק און האט אַ בליץ פונט פון 6.7 ° C. עס איז יקספּלאָוסיוו ווען די קאַנסאַנטריישאַן אין די לופט איז 0.8% -16%. HMDS ריאַקץ שטארק מיט וואַסער, אַלקאָהאָל און מינעראַל אַסאַדז צו באַפרייַען אַמאָוניאַ.
4. טעטראַמעטהילאַממאָניום כיידראַקסייד
טעטראַמעטהילאַממאָניום כיידראַקסייד (TMAH) איז וויידלי געניצט ווי אַ דעוועלאָפּער פֿאַר positive ליטהאָגראַפי. עס איז טאַקסיק און קעראָוסיוו. עס קען זיין פאַטאַל אויב סוואַלאָוד אָדער אין דירעקט קאָנטאַקט מיט די הויט. קאָנטאַקט מיט TMAH שטויב אָדער נעפּל קענען אָנמאַכן אָנצינדונג פון די אויגן, הויט, נאָז און האַלדז. ינאַליישאַן פון הויך קאַנסאַנטריישאַנז פון טמאַה וועט פירן צו טויט.
5. קלאָרין און פלאָרין
קלאָרין (קל 2) און פלאָרין (פ 2) זענען ביידע געניצט אין עקססימער לייזערז ווי טיף אַלטראַווייאַליט און עקסטרעם אַלטראַווייאַליט (EUV) ליכט קוואלן. ביידע גאַסאַז זענען טאַקסיק, דערשייַנען ליכט גרין, און האָבן אַ שטאַרק יראַטייטינג רייעך. ינאַליישאַן פון הויך קאַנסאַנטריישאַנז פון דעם גאַז וועט פירן צו טויט. פלואָרינע גאַז קען רעאַגירן מיט וואַסער צו פּראָדוצירן הידראָגען פלאָרייד גאַז. הידראָגען פלאָרייד גאַז איז אַ שטאַרק זויער וואָס יריטייץ די הויט, אויגן און רעספּעראַטאָרי שעטעך און קען פאַרשאַפן סימפּטאָמס אַזאַ ווי ברענט און שוועריקייט ברידינג. הויך קאַנסאַנטריישאַנז פון פלאָרייד קענען אָנמאַכן פאַרסאַמונג צו דעם מענטש גוף, קאָזינג סימפּטאָמס אַזאַ ווי כעדייקס, וואַמאַטינג, שילשל און קאָמאַטאָזער מאַצעוו.
6. אַרגאָן
אַרגאָן (אַר) איז אַ ינערט גאַז וואָס יוזשאַוואַלי טוט נישט גרונט דירעקט שאָדן צו דעם מענטש גוף. אונטער נאָרמאַל צושטאנדן, די לופט מענטשן אָטעמען כּולל וועגן 0.93% אַרגאַן, און די קאַנסאַנטריישאַן האט קיין קלאָר ווי דער טאָג ווירקונג אויף דעם מענטש גוף. אָבער, אין עטלעכע קאַסעס, אַרגאָן קען פאַרשאַפן שאָדן צו דעם מענטש גוף.
דאָ זענען עטלעכע מעגלעך סיטואַטיאָנס: אין אַ קאַנפיינד פּלאַץ, די קאַנסאַנטריישאַן פון אַרגאָן קען פאַרגרעסערן, דערמיט רידוסינג די זויערשטאָף קאַנסאַנטריישאַן אין די לופט און פאַרשאַפן כייפּאַקסיאַ. דאָס קען פאַרשאַפן סימפּטאָמס אַזאַ ווי קאָפּשווינדל, מידקייַט און שאָרטנאַס פון אָטעם. אין דערצו, אַרגאָן איז אַן ינערט גאַז, אָבער עס קען ופרייַסן אונטער הויך טעמפּעראַטור אָדער הויך דרוק.
7. נעאָן
נעאָן (נע) איז אַ סטאַביל, בלאַס און אָודערלאַס גאַז וואָס טוט נישט אָנטייל נעמען אין די נעאָן גאַז איז נישט ינוואַלווד אין די מענטשלעך רעספּעראַטאָרי פּראָצעס, אַזוי ברידינג אין אַ הויך קאַנסאַנטריישאַן פון נעאָן גאַז וועט פאַרשאַפן כייפּאַקסיאַ. אויב איר זענט אין אַ שטאַט פון היפּאָקסיאַ פֿאַר אַ לאַנג צייַט, איר קען דערפאַרונג סימפּטאָמס אַזאַ ווי קאָפּווייטיק, עקל און וואַמאַטינג. אין דערצו, נעאָן גאַז קען רעאַגירן מיט אנדערע סאַבסטאַנסיז אונטער הויך טעמפּעראַטור אָדער הויך דרוק צו פאַרשאַפן פייַער אָדער יקספּלאָוזשאַן.
8. קסענאָן גאַז
קסענאָן גאַז (Xe) איז אַ סטאַביל, בלאַס און אָודערלאַס גאַז וואָס טוט נישט אָנטייל נעמען אין די מענטש רעספּעראַטאָרי פּראָצעס, אַזוי ברידינג אין אַ הויך קאַנסאַנטריישאַן פון קסענאָן גאַז וועט פאַרשאַפן כייפּאַקסיאַ. אויב איר זענט אין אַ שטאַט פון היפּאָקסיאַ פֿאַר אַ לאַנג צייַט, איר קען דערפאַרונג סימפּטאָמס אַזאַ ווי קאָפּווייטיק, עקל און וואַמאַטינג. אין דערצו, נעאָן גאַז קען רעאַגירן מיט אנדערע סאַבסטאַנסיז אונטער הויך טעמפּעראַטור אָדער הויך דרוק צו פאַרשאַפן פייַער אָדער יקספּלאָוזשאַן.
9. קריפּטאָן גאַז
קריפּטאָן גאַז (קר) איז אַ סטאַביל, בלאַס און אָודערלאַס גאַז וואָס טוט נישט אָנטייל נעמען אין די מענטש רעספּעראַטאָרי פּראָצעס, אַזוי ברידינג אין אַ הויך קאַנסאַנטריישאַן פון קריפּטאָן גאַז וועט פאַרשאַפן כייפּאַקסיאַ. אויב איר זענט אין אַ שטאַט פון היפּאָקסיאַ פֿאַר אַ לאַנג צייַט, איר קען דערפאַרונג סימפּטאָמס אַזאַ ווי קאָפּווייטיק, עקל און וואַמאַטינג. אין דערצו, קסענאָן גאַז קען רעאַגירן מיט אנדערע סאַבסטאַנסיז אונטער הויך טעמפּעראַטור אָדער הויך דרוק צו פאַרשאַפן פייַער אָדער יקספּלאָוזשאַן. ברידינג אין אַ סוויווע מיט זויערשטאָף דעפּראַוויישאַן קענען גרונט היפּאָקסיאַ. אויב איר זענט אין אַ שטאַט פון היפּאָקסיאַ פֿאַר אַ לאַנג צייַט, איר קען דערפאַרונג סימפּטאָמס אַזאַ ווי קאָפּווייטיק, עקל און וואַמאַטינג. אין דערצו, קריפּטאָן גאַז קען רעאַגירן מיט אנדערע סאַבסטאַנסיז אונטער הויך טעמפּעראַטור אָדער הויך דרוק צו פאַרשאַפן פייַער אָדער יקספּלאָוזשאַן.
כאַזערדאַס גאַז דיטעקשאַן סאַלושאַנז פֿאַר די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע
די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע ינוואַלווז די פּראָדוקציע, מאַנופאַקטורינג און פּראָצעס פון ברענעוודיק, יקספּלאָוסיוו, טאַקסיק און שעדלעך גאַסאַז. ווי אַ באַניצער פון גאַסאַז אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג געוויקסן, יעדער שטעקן מיטגליד זאָל פֿאַרשטיין די זיכערקייַט דאַטן פון פאַרשידן כאַזערדאַס גאַסיז איידער נוצן, און זאָל וויסן ווי צו האַנדלען מיט די נויטפאַל פּראָוסידזשערז ווען די גאַסאַז רינען.
אין דער פּראָדוקציע, מאַנופאַקטורינג און סטאָרידזש פון די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, אין סדר צו ויסמיידן די אָנווער פון לעבן און פאַרמאָג געפֿירט דורך די ליקאַדזש פון די כאַזערדאַס גאַסאַז, עס איז נייטיק צו ינסטאַלירן גאַז דיטעקשאַן ינסטראַמאַנץ צו דעטעקט די ציל גאַז.
גאַז דעטעקטאָרס האָבן ווערן יקערדיק ינווייראַנמענאַל מאָניטאָרינג ינסטראַמאַנץ אין הייַנט ס סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, און זענען אויך די מערסט דירעקט מאָניטאָרינג מכשירים.
Riken Keiki האט שטענדיק באַצאָלן ופמערקזאַמקייט צו דער זיכער אַנטוויקלונג פון די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע, מיט די מיסיע צו שאַפֿן אַ זיכער אַרבעט סוויווע פֿאַר מענטשן, און האט זיך געטרייַ צו דעוועלאָפּינג גאַז סענסאָרס פּאַסיק פֿאַר די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, פּראַוויידינג גלייַך סאַלושאַנז פֿאַר פאַרשידן פּראָבלעמס. ניצערס, און קאַנטיניואַסלי אַפּגריידינג פּראָדוקט פאַנגקשאַנז און אָפּטימיזינג סיסטעמען.
פּאָסטן צייט: יולי-16-2024