פאַרפּעסטיקונג קוואלן און פאַרהיטונג אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע

פּראָדוקציע פון ​​סעמיקאַנדאַקטער מיטל דער הויפּט כולל דיסקרעטע דעוויסעס, ינאַגרייטיד סערקאַץ און זייער פּאַקקאַגינג פּראַסעסאַז.
סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע קענען זיין צעטיילט אין דרייַ סטאַגעס: פּראָדוקט גוף מאַטעריאַל פּראָדוקציע, פּראָדוקטווייפערמאַנופאַקטורינג און מיטל פֿאַרזאַמלונג. צווישן זיי, די מערסט ערנסט פאַרפּעסטיקונג איז דער בינע פון ​​פּראָדוקציע ווייפער.
פּאַלוטאַנץ זענען דער הויפּט צעטיילט אין אָפּפאַל וואַסער, וויסט גאַז און האַרט וויסט.

שפּאָן מאַנופאַקטורינג פּראָצעס:

סיליציום ווייפערנאָך פונדרויסנדיק גרינדינג - רייניקונג - אַקסאַדיישאַן - מונדיר אַנטקעגנשטעלנ זיך - פאָטאָליטאָגראַפי - אַנטוויקלונג - עטשינג - דיפיוזשאַן, יאָן ימפּלאַנטיישאַן - כעמישער פארע דעפּאַזישאַן - כעמישער מעטשאַניקאַל פּאַלישינג - מעטאַליזיישאַן, אאז"ו ו.

 

ווייסטוואָטער

א גרויס סומע פון ​​ווייסטוואָטער איז דזשענערייטאַד אין יעדער פּראָצעס שריט פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג און פּאַקקאַגינג טעסטינג, דער הויפּט זויער-באַזע ווייסטוואָטער, אַמאָוניאַ-מיט ווייסטוואָטער און אָרגאַניק ווייסטוואָטער.

 

1. פלואָרינע-מיט אָפּפאַל וואַסער:

הידראָפלואָריק זויער ווערט דער הויפּט סאַלוואַנט געניצט אין אַקסאַדיישאַן און עטשינג פּראַסעסאַז רעכט צו זייַן אַקסאַדייזינג און קעראָוסיוו פּראָפּערטיעס. פלואָרינע-מיט ווייסטוואָטער אין דעם פּראָצעס דער הויפּט קומט פון די דיפיוזשאַן פּראָצעס און כעמיש מעטשאַניקאַל פּאַלישינג פּראָצעס אין די שפּאָן מאַנופאַקטורינג פּראָצעס. אין די רייניקונג פּראָצעס פון סיליציום ווייפערז און פֿאַרבונדענע יוטענסאַלז, הידראָטשלאָריק זויער איז אויך געניצט פילע מאל. אַלע די פּראַסעסאַז זענען געענדיקט אין דעדאַקייטאַד עטשינג טאַנגקס אָדער רייניקונג ויסריכט, אַזוי פלאָרין-מיט ווייסטוואָטער קענען זיין דיסטשאַרדזשד ינדיפּענדאַנטלי. לויט די קאַנסאַנטריישאַן, עס קענען זיין צעטיילט אין וויסט וואַסער מיט הויך קאַנסאַנטריישאַן פון פלאָרין און וויסט וואַסער מיט נידעריק קאַנסאַנטריישאַן פון אַמאָוניאַ. אין אַלגעמיין, די קאַנסאַנטריישאַן פון וויסט וואַסער מיט הויך קאַנסאַנטריישאַן פון אַמאָוניאַ קענען דערגרייכן 100-1200 מג / ל. רובֿ קאָמפּאַניעס ריסייקאַל דעם טייל פון וויסט וואַסער פֿאַר פּראַסעסאַז וואָס טאָן ניט דאַרפן הויך וואַסער קוואַליטעט.

2. זויער-באַזע אָפּפאַל וואַסער:

כּמעט יעדער פּראָצעס אין די ינאַגרייטיד קרייַז מאַנופאַקטורינג פּראָצעס ריקווייערז די שפּאָן צו זיין קלינד. דערווייַל, סאַלפיוריק זויער און הידראָגען פּעראַקסייד זענען די מערסט קאַמאַנלי געניצט רייניקונג פלוידס אין די ינאַגרייטיד קרייַז מאַנופאַקטורינג פּראָצעס. אין דער זעלביקער צייַט, זויער-באַזע רעאַגענץ אַזאַ ווי ניטריק זויער, הידראָטשלאָריק זויער און אַמאָוניאַ וואַסער זענען אויך געניצט.
די זויער-באַזע אָפּפאַל וואַסער פון די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס דער הויפּט קומט פון די רייניקונג פּראָצעס אין די שפּאָן מאַנופאַקטורינג פּראָצעס. אין די פּאַקקאַגינג פּראָצעס, די שפּאָן איז באהאנדלט מיט זויער-באַזע לייזונג בעשאַס ילעקטראָופּלאַטינג און כעמישער אַנאַליסיס. נאָך באַהאַנדלונג, עס דאַרף זיין געוואשן מיט ריין וואַסער צו פּראָדוצירן זויער-באַזע וואַשינג ווייסטוואָטער. אין אַדישאַן, זויער-באַזע ריידזשאַנץ אַזאַ ווי סאָדיום כיידראַקסייד און הידראָטשלאָריק זויער זענען אויך געניצט אין די ריין וואַסער סטאַנציע צו רידזשענערייטינג אַניאָן און קאַטיאָן רעזינז צו פּראָדוצירן זויער-באַזע רידזשענעריישאַן ווייסטוואָטער. וואַשינג עק וואַסער איז אויך געשאפן בעשאַס די זויער-באַזע וויסט גאַז וואַשינג פּראָצעס. אין ינאַגרייטיד קרייַז מאַנופאַקטורינג קאָמפּאַניעס, די סומע פון ​​זויער-באַזע ווייסטוואָטער איז דער הויפּט גרויס.

3. אָרגאַניק ווייסטוואָטער:

רעכט צו פאַרשידענע פּראָדוקציע פּראַסעסאַז, די סומע פון ​​אָרגאַניק סאָלוואַנץ געניצט אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע איז זייער אַנדערש. אָבער, ווי רייניקונג אגענטן, אָרגאַניק סאָלוואַנץ זענען נאָך וויידלי געניצט אין פאַרשידן פֿאַרבינדונגען פון מאַנופאַקטורינג פּאַקקאַגינג. עטלעכע סאָלוואַנץ ווערן אָרגאַניק ווייסטוואָטער אָפּזאָגן.

4. אנדערע אָפּפאַל וואַסער:

די עטשינג פּראָצעס פון די סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע פּראָצעס וועט נוצן אַ גרויס סומע פון ​​אַמאָוניאַ, פלאָרין און הויך-ריינקייַט וואַסער פֿאַר דיקאַנטאַמאַניישאַן, דערמיט דזשענערייטינג הויך-קאַנסאַנטריישאַן אַמאָוניאַ-מיט אָפּזאָגן אָפּזאָגן.
די ילעקטראַפּלייטינג פּראָצעס איז פארלאנגט אין די סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג פּראָצעס. דער שפּאָן דאַרף זיין קלינד נאָך ילעקטראָופּלאַטינג, און ילעקטראָופּלאַטינג רייניקונג ווייסטוואָטער וועט זיין דזשענערייטאַד אין דעם פּראָצעס. זינט עטלעכע מעטאַלס ​​זענען געניצט אין ילעקטראָופּלאַטינג, עס וועט זיין ימישאַנז פון מעטאַל יאָן אין די ילעקטראָופּלאַטינג רייניקונג ווייסטוואָטער, אַזאַ ווי בלייַ, צין, דיסק, צינק, אַלומינום, אאז"ו ו.

 

וויסט גאַז

זינט דער סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס האט גאָר הויך רעקווירעמענץ פֿאַר די ריינקייַט פון די אָפּערייטינג צימער, פאַנס זענען יוזשאַוואַלי געניצט צו עקסטראַקט פאַרשידן טייפּס פון וויסט גאַסאַז וואַלאַטילייזד בעשאַס דעם פּראָצעס. דעריבער, די וויסט גאַז ימישאַנז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע זענען קעראַקטערייזד דורך גרויס ויסמאַטערן באַנד און נידעריק ימישאַן קאַנסאַנטריישאַן. וויסט גאַז ימישאַנז זענען אויך דער הויפּט וואַלאַטילייזד.
די אָפּפאַל גאַז ימישאַנז קענען זיין דער הויפּט צעטיילט אין פיר קאַטעגאָריעס: אַסידיק גאַז, אַלקאַליין גאַז, אָרגאַניק וויסט גאַז און טאַקסיק גאַז.

1. זויער-באַזע וויסט גאַז:

זויער-באַזע וויסט גאַז דער הויפּט קומט פון דיפיוזשאַן,CVD, קמפּ און עטשינג פּראַסעסאַז, וואָס נוצן זויער-באַזע רייניקונג לייזונג צו ריין די ווייפער.
דערווייַל, די מערסט קאַמאַנלי געניצט רייניקונג סאַלוואַנט אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס איז אַ געמיש פון הידראָגען פּעראַקסייד און סאַלפיוריק זויער.
די אָפּפאַל גאַז דזשענערייטאַד אין די פּראַסעסאַז כולל זויער גאַסאַז אַזאַ ווי שוועבל זויער, הידראָפלאָריק זויער, הידראָטשלאָריק זויער, ניטריק זויער און פאַספעריק זויער, און די אַלקאַליין גאַז איז דער הויפּט אַמאָוניאַ.

2. אָרגאַניק וויסט גאַז:

אָרגאַניק וויסט גאַז דער הויפּט קומט פון פּראַסעסאַז אַזאַ ווי פאָטאָליטאָגראַפי, אַנטוויקלונג, עטשינג און דיפיוזשאַן. אין די פּראַסעסאַז, אָרגאַניק לייזונג (אַזאַ ווי יסאָפּראָפּיל אַלקאָהאָל) איז געניצט צו ריין די ייבערפלאַך פון די ווייפער, און די וויסט גאַז דזשענערייטאַד דורך וואַלאַטילאַזיישאַן איז איינער פון די קוואלן פון אָרגאַניק וויסט גאַז;
אין דער זעלביקער צייט, די פאָטאָרעסיסט (פאָטאָרעסיסט) געניצט אין דעם פּראָצעס פון פאָטאָליטאָגראַפי און עטשינג כּולל וואַלאַטאַל אָרגאַניק סאָלוואַנץ, אַזאַ ווי בוטיל אַסאַטייט, וואָס וואַלאַטאַלייזיז אין דער אַטמאָספער בעשאַס די ווייפער פּראַסעסינג פּראָצעס, וואָס איז אן אנדער מקור פון אָרגאַניק וויסט גאַז.

3. טאַקסיק וויסט גאַז:

טאַקסיק וויסט גאַז דער הויפּט קומט פון פּראַסעסאַז אַזאַ ווי קריסטאַל עפּיטאַקסי, טרוקן עטשינג און קווד. אין די פּראַסעסאַז, אַ פאַרשיידנקייַט פון הויך ריינקייַט ספּעציעל גאַסאַז זענען געניצט צו פּראַסעסינג די ווייפער, אַזאַ ווי סיליציום (SiHj), פאַספעראַס (PH3), טשאַד טעטראַטשלאָרידע (CFJ), באָראַן, באָראָן טריאַקסייד, אאז"ו ו. עטלעכע ספּעציעל גאַסאַז זענען טאַקסיק, אַספיקסיאַטינג און קעראָוסיוו.
אין דער זעלביקער צייט, אין די טרוקן עטשינג און רייניקונג פּראָצעס נאָך כעמישער פארע דעפּאַזישאַן אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, אַ גרויס סומע פון ​​פול אַקסייד (PFCS) גאַז איז פארלאנגט, אַזאַ ווי NFS, C2F&CR, C3FS, CHF3, SF6, אאז"ו ו. האָבן שטאַרק אַבזאָרפּשאַן אין די ינפרערעד ליכט געגנט און בלייַבן אין דער אַטמאָספער פֿאַר אַ לאַנג צייַט. זיי זענען בכלל באטראכט צו זיין די הויפּט מקור פון די גלאבאלע אָראַנזשעריי ווירקונג.

4. פּאַקקאַגינג פּראָצעס וויסט גאַז:

קאַמפּערד מיט די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, די וויסט גאַז דזשענערייטאַד דורך די סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג פּראָצעס איז לעפיערעך פּשוט, דער הויפּט אַסידיק גאַז, יפּאַקסי סמאָלע און שטויב.
אַסידיק וויסט גאַז איז דער הויפּט דזשענערייטאַד אין פּראַסעסאַז אַזאַ ווי עלעקטראָפּלאַטינג;
באַקינג וויסט גאַז איז דזשענערייטאַד אין דעם פּראָצעס פון באַקינג נאָך פּראָדוקט פּאַסטינג און סילינג;
די דיסינג מאַשין דזשענערייץ וויסט גאַז מיט שפּור סיליציום שטויב בעשאַס די ווייפער קאַטינג פּראָצעס.

 

ענוויראָנמענטאַל פאַרפּעסטיקונג פּראָבלעמס

פֿאַר די ינווייראַנמענאַל פאַרפּעסטיקונג פּראָבלעמס אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, די הויפּט פראבלעמען וואָס דאַרפֿן צו זיין סאַלווד זענען:
· גרויס-וואָג ימישאַן פון לופט פּאַלוטאַנץ און וואַלאַטאַל אָרגאַניק קאַמפּאַונדז (וואָקס) אין די פאָטאָליטאָגראַפי פּראָצעס;
· ימישאַן פון פּערפלאָראַנייטיד קאַמפּאַונדז (PFCS) אין פּלאַזמע עטשינג און כעמישער פארע דעפּאַזישאַן פּראַסעסאַז;
· גרויס-וואָג קאַנסאַמשאַן פון ענערגיע און וואַסער אין פּראָדוקציע און זיכערקייַט שוץ פון טוערס;
· ריסייקלינג און פאַרפּעסטיקונג מאָניטאָרינג פון ביי-פּראָדוקטן;
· פּראָבלעמס פון ניצן כאַזערדאַס קעמיקאַלז אין פּאַקקאַגינג פּראַסעסאַז.

 

ריין פּראָדוקציע

סעמיקאַנדאַקטער מיטל ריין פּראָדוקציע טעכנאָלאָגיע קענען זיין ימפּרוווד פֿון די אַספּעקץ פון רוי מאַטעריאַלס, פּראַסעסאַז און פּראָצעס קאָנטראָל.

 

ימפּרוווינג רוי מאַטעריאַלס און ענערגיע

ערשטער, די ריינקייַט פון מאַטעריאַלס זאָל זיין שטרענג קאַנטראָולד צו רעדוצירן די הקדמה פון ימפּיוראַטיז און פּאַרטיקאַלז.
צווייטנס, פאַרשידן טעמפּעראַטור, רינען דיטעקשאַן, ווייבריישאַן, הויך-וואָולטידזש עלעקטריק קלאַפּ און אנדערע טעסץ זאָל זיין דורכגעקאָכט אויף די ינקאַמינג קאַמפּאָונאַנץ אָדער האַלב-פאַרטיק פּראָדוקטן איידער זיי זענען שטעלן אין פּראָדוקציע.
אין דערצו, די ריינקייַט פון אַגזיליערי מאַטעריאַלס זאָל זיין שטרענג קאַנטראָולד. עס זענען לעפיערעך פילע טעקנאַלאַדזשיז וואָס קענען זיין געניצט פֿאַר ריין פּראָדוקציע פון ​​ענערגיע.

 

אָפּטימיזירן פּראָדוקציע פּראָצעס

די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע זיך סטרייווז צו רעדוצירן זייַן פּראַל אויף די סוויווע דורך פּראַסעסינג טעכנאָלאָגיע ימפּרווומאַנץ.
פֿאַר בייַשפּיל, אין די 1970 ס, אָרגאַניק סאָלוואַנץ זענען דער הויפּט געניצט צו ריין ווייפערז אין די ינאַגרייטיד קרייַז רייניקונג טעכנאָלאָגיע. אין די 1980 ס, זויער און אַלקאַלי סאַלושאַנז אַזאַ ווי סאַלפיוריק זויער זענען געניצט צו ריין ווייפערז. ביז די 1990 ס, פּלאַזמע זויערשטאָף רייניקונג טעכנאָלאָגיע איז דעוועלאָפּעד.
אין טערמינען פון פּאַקקאַגינג, רובֿ קאָמפּאַניעס דערווייַל נוצן עלעקטראָפּלאַטינג טעכנאָלאָגיע, וואָס וועט פאַרשאַפן שווער מעטאַל פאַרפּעסטיקונג צו די סוויווע.
אָבער, פּאַקקאַגינג געוויקסן אין שאַנגהאַי ניט מער נוצן עלעקטראָפּלאַטינג טעכנאָלאָגיע, אַזוי עס איז קיין פּראַל פון שווער מעטאַלס ​​אויף די סוויווע. עס קען זיין געפֿונען אַז די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע איז ביסלעכווייַז רידוסינג זייַן פּראַל אויף די סוויווע דורך פּראָצעס ימפּרווומאַנץ און כעמישער סאַבסטיטושאַן אין זיין אייגענע אַנטוויקלונג פּראָצעס, וואָס אויך גייט די קראַנט גלאבאלע אַנטוויקלונג גאַנג פון אַדוואַקייטינג פּראָצעס און פּראָדוקט פּלאַן באזירט אויף די סוויווע.

 

דערווייַל, מער היגע פּראָצעס ימפּרווומאַנץ זענען דורכגעקאָכט, אַרייַנגערעכנט:

· פאַרבייַט און רעדוקציע פון ​​אַלע-אַמאָוניאַם פּפקס גאַז, אַזאַ ווי ניצן פּפקס גאַז מיט נידעריק אָראַנזשעריי ווירקונג צו פאַרבייַטן גאַז מיט הויך אָראַנזשעריי ווירקונג, אַזאַ ווי ימפּרוווינג פּראָצעס לויפן און רידוסינג די סומע פון ​​​​פּפקס גאַז געניצט אין דעם פּראָצעס;
· ימפּרוווינג מאַלטי-ווייפער רייניקונג צו איין-ווייפער רייניקונג צו רעדוצירן די סומע פון ​​כעמיש רייניקונג אגענטן געניצט אין די רייניקונג פּראָצעס.
· שטרענג פּראָצעס קאָנטראָל:
א. פאַרשטיין אָטאַמיישאַן פון מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, וואָס קענען פאַרשטיין גענוי פּראַסעסינג און פּעקל פּראָדוקציע, און רעדוצירן די הויך טעות קורס פון מאַנואַל אָפּעראַציע;
ב. הינטער-ריין פּראָצעס ינווייראַנמענאַל סיבות, וועגן 5% אָדער ווייניקער פון די טראָגן אָנווער איז געפֿירט דורך מענטשן און סוויווע. הינטער-ריין פּראָצעס ינווייראַנמענאַל סיבות דער הויפּט אַרייַננעמען לופט ריינקייַט, הויך-ריין וואַסער, קאַמפּרעסט לופט, CO2, N2, טעמפּעראַטור, הומידיטי, אאז"ו ו. די ריינקייַט מדרגה פון אַ ריין וואַרשטאַט איז אָפט געמאסטן דורך די מאַקסימום נומער פון פּאַרטיקאַלז ערלויבט פּער אַפּאַראַט באַנד פון לופט, וואָס איז, פּאַרטאַקאַל ציילן קאַנסאַנטריישאַן;
ג. פארשטארקן דיטעקשאַן, און סעלעקטירן צונעמען שליסל פונקטן פֿאַר דיטעקשאַן אין ווערקסטיישאַנז מיט גרויס אַמאַונץ פון וויסט בעשאַס די פּראָדוקציע פּראָצעס.

 

באַגריסן קיין קאַסטאַמערז פון אַלע איבער די וועלט צו באַזוכן אונדז פֿאַר אַ ווייַטער דיסקוסיע!

https://www.vet-china.com/

https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/

https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/

https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j