כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (CVD) איז אַ וויכטיק דין פילם דעפּאַזישאַן טעכנאָלאָגיע, אָפט געניצט צו צוגרייטן פאַרשידן פאַנגקשאַנאַל פילמס און דין-שיכטע מאַטעריאַלס, און איז וויידלי געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג און אנדערע פעלדער.
1. ארבעטן פּרינציפּ פון קווד
אין די CVD פּראָצעס, אַ גאַז פּריקערסער (איינער אָדער מער גאַז פּריקערסער קאַמפּאַונדז) איז געבראכט אין קאָנטאַקט מיט די סאַבסטרייט ייבערפלאַך און העאַטעד צו אַ זיכער טעמפּעראַטור צו פאַרשאַפן אַ כעמישער אָפּרוף און אַוועקלייגן אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך צו פאָרעם די געוואלט פילם אָדער קאָוטינג. שיכטע. דער פּראָדוקט פון דעם כעמישער רעאַקציע איז אַ האַרט, יוזשאַוואַלי אַ קאַמפּאַונד פון די געבעטן מאַטעריאַל. אויב מיר ווילן צו שטעקן סיליציום צו אַ ייבערפלאַך, מיר קענען נוצן טריטשלאָראָסילאַנע (SiHCl3) ווי די פּריקערסער גאַז: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl סיליציום וועט בינדן צו קיין יקספּאָוזד ייבערפלאַך (ביידע ינערלעך און פונדרויסנדיק), בשעת קלאָרין און הידראָטשלאָריק זויער גאַסאַז ווערן ארויסגעלאזט פון קאמער.
2. קווד קלאַסאַפאַקיישאַן
טערמאַל קווד: דורך באַהיצונג די פּריקערסער גאַז צו צעלייגנ און אַוועקלייגן עס אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך. Plasma Enhanced CVD (PECVD): פּלאַזמע איז מוסיף צו טערמאַל CVD צו פֿאַרבעסערן די אָפּרוף קורס און קאָנטראָלירן די דעפּאַזישאַן פּראָצעס. מעטאַל אָרגאַניק קווד (MOCVD): ניצן מעטאַל אָרגאַניק קאַמפּאַונדז ווי פּריקערסער גאַסאַז, דין פילמס פון מעטאַלס און סעמיקאַנדאַקטערז קענען זיין צוגעגרייט, און זענען אָפט געניצט אין די פּראָדוצירן פון דעוויסעס אַזאַ ווי לעדס.
3. אַפּפּליקאַטיאָן
(1) סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג
סיליסידע פילם: געניצט צו צוגרייטן ינסאַלייטינג לייַערס, סאַבסטרייץ, אפגעזונדערטקייט לייַערס, אאז"ו ו. ניטריד פילם: געניצט צו צוגרייטן סיליציום ניטרידע, אַלומינום ניטרידע, אאז"ו ו, געניצט אין לעדס, מאַכט דעוויסעס, אאז"ו ו. שיכטן וכו'.
(2) ווייַז טעכנאָלאָגיע
יטאָ פילם: טראַנספּעראַנט קאַנדאַקטיוו אַקסייד פילם, קאַמאַנלי געניצט אין פלאַך טאַפליע דיספּלייז און פאַרבינדן סקרינז. קופּער פילם: געניצט צו צוגרייטן פּאַקקאַגינג לייַערס, קאַנדאַקטיוו שורות, אאז"ו ו, צו פֿאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון אַרויסווייַזן דעוויסעס.
(3) אנדערע פעלדער
אָפּטיש קאָוטינגז: אַרייַנגערעכנט אַנטי-ריפלעקטיוו קאָוטינגז, אָפּטיש פילטערס, אאז"ו ו. אַנטי-קעראָוזשאַן קאָוטינג: געניצט אין אָטאַמאָוטיוו טיילן, אַעראָספּאַסע דעוויסעס, אאז"ו ו.
4. קעראַקטעריסטיקס פון קווד פּראָצעס
ניצן הויך טעמפּעראַטור סוויווע צו העכערן אָפּרוף גיכקייַט. יוזשאַוואַלי געטאן אין אַ וואַקוום סוויווע. קאַנטאַמאַנאַנץ אויף די ייבערפלאַך פון די טייל מוזן זיין אַוועקגענומען איידער געמעל. דער פּראָצעס קען האָבן לימיטיישאַנז אויף די סאַבסטרייץ וואָס קענען זיין קאָוטאַד, ד"ה טעמפּעראַטור לימיטיישאַנז אָדער ריאַקטיוואַטי לימיטיישאַנז. די CVD קאָוטינג וועט דעקן אַלע געביטן פון דער טייל, אַרייַנגערעכנט פֿעדעם, בלינד האָלעס און ינערלעך סערפאַסיז. קען באַגרענעצן די פיייקייט צו מאַסקע ספּעציפיש ציל געביטן. פילם גרעב איז לימיטעד דורך פּראָצעס און מאַטעריאַל טנאָים. העכער אַדכיזשאַן.
5. אַדוואַנטאַגעס פון קווד טעכנאָלאָגיע
וניפאָרמאַטי: קענען צו דערגרייכן מונדיר דעפּאַזישאַן איבער גרויס שטח סאַבסטרייץ.
קאָנטראָלאַביליטי: די דעפּאַזישאַן קורס און פילם פּראָפּערטיעס קענען זיין אַדזשאַסטיד דורך קאַנטראָולינג די לויפן קורס און טעמפּעראַטור פון די פּריקערסער גאַז.
ווערסאַטילאַטי: פּאַסיק פֿאַר דעפּאַזישאַן פון פאַרשידן מאַטעריאַלס, אַזאַ ווי מעטאַלס, סעמיקאַנדאַקטערז, אַקסיידז, עטק.
פּאָסטן צייט: מאי-06-2024