זונ - פאָטאָוואָלטאַיק פּראָדוקטן

ריינקייַט, SEM סטרוקטור, גרעב אַנאַליסיס פוןSiC קאָוטינג

די ריינקייַט פון סיק קאָוטינגז אויף גראַפייט דורך ניצן CVD איז ווי הויך ווי 99.9995%. זייַן סטרוקטור איז פקק. די SiC פילמס קאָוטאַד אויף גראַפייט איז (111) אָריענטיד ווי געוויזן אין די XRD דאַטן (Fig.1) וואָס ינדיקייץ זייַן הויך קריסטאַליין קוואַליטעט. די גרעב פון די סיק פילם איז זייער מונדיר ווי געוויזן אין Fig. 2.

פיגורע 2: גרעב מונדיר פון SiC פילמס SEM און XRD פון ביתא-סיק פילם אויף גראַפייט

SEM דאַטן פון CVD SiC דין פילם, די קריסטאַל גרייס איז 2 ~ 1 אָפּם

די קריסטאַל סטרוקטור פון די CVD SiC פילם איז אַ פּנים-צענטערעד קוביק סטרוקטור, און די פילם גראָוט אָריענטירונג איז נאָענט צו 100%

סיליציום קאַרבידע (סיק) קאָוטאַדבאַזע איז דער בעסטער באַזע פֿאַר איין קריסטאַל סיליציום און GaN עפּיטאַקסי, וואָס איז די האַרץ קאָמפּאָנענט פון די עפּיטאַקסי אויוון. די באַזע איז אַ שליסל פּראָדוקציע אַקסעסערי פֿאַר מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום פֿאַר גרויס ינאַגרייטיד סערקאַץ. עס האט הויך ריינקייַט, הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, גוט לופט טייטנאַס און אנדערע ויסגעצייכנט מאַטעריאַל קעראַקטעריסטיקס.

פּראָדוקט אַפּלאַקיישאַן און נוצן

גראַפיטע באַזע קאָוטינג פֿאַר איין קריסטאַל סיליציום עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּאַסיק פֿאַר אַיקסטראָן מאשינען, עטק קאָוטינג גרעב: 90 ~ 150ום דער דיאַמעטער פון די ווייפער קראַטער איז 55 מם.