וועטער ענערגיעPECVD פּראָצעס גראַפייט טרעגער איז אַ הויך-קוואַליטעט קאָנסומאַבלע טיילערד פֿאַר PECVD (פּלאַזמאַ ענכאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן) פּראָצעס. דעם גראַפייט טרעגער איז געמאכט פון הויך-ריינקייַט, הויך-געדיכטקייַט גראַפייט מאַטעריאַל, מיט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייַט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס, קענען צושטעלן אַ סטאַביל טרעגער פּלאַטפאָרמע פֿאַר PECVD פּראָצעס, צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַטנאַס פון דין פילם דעפּאָזיציע.
גראַפיטע קאַריערז פֿאַר PECVD פּראָצעס האָבן די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:
▪ הויך ריינקייַט: גאָר נידעריק טומע צופרידן, אַוווידינג קאַנטאַמאַניישאַן פון די פילם און ינשורינג פילם קוואַליטעט.
▪ הויך געדיכטקייַט: הויך געדיכטקייַט, הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט, קענען צו וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק פּעקווד סוויווע.
▪ גוט דימענשאַנאַל פעסטקייַט: קליין דימענשאַנאַל ענדערונג אין הויך טעמפּעראַטור, ינשורינג פּראָצעס פעסטקייַט.
▪ ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: יפעקטיוולי אַריבערפירן היץ צו פאַרמייַדן וואַפער אָוווערכיטינג.
▪ שטאַרק קעראָוזשאַן קעגנשטעל: קענען צו אַנטקעגנשטעלנ יראָוזשאַן דורך פאַרשידן קעראָוסיוו גאַסאַז און פּלאַזמע.
▪ קאַסטאַמייזד דינסט: גראַפייט קאַריערז פון פאַרשידענע סיזעס און שאַפּעס קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט צו קונה דאַרף.
גראַפיטע מאַטעריאַל פון SGL:
| טיפּיש פּאַראַמעטער: R6510 | |||
| אינדעקס | טעסט נאָרמאַל | ווערט | אַפּאַראַט |
| דורכשניטלעך קערל גרייס | ISO 13320 | 10 | μm |
| פאַרנעם געדיכטקייַט | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ג / סענטימעטער3 |
| עפענען פּאָראָסיטי | DIN66133 | 10 | % |
| מיטל פּאָרע גרייס | DIN66133 | 1.8 | μm |
| לעדוירעס | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| ראָקקוועלל כאַרדנאַס HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ספּעציפיש עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩם |
| פלעקסוראַל שטאַרקייַט | DIN IEC 60413/501 | 60 | מפּאַ |
| קאַמפּרעסיוו שטאַרקייַט | DIN 51910 | 130 | מפּאַ |
| יונג ס מאָדולע | DIN 51915 | 11.5×10³ | מפּאַ |
| טערמאַל יקספּאַנשאַן (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
עס איז ספּאַסיפיקלי דיזיינד פֿאַר הויך-עפעקטיווקייַט זונ - צעל מאַנופאַקטורינג, וואָס שטיצט G12 גרויס-גרייס ווייפער פּראַסעסינג. אָפּטימיזעד טרעגער פּלאַן ינקריסאַז די טרופּוט באטייטיק, וואָס אַלאַוז העכער טראָגן רייץ און נידעריקער פּראָדוקציע קאָס.
| נומער | טיפּ | נומער ווייפער טרעגער |
| PEVCD Grephite שיפל - די 156 סעריע | 156-13 גראַפייט שיפל | 144 |
| 156-19 גראַפייט שיפל | 216 | |
| 156-21 גראַפייט שיפל | 240 | |
| 156-23 גראַפייט שיפל | 308 | |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 125 סעריע | 125-15 גראַפייט שיפל | 196 |
| 125-19 גראַפייט שיפל | 252 | |
| 125-21 גרפיטע שיפל | 280 |
-
גראַפיטע כיטערז גראַפיטע באַהיצונג עלעמענטן קוסט ...
-
הויך ריינקייַט הויך טעמפּעראַטור פלעקסאַבאַל גראַפייט ...
-
יסאָסטאַטיק גראַפיטע און ספּעציעל גראַפיטע בלאָק ו ...
-
הייס פעלד סיסטעם פון איין קריסטאַל צייכענונג אויוון
-
גראַפיטע פּאַפּיר פֿאַר באַטאַרייע ילעקטראָודז הינטער-די ...
-
קאַרבאָן גראַפייט שייַכעס אַרבל דוראַבאַל גראַפייט ...