וועטער ענערגיעPECVD גראַפייט שיפל פֿאַר זונ סעלז איז אַ האַרץ קאָנסומאַבלע דיזיינד פֿאַר די PECVD (פּלאַזמאַ ענכאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן) פּראָצעס פון זונ סעלז. די גראַפיטע שיפל איז געמאכט פון הויך-ריינקייַט יסאָסטאַטיק גראַפייט מיט אַ פּאָראָסיטי פון ווייניקער ווי 15% און אַ ייבערפלאַך ראַפנאַס פון ראַ≤1.6μם. עס האט ויסגעצייכנט פּראָפּערטיעס אַזאַ ווי הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל און דימענשאַנאַל פעסטקייַט. ויסגעצייכנט דימענשאַנאַל פעסטקייַט און טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי ענשור מונדיר פילם דעפּאַזישאַן און פֿאַרבעסערן באַטאַרייע עפעקטיווקייַט. עס קענען צושטעלן אַ סטאַביל טרעגער אין אַ הויך-טעמפּעראַטור און הויך-דרוק PECVD סוויווע צו ענשור מונדיר דעפּאַזישאַן און הויך קוואַליטעט פון זונ צעל פילמס.
גראַפיטע מאַטעריאַל פון SGL:
| טיפּיש פּאַראַמעטער: R6510 | |||
| אינדעקס | טעסט נאָרמאַל | ווערט | אַפּאַראַט |
| דורכשניטלעך קערל גרייס | ISO 13320 | 10 | μm |
| פאַרנעם געדיכטקייַט | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | ג / סענטימעטער3 |
| עפענען פּאָראָסיטי | DIN66133 | 10 | % |
| מיטל פּאָרע גרייס | DIN66133 | 1.8 | μm |
| לעדוירעס | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| ראָקקוועלל כאַרדנאַס HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| ספּעציפיש עלעקטריקאַל רעסיסטיוויטי | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩם |
| פלעקסוראַל שטאַרקייַט | DIN IEC 60413/501 | 60 | מפּאַ |
| קאַמפּרעסיוו שטאַרקייַט | DIN 51910 | 130 | מפּאַ |
| יונג ס מאָדולע | DIN 51915 | 11.5×10³ | מפּאַ |
| טערמאַל יקספּאַנשאַן (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
עס איז ספּאַסיפיקלי דיזיינד פֿאַר הויך-עפעקטיווקייַט זונ - צעל מאַנופאַקטורינג, וואָס שטיצט G12 גרויס-גרייס ווייפער פּראַסעסינג. אָפּטימיזעד טרעגער פּלאַן ינקריסאַז די טרופּוט באטייטיק, וואָס אַלאַוז העכער טראָגן רייץ און נידעריקער פּראָדוקציע קאָס.
| נומער | טיפּ | נומער ווייפער טרעגער |
| PEVCD Grephite שיפל - די 156 סעריע | 156-13 גראַפייט שיפל | 144 |
| 156-19 גראַפייט שיפל | 216 | |
| 156-21 גראַפייט שיפל | 240 | |
| 156-23 גראַפייט שיפל | 308 | |
| PEVCD גרעפיטע שיפל - די 125 סעריע | 125-15 גראַפייט שיפל | 196 |
| 125-19 גראַפייט שיפל | 252 | |
| 125-21 גרפיטע שיפל | 280 |
-
הויך טעמפּעראַטור און קעראָוזשאַן קעגנשטעליק, די ס ...
-
VET הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק פלעקסאַבאַל גראַפיט ...
-
הויך ריינקייַט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק גראַפייט ...
-
הויך קוואַליטעט גראַפייט פּראָדוקטן פייַער קעגנשטעליק ה ...
-
הויך דרוק פלעקסאַבאַל גראַפייט פּאַקינג רינג
-
רייַבונג קעגנשטעליק פלעקסאַבאַל גראַפייט רינג קאַרבאָ ...