די 12 אינטש סיליציום וואַפער פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן געפֿינט דורך VET Energy איז ענדזשאַנירד צו טרעפן די גענוי סטאַנדאַרדס פארלאנגט אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע. ווי איינער פון די לידינג פּראָדוקטן אין אונדזער ליינאַפּ, VET ענערדזשי ינשורז אַז די ווייפערז זענען געשאפן מיט פּינטלעך פלאַטנאַס, ריינקייַט און ייבערפלאַך קוואַליטעט, וואָס מאכט זיי ידעאַל פֿאַר קאַטינג-ברעג סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז, אַרייַנגערעכנט מיקראָטשיפּס, סענסאָרס און אַוואַנסירטע עלעקטראָניש דעוויסעס.
די ווייפער איז קאַמפּאַטאַבאַל מיט אַ ברייט קייט פון מאַטעריאַלס אַזאַ ווי Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, Sin Substrate און Epi Wafer, וואָס גיט ויסגעצייכנט ווערסאַטילאַטי פֿאַר פאַרשידן פאַבריקיישאַן פּראַסעסאַז. אַדדיטיאָנאַללי, עס פּערז געזונט מיט אַוואַנסירטע טעקנאַלאַדזשיז ווי Gallium Oxide Ga2O3 און AlN Wafer, ינשורינג אַז עס קענען זיין ינאַגרייטיד אין העכסט ספּעשאַלייזד אַפּלאַקיישאַנז. פֿאַר גלאַט אָפּעראַציע, די ווייפער איז אָפּטימיזעד פֿאַר נוצן מיט אינדוסטריע-נאָרמאַל קאַסעט סיסטעמען, ינשורינג עפעקטיוו האַנדלינג אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג.
VET Energy ס פּראָדוקט ליניע איז נישט לימיטעד צו סיליציום ווייפערז. מיר אויך צושטעלן אַ ברייט קייט פון סעמיקאַנדאַקטער סאַבסטרייט מאַטעריאַלס, אַרייַנגערעכנט SiC Substrate, SOI Wafer, Sin Substrate, Epi Wafer, אאז"ו ו, ווי געזונט ווי נייַ ברייט באַנדגאַפּ סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַזאַ ווי Gallium Oxide Ga2O3 און AlN Wafer. די פּראָדוקטן קענען טרעפן די אַפּלאַקיישאַן באדערפענישן פון פאַרשידענע קאַסטאַמערז אין מאַכט עלעקטראָניק, ראַדיאָ אָפטקייַט, סענסאָרס און אנדערע פעלדער.
אַפּפּליקאַטיאָן געביטן:
•לאָגיק טשיפּס:מאַנופאַקטורינג פון הויך-פאָרשטעלונג לאָגיק טשיפּס אַזאַ ווי קפּו און גפּו.
•זכּרון טשיפּס:מאַנופאַקטורינג פון זכּרון טשיפּס אַזאַ ווי DRAM און NAND פלאַש.
•אַנאַלאָג טשיפּס:מאַנופאַקטורינג פון אַנאַלאָג טשיפּס אַזאַ ווי ADC און DAC.
•סענסאָרס:MEMS סענסאָרס, בילד סענסאָרס, עטק.
VET Energy גיט קאַסטאַמערז מיט קאַסטאַמייזד ווייפער סאַלושאַנז, און קענען קאַסטאַמייז ווייפערז מיט פאַרשידענע רעסיסטיוויטי, פאַרשידענע זויערשטאָף אינהאַלט, פאַרשידענע גרעב און אנדערע ספּעסאַפאַקיישאַנז לויט צו די ספּעציפיש באדערפענישן פון קאַסטאַמערז. אין אַדישאַן, מיר אויך צושטעלן פאַכמאַן טעכניש שטיצן און נאָך-פארקויפונג דינסט צו העלפֿן קאַסטאַמערז אַפּטאַמייז פּראָדוקציע פּראַסעסאַז און פֿאַרבעסערן פּראָדוקט טראָגן.
וואַפערינג ספּעסאַפאַקיישאַנז
*n-Pm=n-Type Pm-Grade,n-Ps=n-Ps-Grade,Sl=האַלבינסאַלייטינג
נומער | 8-אינטש | 6-אינטש | 4-אינטש | ||
nP | n-פּם | n-פּס | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6ום | ≤6ום | |||
בויגן (GF3YFCD)-אַבסאָלוט ווערט | ≤15μם | ≤15μם | ≤25μם | ≤15μם | |
וואָרפּ (GF3YFER) | ≤25μם | ≤25μם | ≤40μם | ≤25μם | |
LTV(SBIR) -10mmx10mm | <2μם | ||||
וואַפער עדזש | בעוועלינג |
ייבערפלאַך ענדיקן
*n-Pm=n-Type Pm-Grade,n-Ps=n-Ps-Grade,Sl=האַלבינסאַלייטינג
נומער | 8-אינטש | 6-אינטש | 4-אינטש | ||
nP | n-פּם | n-פּס | SI | SI | |
ייבערפלאַך ענדיקן | טאָפּל זייַט אָפּטיש פויליש, סי-פייס קמפּ | ||||
SurfaceRoughness | (10ום רענטגענ 10ום) Si-FaceRa≤0.2נם | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
ברעג טשיפּס | ניט דערלויבט (לענג און ברייט ≥0.5 מם) | ||||
אינדענץ | קיין דערלויבט | ||||
סקראַטשיז (סי-פאַסע) | קטי.≤5,קיומיאַלאַטיוו | קטי.≤5,קיומיאַלאַטיוו | קטי.≤5,קיומיאַלאַטיוו | ||
קראַקס | קיין דערלויבט | ||||
עדזש יקסקלוזשאַן | 3מם |