Tấm đỡ tấm than chì xử lý VET Energy PECVD là vật liệu tiêu hao cốt lõi được thiết kế cho quy trình PECVD (lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma). Sản phẩm này được làm bằng vật liệu than chì có độ tinh khiết cao, mật độ cao, có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định kích thước và các đặc tính khác, có thể cung cấp nền tảng hỗ trợ ổn định cho quá trình PECVD, để đảm bảo tính đồng nhất và độ phẳng của quá trình lắng đọng màng.
Thiết kế "hỗ trợ than chì" của tấm đỡ tấm than chì VET Energy không chỉ có thể hỗ trợ hiệu quả cho tấm wafer mà còn mang lại sự ổn định nhiệt trong môi trường PECVD nhiệt độ cao và áp suất cao để đảm bảo sự ổn định của quy trình.
Hỗ trợ wafer than chì xử lý VET Energy PECVD có các đặc điểm sau:
▪Độ tinh khiết cao:hàm lượng tạp chất cực thấp, tránh làm nhiễm bẩn màng, đảm bảo chất lượng của màng.
▪Mật độ cao:mật độ cao, độ bền cơ học cao, có thể chịu được môi trường PECVD nhiệt độ cao và áp suất cao.
▪Độ ổn định kích thước tốt:thay đổi kích thước nhỏ ở nhiệt độ cao để đảm bảo sự ổn định của quá trình.
▪Độ dẫn nhiệt tuyệt vời:truyền nhiệt hiệu quả để tránh quá nhiệt cho wafer.
▪Chống ăn mòn mạnh:Có khả năng chống xói mòn bởi các loại khí ăn mòn và plasma khác nhau.
▪Dịch vụ tùy chỉnh:Các bảng hỗ trợ than chì có kích thước và hình dạng khác nhau có thể được tùy chỉnh theo nhu cầu của khách hàng.
Chất liệu than chì từ SGL:
| Thông số điển hình: R6510 | |||
| chỉ mục | Tiêu chuẩn kiểm tra | Giá trị | Đơn vị |
| Kích thước hạt trung bình | ISO 13320 | 10 | mm |
| Mật độ lớn | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Độ xốp mở | DIN66133 | 10 | % |
| Kích thước lỗ trung bình | DIN66133 | 1.8 | mm |
| Tính thấm | DIN 51935 | 0,06 | cm2/s |
| Độ cứng Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Điện trở suất cụ thể | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Độ bền uốn | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Cường độ nén | DIN 51910 | 130 | MPa |
| mô đun Young | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Giãn nở nhiệt (20-200oC) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Độ dẫn nhiệt (20oC) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Nó được thiết kế đặc biệt để sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao, hỗ trợ xử lý tấm wafer kích thước lớn G12. Thiết kế phương tiện vận chuyển được tối ưu hóa làm tăng đáng kể thông lượng, cho phép tỷ lệ năng suất cao hơn và chi phí sản xuất thấp hơn.
| Mục | Kiểu | Chất mang wafer số |
| Thuyền Grephite PEVCD - Dòng 156 | Thuyền than chì 156-13 | 144 |
| Thuyền than chì 156-19 | 216 | |
| Thuyền than chì 156-21 | 240 | |
| Thuyền than chì 156-23 | 308 | |
| Thuyền Grephite PEVCD - Dòng 125 | Thuyền than chì 125-15 | 196 |
| Thuyền than chì 125-19 | 252 | |
| Thuyền grphite 125-21 | 280 |
