Thuyền wafer than chì để lắng đọng

Mô tả ngắn gọn:

Thuyền wafer than chì VET Energy là vật tư tiêu hao chất lượng cao được thiết kế riêng cho các quá trình lắng đọng trong chất bán dẫn, quang điện và các ngành công nghiệp khác. Được làm bằng vật liệu than chì có độ tinh khiết cao, mật độ cao, sản phẩm này có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, ổn định kích thước và các đặc tính khác tuyệt vời, đồng thời có thể cung cấp nền tảng vận chuyển ổn định cho quá trình lắng đọng để đảm bảo tính đồng nhất và độ phẳng của lắng đọng màng mỏng .

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Thuyền than chì PECVD của VET Energy được sản xuất bằng than chì đẳng tĩnh có độ tinh khiết cao, có độ xốp dưới 15% và độ nhám bề mặt Ra<1,6μm. Độ ổn định kích thước vượt trội và độ dẫn nhiệt đảm bảo sự lắng đọng màng đồng đều và nâng cao hiệu suất tế bào.

Chất liệu than chì từ SGL:

Thông số điển hình: R6510
chỉ mục	Tiêu chuẩn kiểm tra	Giá trị	Đơn vị
Kích thước hạt trung bình	ISO 13320	10	mm
Mật độ lớn	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Độ xốp mở	DIN66133	10	%
Kích thước lỗ trung bình	DIN66133	1.8	mm
Tính thấm	DIN 51935	0,06	cm2/s
Độ cứng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Điện trở suất cụ thể	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Độ bền uốn	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cường độ nén	DIN 51910	130	MPa
mô đun Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Giãn nở nhiệt (20-200oC)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Độ dẫn nhiệt (20oC)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Nó được thiết kế đặc biệt để sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao, hỗ trợ xử lý tấm wafer kích thước lớn G12. Thiết kế phương tiện vận chuyển được tối ưu hóa làm tăng đáng kể thông lượng, cho phép tỷ lệ năng suất cao hơn và chi phí sản xuất thấp hơn.

Mục	Kiểu	Chất mang wafer số
Thuyền Grephite PEVCD - Dòng 156	Thuyền than chì 156-13	144
	Thuyền than chì 156-19	216
	Thuyền than chì 156-21	240
	Thuyền than chì 156-23	308
Thuyền Grephite PEVCD - Dòng 125	Thuyền than chì 125-15	196
	Thuyền than chì 125-19	252
	Thuyền grphite 125-21	280