Khay nạp PECVD Khay than chì lắng đọng

Khay nạp PECVD Khay than chì Hình ảnh nổi bật

Mô tả ngắn gọn:

Khay nạp PECVD của VET Energy được thiết kế để cung cấp sự hỗ trợ an toàn và đồng đều cho các tấm bán dẫn trong quá trình lắng, cải thiện tính nhất quán và chất lượng của quá trình lắng. Với khả năng chịu nhiệt tuyệt vời, Khay than chì giúp duy trì môi trường được kiểm soát bên trong buồng PECVD, giảm nguy cơ ô nhiễm và đảm bảo hiệu quả xử lý cao.

Gửi email cho chúng tôi Tải xuống dưới dạng PDF

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Khay nạp VET Energy PECVD là giá đỡ chính xác được thiết kế cho quy trình PECVD (lắng đọng hơi hóa chất tăng cường plasma). Khay than chì lắng đọng chất lượng cao này được làm bằng vật liệu than chì có độ tinh khiết cao, mật độ cao. Nó có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, chống ăn mòn, ổn định kích thước và các đặc tính khác. Nó có thể cung cấp nền tảng vận chuyển ổn định cho quy trình PECVD và đảm bảo tính đồng nhất và độ phẳng của quá trình lắng đọng màng.

Khay nạp VET Energy PECVD được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực bán dẫn, quang điện, LED và các lĩnh vực khác. Ví dụ:

▪ Chất bán dẫn: Quy trình PECVD dành cho các vật liệu bán dẫn như tấm silicon và tấm epiticular.

▪ Quang điện: Quy trình PECVD cho màng mỏng pin mặt trời.

▪ LED: Quy trình PECVD cho chip LED.

Ưu điểm sản phẩm

▪Cải thiện chất lượng phim:Đảm bảo lắng đọng màng đồng đều và cải thiện chất lượng phim.

▪Kéo dài tuổi thọ thiết bị:Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, kéo dài tuổi thọ của thiết bị PECVD.

▪Giảm chi phí sản xuất:Khay than chì chất lượng cao có thể giảm tỷ lệ phế liệu và giảm chi phí sản xuất.

Chất liệu than chì từ SGL:

Thông số điển hình: R6510
chỉ mục	Tiêu chuẩn kiểm tra	Giá trị	Đơn vị
Kích thước hạt trung bình	ISO 13320	10	mm
Mật độ lớn	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Độ xốp mở	DIN66133	10	%
Kích thước lỗ trung bình	DIN66133	1.8	mm
Tính thấm	DIN 51935	0,06	cm2/s
Độ cứng Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Điện trở suất cụ thể	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Độ bền uốn	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Cường độ nén	DIN 51910	130	MPa
mô đun Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Giãn nở nhiệt (20-200oC)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Độ dẫn nhiệt (20oC)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Nó được thiết kế đặc biệt để sản xuất pin mặt trời hiệu suất cao, hỗ trợ xử lý tấm wafer kích thước lớn G12. Thiết kế phương tiện vận chuyển được tối ưu hóa làm tăng đáng kể thông lượng, cho phép tỷ lệ năng suất cao hơn và chi phí sản xuất thấp hơn.

Mục	Kiểu	Chất mang wafer số
Thuyền Grephite PEVCD - Dòng 156	Thuyền than chì 156-13	144
	Thuyền than chì 156-19	216
	Thuyền than chì 156-21	240
	Thuyền than chì 156-23	308
Thuyền Grephite PEVCD - Dòng 125	Thuyền than chì 125-15	196
	Thuyền than chì 125-19	252
	Thuyền grphite 125-21	280