Lắng đọng hơi hóa học (CVD) là một công nghệ lắng đọng màng mỏng quan trọng, thường được sử dụng để chuẩn bị các màng chức năng và vật liệu lớp mỏng khác nhau, và được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn và các lĩnh vực khác. 1. Nguyên lý hoạt động của CVD Trong quy trình CVD, tiền chất khí (một hoặc...
Đọc thêm