SiC epitaksial materiallarining o'sishi uchun asosiy texnologiya, birinchi navbatda, nuqsonlarni nazorat qilish texnologiyasi, ayniqsa, qurilma ishdan chiqishi yoki ishonchliligining pasayishiga moyil bo'lgan nuqsonlarni nazorat qilish texnologiyasi uchun. Substrat nuqsonlari mexanizmini o'rganish epi...
Ko'proq o'qish