Fotolitografiya mashinalarining nozik qismlari uchun afzal qilingan material Yarimo'tkazgich sohasida kremniy karbidli keramik materiallar asosan integral mikrosxemalar ishlab chiqarish uchun asosiy uskunalarda qo'llaniladi, masalan, silikon karbid ish stoli, hidoyat relslari, reflektorlar, keramik assimilyatsiya chuck, qo'llar, g...
Ko'proq o'qish