Sic qoplamasi nima?

Silikon karbidkremniy va uglerodni o'z ichiga olgan qattiq birikma bo'lib, tabiatda juda kam uchraydigan mozanit minerali sifatida uchraydi. Silikon karbid zarralarini sinterlash orqali bir-biriga bog'lab, juda qattiq keramika hosil qilish mumkin, ular yuqori chidamlilikni talab qiladigan ilovalarda, ayniqsa yarimo'tkazgichli ishlov berishda keng qo'llaniladi.

SiC ning fizik tuzilishi

SiC qoplamasi yuqori korroziyaga va issiqlikka chidamliligi va mukammal issiqlik o'tkazuvchanligiga ega bo'lgan zich, aşınmaya bardoshli silikon karbid qoplamasi. Ushbu yuqori toza SiC qoplamasi asosan yarimo'tkazgichlar va elektronika sanoatida gofret tashuvchilarni, asoslarni va isitish elementlarini korroziy va reaktiv muhitdan himoya qilish uchun ishlatiladi. SiC qoplamasi vakuumli pechlar va yuqori vakuumli, reaktiv va kislorodli muhitda namunani isitish uchun ham javob beradi.

Yuqori toza SiC qoplama yuzasi

SiC qoplama jarayoni nima?

Silikon karbidning yupqa qatlami substrat yuzasiga yotqiziladiCVD (kimyoviy bug 'birikishi). Cho'kma odatda 1200-1300 ° S haroratda amalga oshiriladi va substrat materialining termal kengayish harakati termal stressni minimallashtirish uchun SiC qoplamasi bilan mos kelishi kerak.

CVD SIC FILM KRISTAL TUZILISHI

CVD SIC qoplama FILM KRISTAL TUZILISHI

SiC qoplamasining fizik xususiyatlari asosan uning yuqori haroratga chidamliligi, qattiqligi, korroziyaga chidamliligi va issiqlik o'tkazuvchanligida namoyon bo'ladi.

Odatda jismoniy parametrlar quyidagicha:

Qattiqlik: SiC qoplamasi odatda 2000-2500 HV oralig'ida Vickers qattiqligiga ega, bu ularga sanoat ilovalarida juda yuqori aşınma va zarba qarshiligini ta'minlaydi.

Zichlik: SiC qoplamalari odatda 3,1-3,2 g/sm³ zichlikka ega. Yuqori zichlik qoplamaning mexanik kuchi va chidamliligiga hissa qo'shadi.

Issiqlik o'tkazuvchanligi: SiC qoplamalari yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega, odatda 120-200 Vt / mK oralig'ida (20 ° C da). Bu yuqori haroratli muhitda yaxshi issiqlik o'tkazuvchanligini beradi va uni yarimo'tkazgich sanoatida issiqlik bilan ishlov berish uskunalari uchun ayniqsa mos qiladi.

Erish nuqtasi: kremniy karbidning erish nuqtasi taxminan 2730 ° C va haddan tashqari haroratlarda mukammal termal barqarorlikka ega.

Issiqlik kengayish koeffitsienti: SiC qoplamalari past chiziqli issiqlik kengayish koeffitsientiga (CTE) ega, odatda 4,0-4,5 mkm/mK (25-1000 ℃ da) oralig'ida. Bu shuni anglatadiki, uning o'lchovli barqarorligi katta harorat farqlarida juda yaxshi.

Korroziyaga qarshilik: SiC qoplamalari kuchli kislota, gidroksidi va oksidlovchi muhitda korroziyaga juda chidamli, ayniqsa kuchli kislotalar (masalan, HF yoki HCl) ishlatilganda, ularning korroziyaga chidamliligi an'anaviy metall materiallardan ancha yuqori.

SiC qoplamalari quyidagi materiallarga qo'llanilishi mumkin:

Yuqori toza izostatik grafit (past CTE)
Volfram
Molibden
Silikon karbid
Silikon nitridi
Uglerod-uglerod kompozitlari (CFC)

SiC bilan qoplangan mahsulotlar odatda quyidagi sohalarda qo'llaniladi:

LED chip ishlab chiqarish
Polisilikon ishlab chiqarish
Yarimo'tkazgichkristall o'sishi
Silikon vaSiC epitaksisi
Gofretli issiqlik bilan ishlov berish va qirqish

Nima uchun VET Energy ni tanlaysiz?

VET Energy Xitoyda SiC qoplama mahsulotlarining etakchi ishlab chiqaruvchisi, innovatori va yetakchisi bo'lib, asosiy SiC qoplama mahsulotlariga kiradi.SiC qoplamali gofret tashuvchisi, SiC bilan qoplanganepitaksial sezgir, SiC bilan qoplangan grafit halqa, SiC qoplamali yarim oy qismlari, SiC bilan qoplangan uglerod-uglerodli kompozit, SiC bilan qoplangan gofretli qayiq, SiC bilan qoplangan isitgich, va hokazo. VET Energy yarimo'tkazgich sanoatini so'nggi texnologiya va mahsulot yechimlari bilan ta'minlashga intiladi va moslashtirish xizmatlarini qo'llab-quvvatlaydi. Biz chin dildan Xitoyda uzoq muddatli hamkoringiz bo'lishni orziqib kutamiz.