VET Energy PECVD لوڈنگ ٹرے PECVD (پلازما میں اضافہ شدہ کیمیائی بخارات جمع کرنے) کے عمل کے لیے ڈیزائن کیا گیا ایک درست کیریئر ہے۔ یہ اعلی معیار کی جمع گریفائٹ ٹرے اعلی پاکیزگی، اعلی کثافت گریفائٹ مواد سے بنی ہے۔ اس میں بہترین اعلی درجہ حرارت مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، جہتی استحکام اور دیگر خصوصیات ہیں۔ یہ PECVD عمل کے لیے ایک مستحکم کیریئر پلیٹ فارم مہیا کر سکتا ہے اور فلم کے جمع ہونے کی یکسانیت اور ہمواری کو یقینی بنا سکتا ہے۔
وی ای ٹی انرجی پی ای سی وی ڈی لوڈنگ ٹرے سیمی کنڈکٹر، فوٹو وولٹک، ایل ای ڈی اور دیگر شعبوں میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں۔ مثال کے طور پر:
▪ سیمی کنڈکٹر: سیمی کنڈکٹر مواد جیسے سیلیکون ویفرز اور ایپیٹیکسیل ویفرز کے لیے PECVD عمل۔
▪ فوٹوولٹک: سولر سیل پتلی فلموں کے لیے PECVD عمل۔
▪ ایل ای ڈی: ایل ای ڈی چپس کے لیے PECVD عمل۔
مصنوعات کے فوائد
▪فلم کے معیار کو بہتر بنائیں:یکساں فلم کی جمع کو یقینی بنائیں اور فلم کے معیار کو بہتر بنائیں۔
▪سامان کی زندگی کو بڑھانا:بہترین سنکنرن مزاحمت، PECVD آلات کی سروس کی زندگی کو بڑھانا۔
▪پیداواری لاگت کو کم کریں:اعلی معیار کی گریفائٹ ٹرے سکریپ کی شرح کو کم کر سکتی ہیں اور پیداواری لاگت کو کم کر سکتی ہیں۔
SGL سے گریفائٹ مواد:
| عام پیرامیٹر: R6510 | |||
| انڈیکس | ٹیسٹ کا معیار | قدر | یونٹ |
| اناج کا اوسط سائز | آئی ایس او 13320 | 10 | μm |
| بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کھلی porosity | DIN66133 | 10 | % |
| درمیانی تاکنا سائز | DIN66133 | 1.8 | μm |
| پارگمیتا | دین 51935 | 0.06 | cm²/s |
| راک ویل سختی HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقی مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| لچکدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ایم پی اے |
| دبانے والی طاقت | DIN 51910 | 130 | ایم پی اے |
| ینگ کا ماڈیولس | DIN 51915 | 11.5×10³ | ایم پی اے |
| حرارتی توسیع (20-200 ℃) | دین 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| تھرمل چالکتا (20℃) | دین 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
یہ خاص طور پر اعلی کارکردگی والے سولر سیل مینوفیکچرنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو G12 بڑے سائز کے ویفر پروسیسنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔ آپٹمائزڈ کیریئر ڈیزائن تھرو پٹ کو نمایاں طور پر بڑھاتا ہے، اعلی پیداوار کی شرح اور کم پیداواری لاگت کو قابل بناتا ہے۔
| آئٹم | قسم | نمبر ویفر کیریئر |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 156 سیریز | 156-13 گریفائٹ کشتی | 144 |
| 156-19 گریفائٹ کشتی | 216 | |
| 156-21 گریفائٹ کشتی | 240 | |
| 156-23 گریفائٹ کشتی | 308 | |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 125 سیریز | 125-15 گریفائٹ کشتی | 196 |
| 125-19 گریفائٹ کشتی | 252 | |
| 125-21 گریفائٹ کشتی | 280 |
