VET انرجی گریفائٹ سبسٹریٹ ویفر ہولڈر PECVD (پلازما اینہانسڈ کیمیکل ویپر ڈیپوزیشن) کے عمل کے لیے ڈیزائن کیا گیا ایک درست کیریئر ہے۔ یہ اعلیٰ معیار کا گریفائٹ سبسٹریٹ ہولڈر اعلیٰ طہارت، اعلی کثافت گریفائٹ مواد سے بنا ہے، جس میں اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، جہتی استحکام اور دیگر خصوصیات ہیں۔ یہ PECVD عمل کے لیے ایک مستحکم سپورٹ پلیٹ فارم مہیا کر سکتا ہے اور فلم کے جمع ہونے کی یکسانیت اور ہمواری کو یقینی بنا سکتا ہے۔
VET انرجی PECVD پروسیس گریفائٹ ویفر سپورٹ ٹیبل میں درج ذیل خصوصیات ہیں:
▪اعلی پاکیزگی:انتہائی کم ناپاک مواد، فلم کی آلودگی سے بچیں، فلم کے معیار کو یقینی بنائیں۔
▪اعلی کثافت:اعلی کثافت، اعلی مکینیکل طاقت، اعلی درجہ حرارت اور ہائی پریشر PECVD ماحول کو برداشت کر سکتی ہے۔
▪اچھی جہتی استحکام:اعلی درجہ حرارت پر چھوٹی جہتی تبدیلی، عمل کے استحکام کو یقینی بناتا ہے۔
▪بہترین تھرمل چالکتا:ویفر کو زیادہ گرم ہونے سے روکنے کے لیے گرمی کو مؤثر طریقے سے منتقل کریں۔
▪مضبوط سنکنرن مزاحمت:مختلف corrosive گیسوں اور پلازما کی طرف سے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کر سکتے ہیں.
▪اپنی مرضی کے مطابق سروس:مختلف سائز اور اشکال کے گریفائٹ سپورٹ ٹیبلز کو کسٹمر کی ضروریات کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔
مصنوعات کے فوائد
▪فلم کے معیار کو بہتر بنائیں:یکساں فلم کی جمع کو یقینی بنائیں اور فلم کے معیار کو بہتر بنائیں۔
▪سامان کی زندگی کو بڑھانا:بہترین سنکنرن مزاحمت، PECVD آلات کی سروس کی زندگی کو بڑھانا۔
▪پیداواری لاگت کو کم کریں:اعلی معیار کی گریفائٹ ٹرے سکریپ کی شرح کو کم کر سکتی ہیں اور پیداواری لاگت کو کم کر سکتی ہیں۔
SGL سے گریفائٹ مواد:
| عام پیرامیٹر: R6510 | |||
| انڈیکس | ٹیسٹ کا معیار | قدر | یونٹ |
| اناج کا اوسط سائز | آئی ایس او 13320 | 10 | μm |
| بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کھلی porosity | DIN66133 | 10 | % |
| درمیانی تاکنا سائز | DIN66133 | 1.8 | μm |
| پارگمیتا | دین 51935 | 0.06 | cm²/s |
| راک ویل سختی HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقی مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| لچکدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ایم پی اے |
| دبانے والی طاقت | DIN 51910 | 130 | ایم پی اے |
| ینگ کا ماڈیولس | DIN 51915 | 11.5×10³ | ایم پی اے |
| حرارتی توسیع (20-200 ℃) | دین 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| تھرمل چالکتا (20℃) | دین 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
یہ خاص طور پر اعلی کارکردگی والے سولر سیل مینوفیکچرنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو G12 بڑے سائز کے ویفر پروسیسنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔ آپٹمائزڈ کیریئر ڈیزائن تھرو پٹ کو نمایاں طور پر بڑھاتا ہے، اعلی پیداوار کی شرح اور کم پیداواری لاگت کو قابل بناتا ہے۔
| آئٹم | قسم | نمبر ویفر کیریئر |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 156 سیریز | 156-13 گریفائٹ کشتی | 144 |
| 156-19 گریفائٹ کشتی | 216 | |
| 156-21 گریفائٹ کشتی | 240 | |
| 156-23 گریفائٹ کشتی | 308 | |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 125 سیریز | 125-15 گریفائٹ کشتی | 196 |
| 125-19 گریفائٹ کشتی | 252 | |
| 125-21 گریفائٹ کشتی | 280 |
