VET انرجی PECVD عمل گریفائٹ ویفر سپورٹ ایک بنیادی استعمال کے قابل ہے جسے PECVD (پلازما میں اضافہ شدہ کیمیائی بخارات جمع کرنے) کے عمل کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ پروڈکٹ اعلی پاکیزگی، اعلی کثافت گریفائٹ مواد سے بنی ہے، بہترین اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، جہتی استحکام اور دیگر خصوصیات کے ساتھ، PECVD کے عمل کے لیے ایک مستحکم سپورٹ پلیٹ فارم فراہم کر سکتی ہے، تاکہ فلم کے جمع ہونے کی یکسانیت اور چپٹا پن کو یقینی بنایا جا سکے۔
VET انرجی گریفائٹ ویفر سپورٹ کا "گریفائٹ سپورٹ" ڈیزائن نہ صرف مؤثر طریقے سے ویفر کو سپورٹ کر سکتا ہے، بلکہ عمل کے استحکام کو یقینی بنانے کے لیے اعلی درجہ حرارت اور ہائی پریشر PECVD ماحول میں تھرمل استحکام بھی فراہم کرتا ہے۔
VET انرجی PECVD عمل گریفائٹ ویفر سپورٹ میں درج ذیل خصوصیات ہیں:
▪اعلی پاکیزگی:انتہائی کم نجاست کا مواد، فلم کے معیار کو یقینی بنانے کے لیے فلم کی آلودگی سے بچیں۔
▪اعلی کثافت:اعلی کثافت، اعلی مکینیکل طاقت، اعلی درجہ حرارت اور ہائی پریشر PECVD ماحول کو برداشت کر سکتی ہے۔
▪اچھی جہتی استحکام:عمل کے استحکام کو یقینی بنانے کے لیے اعلی درجہ حرارت پر چھوٹی جہتی تبدیلیاں۔
▪بہترین تھرمل چالکتا:ویفر کو زیادہ گرم ہونے سے روکنے کے لیے گرمی کو مؤثر طریقے سے منتقل کریں۔
▪مضبوط سنکنرن مزاحمت:مختلف سنکنرن گیسوں اور پلازما کے ذریعہ کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کرنے کے قابل۔
▪اپنی مرضی کے مطابق سروس:مختلف سائز اور اشکال کے گریفائٹ سپورٹ ٹیبلز کو کسٹمر کی ضروریات کے مطابق بنایا جا سکتا ہے۔
SGL سے گریفائٹ مواد:
| عام پیرامیٹر: R6510 | |||
| انڈیکس | ٹیسٹ کا معیار | قدر | یونٹ |
| اناج کا اوسط سائز | آئی ایس او 13320 | 10 | μm |
| بلک کثافت | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| کھلی porosity | DIN66133 | 10 | % |
| درمیانی تاکنا سائز | DIN66133 | 1.8 | μm |
| پارگمیتا | دین 51935 | 0.06 | cm²/s |
| راک ویل سختی HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص برقی مزاحمت | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| لچکدار طاقت | DIN IEC 60413/501 | 60 | ایم پی اے |
| دبانے والی طاقت | DIN 51910 | 130 | ایم پی اے |
| ینگ کا ماڈیولس | DIN 51915 | 11.5×10³ | ایم پی اے |
| حرارتی توسیع (20-200 ℃) | دین 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| تھرمل چالکتا (20℃) | دین 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
یہ خاص طور پر اعلی کارکردگی والے سولر سیل مینوفیکچرنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو G12 بڑے سائز کے ویفر پروسیسنگ کو سپورٹ کرتا ہے۔ آپٹمائزڈ کیریئر ڈیزائن تھرو پٹ کو نمایاں طور پر بڑھاتا ہے، اعلی پیداوار کی شرح اور کم پیداواری لاگت کو قابل بناتا ہے۔
| آئٹم | قسم | نمبر ویفر کیریئر |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 156 سیریز | 156-13 گریفائٹ کشتی | 144 |
| 156-19 گریفائٹ کشتی | 216 | |
| 156-21 گریفائٹ کشتی | 240 | |
| 156-23 گریفائٹ کشتی | 308 | |
| PEVCD گریفائٹ کشتی - 125 سیریز | 125-15 گریفائٹ کشتی | 196 |
| 125-19 گریفائٹ کشتی | 252 | |
| 125-21 گریفائٹ کشتی | 280 |
