Сусцептор із покриттям TaC для обладнання для епітаксії

Короткий опис:

VET надає спеціальні покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів і носіїв. Провідний процес нанесення покриттів VET дозволяє досягти високої чистоти, високотемпературної стабільності та високої хімічної стійкості покриттів з карбіду танталу (TaC), покращуючи якість кристалів SIC/GAN і шарів EPI, а також подовжуючи термін служби ключових компонентів реактора. Використання покриття з карбіду танталу TaC покликане вирішити проблему краю та покращити якість росту кристалів, а VET досягла прориву в технології покриття з карбіду танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.


Деталі продукту

Теги товарів

Покриття TaCсубстрат являє собою тонку плівку, виготовлену зкарбід танталуматеріал, який наноситься на поверхню підкладки епітаксіального обладнання.Покриття TaCмає багато чудових властивостей, що робить його ідеальним вибором.

Покриття TaC — це різновид покриття з карбіду танталу (TaC), виготовленого за технологією фізичного осадження з парової фази, воно має такі характеристики:

1. Висока твердість: Твердість покриття TaC висока, зазвичай може досягати 2500-3000HV, є чудовим твердим покриттям.

2. Зносостійкість: покриття TaC дуже зносостійке, що може ефективно зменшити знос і пошкодження механічних частин під час використання.

3. Хороша стійкість до високих температур: покриття TaC також може зберігати відмінні показники в умовах високої температури.

4. Хороша хімічна стабільність: покриття TaC має хорошу хімічну стабільність і може протистояти багатьом хімічним реакціям, таким як кислоти та основи.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Фізичні властивості TaC покриття

密度/ Щільність

14,3 (г/см³)

比辐射率 / Питома випромінювальна здатність

0,3

热膨胀系数 / Коефіцієнт теплового розширення

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Твердість (HK)

2000 HK

电阻 / Опір

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термостабільність

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Зміна розміру графіту

-10~-20 мкм

涂层厚度 / Товщина покриття

Типове значення ≥20um (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd — це високотехнологічне підприємство, яке зосереджується на виробництві та продажі високоякісних передових матеріалів, матеріалів і технологій, що охоплюють графіт, карбід кремнію, кераміку, обробку поверхні тощо. Продукти широко використовуються у фотоелектричній, напівпровідниковій, новій енергетиці, металургії тощо.

Наша технічна команда походить від провідних вітчизняних науково-дослідних установ, може надати вам більш професійні матеріальні рішення.

Щиро вітаємо вас відвідати нашу фабрику, давайте обговоримо далі!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Попередній:
  • далі:

  • Онлайн-чат WhatsApp!