Вафельний човен із перекристалізованого карбіду кремнію з покриттям CVD

Короткий опис:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat — це високоефективний продукт, розроблений для стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду часу. Він має надвисоку термостійкість і термічну однорідність, високу чистоту, стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.


Деталі продукту

Теги товарів

Властивості перекристаллізованого карбіду кремнію

Перекристалізований карбід кремнію (R-SiC) є високоефективним матеріалом, твердість якого поступається лише алмазу, який утворюється при високій температурі понад 2000 ℃. Він зберігає багато чудових властивостей SiC, таких як високотемпературна міцність, сильна стійкість до корозії, чудова стійкість до окислення, хороша стійкість до термічного удару тощо.

● Відмінні механічні властивості. Перекристалізований карбід кремнію має вищу міцність і жорсткість, ніж вуглецеве волокно, високу ударостійкість, може добре працювати в екстремальних температурах, може грати кращу противагу в різних ситуаціях. Крім того, він також має хорошу гнучкість і його нелегко пошкодити при розтягуванні та згинанні, що значно покращує його продуктивність.

● Висока стійкість до корозії. Перекристалізований карбід кремнію має високу корозійну стійкість до різноманітних середовищ, може запобігати ерозії різноманітних корозійних середовищ, може зберігати свої механічні властивості протягом тривалого часу, має міцну адгезію, так що він має довший термін служби. Крім того, він також має гарну термічну стабільність, може адаптуватися до певного діапазону змін температури, покращує ефект його застосування.

● Спікання не дає усадки. Оскільки в процесі спікання не відбувається усадки, залишкова напруга не спричинить деформації або розтріскування продукту, і можна підготувати деталі складної форми та високої точності.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію

性质 / Власність

典型数值 / Типове значення

使用温度/ Робоча температура (°C)

1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище)

SiC含量/ Вміст SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Вільний вміст Si

< 0,1%

体积密度/Насипна щільність

2,60-2,70 г/см3

气孔率/ Уявна пористість

< 16%

抗压强度/ Міцність на стиск

> 600МПа

常温抗弯强度/Міцність на холодний вигин

80-90 МПа (20°C)

高温抗弯强度Міцність на гарячий вигин

90-100 МПа (1400°C)

热膨胀系数/ Теплове розширення @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Теплопровідність @1200°C

23Вт/м•К

杨氏模量/ Модуль пружності

240 ГПа

抗热震性/ Стійкість до термічного удару

Надзвичайно добре

ПТО Енергія є всправжній виробник індивідуальних виробів із графіту та карбіду кремнію з покриттям CVD,може постачатирізнііндивідуальні частини для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. OНаша технічна команда походить від провідних вітчизняних науково-дослідних установ, може надати більш професійні матеріальні рішеннядля вас.

Ми постійно розробляємо передові процеси, щоб забезпечити більш досконалі матеріали,ірозробили ексклюзивну запатентовану технологію, яка може зробити з’єднання між покриттям і основою більш міцним і менш схильним до відшарування.

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття

性质 / Власність

典型数值 / Типове значення

晶体结构 / Кристалічна структура

FCC β фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Щільність

3,21 г/см³

硬度 / Твердість

2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)

晶粒大小 / Розмір зерна

2~10 мкм

纯度 / Хімічна чистота

99,99995%

热容 / Теплоємність

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублімації

2700 ℃

抗弯强度 / Міцність на вигин

415 МПа RT 4-точковий

杨氏模量 / Модуль Юнга

430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃

导热系数 / Термалпровідність

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Теплове розширення (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Щиро вітаємо вас відвідати нашу фабрику, давайте обговоримо далі!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Попередній:
  • далі:

  • Онлайн-чат WhatsApp!