Основною технологією для розвитку епітаксійних матеріалів SiC є, перш за все, технологія контролю дефектів, особливо для технології контролю дефектів, яка схильна до відмови пристрою або погіршення надійності. Дослідження механізму поширення дефектів підкладки в епі...
Читати далі