Нагрівач субстрату MOCVD, Нагрівальні елементи для MOCVD,
графітовий нагрівач, обігрівач, Нагрівач субстрату MOCVD,
Довговічний графітовий нагрівач із покриттям SIC для MOCVD K465i
Theграфітовий нагрівачкомпоненти використовуються у високотемпературній печі з температурою, досягнутою 2200 градусів у вакуумному середовищі та 3000 градусів у розкисленому та введеному газовому середовищі.
Основні властивості графітуобігрівач:
1. Рівномірність нагрівання структури.
2. хороша електропровідність і високе електричне навантаження.
3. стійкість до корозії.
4. неокислюваність.
5. висока хімічна чистота.
6. висока механічна міцність.
Перевагою є енергоефективність, висока вартість і низькі витрати на обслуговування.
Ми можемо виготовити графітовий тигель із захистом від окислення та тривалим терміном служби, графітову форму та всі частини графітуобігрівач.
Основні параметри графітового нагрівача:
Технічна специфікація | ВЕТ-М3 |
Насипна щільність (г/см3) | ≥1,85 |
Зольність (PPM) | ≤500 |
Твердість по Шору | ≥45 |
Питомий опір (μ.Ω.m) | ≤12 |
Міцність на вигин (МПа) | ≥40 |
Міцність на стиск (МПа) | ≥70 |
Макс. Розмір зерна (мкм) | ≤43 |
Коефіцієнт теплового розширення Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Графітовий нагрівач для електропечі має властивості термостійкості, стійкості до окислення, хорошої електропровідності та кращої механічної інтенсивності. Ми можемо обробляти різні типи графітового нагрівача відповідно до конструкцій клієнтів.