Графітова пластина з покриттям з карбіду кремнію для травлення світлодіодів

Графітова токоприймача з покриттям з карбіду кремнію для травлення світлодіодів Представлене зображення

Короткий опис:

Токоприймач з карбіду кремнію для травлення світлодіодів (лоток SiC) є спеціальним аксесуаром для глибокого травлення кремнію (машина травлення ICP). носій для пластин, також відомий як носій для пластин, носій для кремнієвих пластин, також відомий як кишенькова пластина. Широко використовується в напівпровідникових CVD і вакуумному напиленні.

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

Сусцептор з покриттям з карбіду кремніюa ключкомпонент, який використовується в різних процесах виробництва напівпровідників.Ми використовуємо нашу запатентовану технологію для виготовлення токоприймача з покриттям з карбіду кремніюнадзвичайно висока чистота,добрепокриттярівномірністьі відмінний термін служби, а такожвисока хімічна стійкість і термостабільність.

ПТО Енергія є всправжній виробник індивідуальних виробів із графіту та карбіду кремнію з покриттям CVD,може постачатирізнііндивідуальні частини для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. OНаша технічна команда походить від провідних вітчизняних науково-дослідних установ, може надати більш професійні матеріальні рішеннядля вас.

Ми постійно розробляємо передові процеси, щоб забезпечити більш досконалі матеріали,ірозробили ексклюзивну запатентовану технологію, яка може зробити з’єднання між покриттям і основою більш міцним і менш схильним до відшарування.

Fособливості нашої продукції:

1. Стійкість до високотемпературного окислення до 1700℃.
2. Висока чистота ітеплова однорідність
3. Чудова стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
4. Висока твердість, компактна поверхня, дрібні частинки.
5. Довший термін служби та міцніший

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття
性质 / Власність	典型数值 / Типове значення
晶体结构 / Кристалічна структура	FCC β фаза多晶，主要为（111）取向
密度 / Щільність	3,21 г/см³
硬度 / Твердість	2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)
晶粒大小 / Розмір зерна	2~10 мкм
纯度 / Хімічна чистота	99,99995%
热容 / Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублімації	2700 ℃
抗弯强度 / Міцність на вигин	415 МПа RT 4-точковий
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
导热系数 / Термалпровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Теплове розширення (CTE)	4,5×10^-6K^-1