CVD ТаС-покрита пластина-суцептор

Короткий опис:

VET Energy CVD TaC-покриття — це високоефективний продукт, розроблений для стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду часу. Він має надвисоку термостійкість і термічну однорідність, високу чистоту, стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.


Деталі продукту

Теги товарів

TheCVD TaC покриттяPlate Susceptor від vet-china розроблений для високопродуктивних процесів хімічного осадження з парової фази (CVD). Цей сприймач відрізняється міцністюПокриття TaC (карбід танталу)., пропонуючи виняткову термостабільність, хімічну стійкість і довговічність, що робить його ідеальним рішенням для виробництва напівпровідників і застосування при високих температурах. TheCVD TaC покриттязабезпечує відмінну стійкість до окислення та зношування, дозволяючи токоприймачу зберігати свою цілісність і працювати в суворих умовах.

вет-китаюCVD TaC покриттяPlate Susceptor виділяється своєю здатністю рівномірно розподіляти тепло під час процесів CVD, забезпечуючи точне осадження шарів і підвищуючи ефективність виготовлення напівпровідників. Покриття Ta-C забезпечує додатковий захист від хімічної корозії, подовжуючи термін служби токоприймача та покращуючи загальну продуктивність. Завдяки поєднанню передової технології CVD-суцепторів і високоякісного хімічного покриття TaC, цей сенсептор є ключовим компонентом для галузей промисловості, які потребують точності та надійності в умовах високої температури.

Незалежно від того, чи використовується він у виробництві напівпровідників чи інших високотехнологічних додаткахCVD TaC покрита пластинапризначений для задоволення вимог сучасного виробництва. Завдяки репутації Semicera щодо інновацій та якості, цей продукт пропонує чудову продуктивність і довговічність, що робить його надійним вибором для процесів CVD.

Покриття TaC — це різновид покриття з карбіду танталу (TaC), виготовленого за технологією фізичного осадження з парової фази, воно має такі характеристики:

1. Висока твердість: Твердість покриття TaC висока, зазвичай може досягати 2500-3000HV, є чудовим твердим покриттям.

2. Зносостійкість: покриття TaC дуже зносостійке, що може ефективно зменшити знос і пошкодження механічних частин під час використання.

3. Хороша стійкість до високих температур: покриття TaC також може зберігати відмінні показники в умовах високої температури.

4. Хороша хімічна стабільність: покриття TaC має хорошу хімічну стабільність і може протистояти багатьом хімічним реакціям, таким як кислоти та основи.

Покриття TaC13
Покриття TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Фізичні властивості TaC покриття

密度/ Щільність

14,3 (г/см³)

比辐射率 / Питома випромінювальна здатність

0,3

热膨胀系数 / Коефіцієнт теплового розширення

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Твердість (HK)

2000 HK

电阻 / Опір

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термостабільність

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / Зміна розміру графіту

-10~-20 мкм

涂层厚度 / Товщина покриття

Типове значення ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd — це високотехнологічне підприємство, яке зосереджується на виробництві та продажі високоякісних передових матеріалів, матеріалів і технологій, що охоплюють графіт, карбід кремнію, кераміку, обробку поверхні тощо. Продукти широко використовуються у фотоелектричній, напівпровідниковій, новій енергетиці, металургії тощо.

Наша технічна команда походить від провідних вітчизняних науково-дослідних установ, може надати вам більш професійні матеріальні рішення.

Щиро вітаємо вас відвідати нашу фабрику, давайте обговоримо далі!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Попередній:
  • далі:

  • Онлайн-чат WhatsApp!