CVD графітове кільце з покриттям з карбіду кремнію

Короткий опис:

Графітове кільце з карбідом кремнію VET Energy — це високоефективний продукт, розроблений для стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду часу. Він має надвисоку термостійкість і термічну однорідність, високу чистоту, стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

Типові властивості базового графітового матеріалу:

Видима щільність:	1,85 г/см3
Електричний опір:	11 мкОм
Міцність на вигин:	49 МПа (500 кгс/см2)
Твердість по Шору:	58
попіл:	<5 ppm
Теплопровідність:	116 Вт/мК (100 ккал/мг-℃)

Ми постачаємо різноманітні сенсори та графітові компоненти для всіх сучасних епітаксійних реакторів. Наша продукція включає в себе ствольні приймачі для LPE блоків, млинці для блоків LPE, CSD і Gemini, а також однопластинчасті приймачі для прикладних і ASM блоків.

Поєднуючи тісні партнерські відносини з провідними OEM-виробниками, досвід роботи з матеріалами та виробничі ноу-хау, vet пропонує оптимальний дизайн для вашого застосування.

ПТО Енергія є всправжній виробник індивідуальних виробів із графіту та карбіду кремнію з покриттям CVD,може постачатирізнііндивідуальні частини для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. OНаша технічна команда походить від провідних вітчизняних науково-дослідних установ, може надати більш професійні матеріальні рішеннядля вас.

Fособливості нашої продукції:

1. Стійкість до високотемпературного окислення до 1700℃.
2. Висока чистота ітеплова однорідність
3. Чудова стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
4. Висока твердість, компактна поверхня, дрібні частинки.
5. Довший термін служби та міцніший

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття
性质 / Власність	典型数值 / Типове значення
晶体结构 / Кристалічна структура	FCC β фаза多晶，主要为（111）取向
密度 / Щільність	3,21 г/см³
硬度 / Твердість	2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)
晶粒大小 / Розмір зерна	2~10 мкм
纯度 / Хімічна чистота	99,99995%
热容 / Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублімації	2700 ℃
抗弯强度 / Міцність на вигин	415 МПа RT 4-точковий
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃
导热系数 / Термалпровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Теплове розширення (CTE)	4,5×10^-6K^-1