PECVD йөкләү подшипкасы графит поднос

PECVD йөкләү подносының графит подшипкасы үзенчәлекле рәсем

Кыска тасвирлау:

VET Энергиянең PECVD Йөкләү Трейле чүпләү вакытында ваферларга куркынычсыз һәм хәтта ярдәм күрсәтү өчен, эшләнгән процессның эзлеклелеген һәм сыйфатын яхшырту өчен эшләнгән. Яхшы җылылыкка чыдамлыгы белән, Графит поднос PECVD палаталары эчендә контроль мохитне сакларга ярдәм итә, пычрану куркынычын киметә һәм югары процесс нәтиҗәлелеген тәэмин итә.

Безгә электрон почта җибәрегез PDF итеп йөкләү

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

VET Energy PECVD йөкләү тәлинкәсе - PECVD (плазманы көчәйтелгән химик пар парлау) процессы өчен эшләнгән төгәл йөртүче. Бу югары сыйфатлы чүпләү графит тәлинкәсе югары чисталык, югары тыгызлыктагы графит материалдан эшләнгән. Аның искиткеч югары температурага каршы торуы, коррозиягә каршы торуы, үлчәмле тотрыклылыгы һәм башка үзенчәлекләре бар. Ул PECVD процессы өчен тотрыклы ташучы платформа тәэмин итә ала һәм кино чүплегенең бердәмлеген һәм яссылыгын тәэмин итә ала.

VET Energy PECVD йөкләү подшипниклары ярымүткәргеч, фотоволтаик, LED һәм башка өлкәләрдә киң кулланыла. Мәсәлән:

Ic Ярымүткәргеч: кремний вафлары һәм эпитаксиаль ваферлар кебек ярымүткәргеч материаллар өчен PECVD процессы.

Oto Фотовольтаик: Кояш күзәнәкләренең нечкә фильмнары өчен PECVD процессы.

▪ LED: LED чиплар өчен PECVD процессы.

Продукция өстенлекләре

▪Фильм сыйфатын яхшырту:Фильмның бердәм урнашуын тәэмин итү һәм кино сыйфатын яхшырту.

▪Equipmentиһазларның гомерен озайту:Искиткеч коррозиягә каршы тору, PECVD җиһазларының хезмәт срогын озайту.

▪Productionитештерү чыгымнарын киметү:Qualityгары сыйфатлы графит подшипниклар калдыкларны киметергә һәм җитештерү чыгымнарын киметергә мөмкин.

SGLдан графит материал:

Типик параметр: R6510
Индекс	Тест стандарты	Кыйммәт	Берәмлек
Ашлыкның уртача күләме	ISO 13320	10	μm
Күпчелек тыгызлык	DIN IEC 60413/204	1.83	г / см³
Ачык күзәнәк	DIN66133	10	%
Урта күзәнәк күләме	DIN66133	1.8	μm
Рөхсәт	DIN 51935	0.06	см² / с
Роквелл катылыгы HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
Аерым электр каршылыгы	DIN IEC 60413/402	13	μm
Флексур көч	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Кысу көче	DIN 51910	130	MPa
Яшь модуль	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Rылылык киңәюе (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Rылылык үткәрүчәнлеге (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ул махсус G12 зур күләмле вафер эшкәртүгә булышып, югары эффектив кояш күзәнәкләрен җитештерү өчен эшләнгән. Оптималь ташучы дизайны үткәрү күләмен сизелерлек арттыра, югары уңыш ставкаларын һәм җитештерү чыгымнарын киметә.

Предмет	Тип	Номер ташучы
PEVCD Грефит көймәсе - 156 серия	156-13 грефит көймәсе	144
	156-19 грефит көймәсе	216
	156-21 грефит көймәсе	240
	156-23 графит көймә	308
PEVCD Грефит көймәсе - 125 серия	125-15 грефит көймәсе	196
	125-19 грефит көймәсе	252
	125-21 грфит көймәсе	280