PECVD графит ваферы ярдәме

Кыска тасвирлау:

Төгәллек һәм эш башкару өчен эшләнгән, VET Energy's Graphite Wafer Support - югары җылылык тотрыклылыгы һәм эзлекле эш итү критик булган алдынгы вафер эшкәртүдә куллану өчен идеаль материал. Ярымүткәргеч ваферлар яки башка нечкә субстратлар белән эшлисезме, бу югары сыйфатлы графит ярдәме сезнең процессның ышанычлылыгын һәм продукт сыйфатын арттырачак, аны заманча җитештерү өчен алыштыргысыз компонентка әйләндерәчәк.

Безгә электрон почта җибәрегез PDF итеп йөкләү

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

VET Energy PECVD процессы графит вафер ярдәме - PECVD (плазманы көчәйтелгән химик пар парлау) процессы өчен эшләнгән үзәк куллану. Бу продукт югары чисталык, югары тыгызлыктагы графит материалдан эшләнгән, искиткеч югары температурага каршы тору, коррозиягә каршы тору, үлчәм тотрыклылыгы һәм башка характеристикалары белән, PECVD процессы өчен тотрыклы таяныч платформасы бирә ала, кино чүплегенең бердәмлеген һәм тигезлеген тәэмин итә.

VET Energy графит ваферы ярдәменең "графит ярдәме" дизайны ваферга эффектив ярдәм итә алмый, шулай ук процессның тотрыклылыгын тәэмин итү өчен югары температурада һәм югары басымлы PECVD мохитендә җылылык тотрыклылыгын тәэмин итә ала.

VET Energy PECVD процесс графит вафер ярдәме түбәндәге үзенчәлекләргә ия:

▪Purгары чисталык:бик түбән пычраклык, фильмның сыйфатын тәэмин итү өчен, фильмның пычрануыннан сакланыгыз.

▪Highгары тыгызлык:югары тыгызлык, югары механик көч, югары температурага һәм югары басымлы PECVD мохитенә каршы тора ала.

▪Яхшы үлчәмле тотрыклылык:процессның тотрыклылыгын тәэмин итү өчен югары температурада кечкенә үлчәмле үзгәрешләр.

▪Искиткеч җылылык үткәрүчәнлеге:Ваферның артык кызып китүен булдырмас өчен җылылыкны эффектив күчерегез.

▪Көчле коррозиягә каршы тору:Төрле коррозив газлар һәм плазма белән эрозиягә каршы тора белү.

▪Custзенчәлекле хезмәт:Төрле зурлыктагы һәм формадагы графит ярдәм таблицалары клиент ихтыяҗлары буенча көйләнергә мөмкин.

SGLдан графит материал:

Типик параметр: R6510
Индекс	Тест стандарты	Кыйммәт	Берәмлек
Ашлыкның уртача күләме	ISO 13320	10	μm
Күпчелек тыгызлык	DIN IEC 60413/204	1.83	г / см³
Ачык күзәнәк	DIN66133	10	%
Урта күзәнәк күләме	DIN66133	1.8	μm
Рөхсәт	DIN 51935	0.06	см² / с
Роквелл катылыгы HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
Аерым электр каршылыгы	DIN IEC 60413/402	13	μm
Флексур көч	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Кысу көче	DIN 51910	130	MPa
Яшь модуль	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Rылылык киңәюе (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Rылылык үткәрүчәнлеге (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ул махсус G12 зур күләмле вафер эшкәртүгә булышып, югары эффектив кояш күзәнәкләрен җитештерү өчен эшләнгән. Оптималь ташучы дизайны үткәрү күләмен сизелерлек арттыра, югары уңыш ставкаларын һәм җитештерү чыгымнарын киметә.

Предмет	Тип	Номер ташучы
PEVCD Грефит көймәсе - 156 серия	156-13 грефит көймәсе	144
	156-19 грефит көймәсе	216
	156-21 грефит көймәсе	240
	156-23 графит көймә	308
PEVCD Грефит көймәсе - 125 серия	125-15 грефит көймәсе	196
	125-19 грефит көймәсе	252
	125-21 грфит көймәсе	280