PECVD өчен графит субстрат вафер тотучы

PECVD үзенчәлекле рәсем өчен графит субстрат вафер тотучы

Кыска тасвирлау:

VET Energy's Graphite Substrate Holder PECVD процессында вафер тигезләнешен һәм тотрыклылыгын саклап калу өчен эшләнгән, пычрануны булдырмый һәм зыян куркынычын киметә. Графит Вафер Холдеры куркынычсыз, хәтта платформа белән тәэмин итә, ваферларның плазмага эзлекле һәм югары сыйфатлы урнашуы өчен тигез. Highгары җылылык үткәрүчәнлеге һәм гаҗәеп көче белән, бу хуҗа гомуми процесс эффективлыгын һәм продукт җитештерүчәнлеген яхшыртырга ярдәм итә.

Безгә электрон почта җибәрегез PDF итеп йөкләү

Продукциянең детальләре

Продукция тэглары

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder - PECVD (Плазманы көчәйтелгән химик пар парламенты) процессы өчен эшләнгән төгәл ташучы. Бу югары сыйфатлы графит субстрат тоткыч югары чисталык, югары тыгызлыктагы графит материалдан эшләнгән, искиткеч югары температурага каршы тору, коррозиягә каршы тору, үлчәм тотрыклылыгы һәм башка характеристикалар. Ул PECVD процессы өчен тотрыклы ярдәм платформасы бирә ала һәм кино чүплегенең бердәмлеген һәм яссылыгын тәэмин итә ала.

VET Energy PECVD процесс графит вафер таблицасы түбәндәге үзенчәлекләргә ия:

▪Purгары чисталык:бик түбән пычраклык эчтәлеге, фильмның пычрануыннан сакланыгыз, кино сыйфатын тәэмин итегез.

▪Highгары тыгызлык:югары тыгызлык, югары механик көч, югары температурага һәм югары басымлы PECVD мохитенә каршы тора ала.

▪Яхшы үлчәмле тотрыклылык:югары температурада кечкенә үлчәмле үзгәреш, процесс тотрыклылыгын тәэмин итү.

▪Искиткеч җылылык үткәрүчәнлеге:Ваферның артык кызып китүен булдырмас өчен җылылыкны эффектив күчерегез.

▪Көчле коррозиягә каршы тору:төрле коррозив газлар һәм плазма белән эрозиягә каршы тора ала.

▪Custзенчәлекле хезмәт:Төрле зурлыктагы һәм формадагы графит ярдәм таблицалары клиент ихтыяҗлары буенча көйләнергә мөмкин.

Продукция өстенлекләре

▪Фильм сыйфатын яхшырту:Фильмның бердәм урнашуын тәэмин итү һәм кино сыйфатын яхшырту.

▪Equipmentиһазларның гомерен озайту:Искиткеч коррозиягә каршы тору, PECVD җиһазларының хезмәт срогын озайту.

▪Productionитештерү чыгымнарын киметү:Qualityгары сыйфатлы графит подшипниклар калдыкларны киметергә һәм җитештерү чыгымнарын киметергә мөмкин.

SGLдан графит материал:

Типик параметр: R6510
Индекс	Тест стандарты	Кыйммәт	Берәмлек
Ашлыкның уртача күләме	ISO 13320	10	μm
Күпчелек тыгызлык	DIN IEC 60413/204	1.83	г / см³
Ачык күзәнәк	DIN66133	10	%
Урта күзәнәк күләме	DIN66133	1.8	μm
Рөхсәт	DIN 51935	0.06	см² / с
Роквелл катылыгы HR5 / 100	DIN IEC60413 / 303	90	HR
Аерым электр каршылыгы	DIN IEC 60413/402	13	μm
Флексур көч	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Кысу көче	DIN 51910	130	MPa
Яшь модуль	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Rылылык киңәюе (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Rылылык үткәрүчәнлеге (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ул махсус G12 зур күләмле вафер эшкәртүгә булышып, югары эффектив кояш күзәнәкләрен җитештерү өчен эшләнгән. Оптималь ташучы дизайны үткәрү күләмен сизелерлек арттыра, югары уңыш ставкаларын һәм җитештерү чыгымнарын киметә.

Предмет	Тип	Номер ташучы
PEVCD Грефит көймәсе - 156 серия	156-13 грефит көймәсе	144
	156-19 грефит көймәсе	216
	156-21 грефит көймәсе	240
	156-23 графит көймә	308
PEVCD Грефит көймәсе - 125 серия	125-15 грефит көймәсе	196
	125-19 грефит көймәсе	252
	125-21 грфит көймәсе	280