Aboveгарыда күрсәтелгәнчә, типик
Беренче тайм:
Atingылыту элементы (җылыту кәтүге): мич трубасы тирәсендә урнашкан, гадәттә каршылык чыбыкларыннан, мич трубасының эчләрен җылыту өчен кулланыла.
Кварц трубасы: югары температураларга каршы тора алырлык һәм химик инерт булып кала алырлык югары чисталыклы кварцтан эшләнгән кайнар оксидлашу миченең үзәге.
Газ азыкы: Мич трубасының өске яисә ягында урнашкан, ул мич трубасы эченә кислород яки башка газлар ташу өчен кулланыла.
SS Flange: кварц трубаларын һәм газ линияләрен тоташтыручы компонентлар, тоташуның тыгызлыгын һәм тотрыклылыгын тәэмин итә.
Газ туклану линияләре: MFCны газ җибәрү портына тоташтыручы торбалар.
MFC (масса агым контроллеры): кирәкле газ күләмен төгәл көйләү өчен кварц трубасы эчендә газ агымын контрольдә тотучы җайланма.
Вент: Эшли торган газны мич трубасы эченнән җиһаз тышына чыгару өчен кулланыла.
Түбән өлеш
Силикон ваферлары: Кремний вафиннары оксидлашу вакытында бердәм җылылыкны тәэмин итү өчен махсус Холдерда урнаштырылган.
Вафер тотучы: Кремний вафинын тоту өчен һәм кремний вафин процесс вакытында тотрыклы булып калу өчен кулланыла.
Пьедестал: Кремний вафат тотучы, гадәттә югары температурага чыдам материалдан ясалган структура.
Лифт: Кремний вафаларын автоматик йөкләү һәм бушату өчен Вафер тоткычларын кварц трубаларына чыгару өчен.
Wafer Transfer Robot: мич трубасы җайланмасы ягында урнашкан, ул кремний вафинны сандыктан автоматик рәвештә чыгарып, мич трубасына урнаштыру өчен, яки эшкәртелгәннән соң чыгару өчен кулланыла.
Кассета Саклау Карусель: Кассета саклау карусель кремний вафлары булган тартманы саклау өчен кулланыла һәм роботка керү өчен әйләнергә мөмкин.
Вафер кассетасы: кремний вафиннарны эшкәртү һәм саклау өчен кулланыла.
Пост вакыты: 22-2024 апрель