Aboveгарыда күрсәтелгәнчә, типик
Беренче тайм:
Ating atingылыту элементы (җылыту кәтүге):
мич трубасы тирәсендә урнашкан, гадәттә каршылык чыбыкларыннан ясалган, мич трубасының эчләрен җылыту өчен кулланыла.
Art Кварц трубасы:
Hotгары температурага каршы тора ала һәм химик яктан инерт булып кала ала торган югары чисталыклы кварцтан эшләнгән кайнар оксидлашу миченең үзәге.
▪ Газ белән туклану:
Мич трубасының өске яисә ягында урнашкан, ул мич трубасының эчке ягына кислород яки башка газлар ташу өчен кулланыла.
▪ SS Фланг:
кварц трубаларын һәм газ линияләрен тоташтыручы компонентлар, тоташуның тыгызлыгын һәм тотрыклылыгын тәэмин итәләр.
▪ Газ белән туклану линиясе:
МФКны газ җибәрү портына тоташтыручы торбалар.
FC MFC (масса агымын контроллер):
Кварц трубасы эчендә газ агымын контрольдә тотучы җайланма, кирәкле газ күләмен төгәл көйләү өчен.
Ent Вент:
Мич трубасы эченнән җиһаз тышына чыгарылган газны чыгару өчен кулланыла.
Түбән өлеш:
Hold Саклаучы кремний ваферлары:
Кремний вафиннары оксидлашу вакытында бердәм җылылыкны тәэмин итү өчен махсус Холдерда урнаштырылган.
Fer Вафер хуҗасы:
Кремний вафинын тоту һәм процесс вакытында кремний вафин тотрыклы булып калу өчен кулланыла.
Ed Пьедестал:
Кремний вафат тотучы структура, гадәттә югары температурага чыдам материалдан эшләнгән.
▪ Лифт:
Кремний вафиннарны автоматик йөкләү һәм бушату өчен Вафер тоткычларын кварц трубаларына күтәрү өчен.
▪ Вафер Трансфер Робот:
мич трубасы җайланмасы ягында урнашкан, ул кремний вафинны сандыктан автоматик рәвештә чыгарып, мич трубасына урнаштыру өчен, яки эшкәртелгәннән соң чыгару өчен кулланыла.
▪ Кассета саклау Карусель:
Кассета саклау карусель кремний вафлары булган тартманы саклау өчен кулланыла һәм роботка керү өчен әйләнергә мөмкин.
▪ Вафер кассетасы:
вафин кассетасы эшкәртеләчәк кремний вафаларын саклау һәм күчерү өчен кулланыла.
Пост вакыты: 22-2024 апрель