TaC каплавы белән графит

I. Параметр тикшерү

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar системасы

2. Чокыр температурасы:

Термодинамик формула буенча, температура 1273Ктан артканда, Гиббсның реакциянең ирекле энергиясе бик түбән һәм реакция чагыштырмача тулы дип исәпләнә. Даими КП 1273К температурада бик зур һәм температура белән тиз арта, һәм үсеш темплары әкренләп 1773Кта акрыная.

Катламның өске морфологиясенә йогынтысы: Температура яраксыз булганда (артык югары яки бик түбән), өслек ирекле углерод морфологиясен яки иркен күзәнәкләрне күрсәтә.

.

(2) Алканнарның пиролиз реакция тизлеге белән тантал пентахлоридының реакция тизлеге арасында аерма бар. Пиролиз углероды артык, аны тантал белән берләштереп булмый, нәтиҗәдә углерод белән уралган.

Температура туры килгәндә, өслекTaC каплаутыгыз.

TaCкисәкчәләр бер-берсе белән эриләр һәм агрегатланалар, кристалл формасы тулы, һәм ашлык чикләре шома күчү.

3. Водород катнашы:

Моннан тыш, каплау сыйфатына тәэсир итүче күп факторлар бар:

Surfaceир өсте сыйфаты

Газ чыганагы

- Реактив газ кушылуның бердәмлек дәрәҗәсе

II. Типик кимчелекләртантал карбид каплау

1. Катламның ярылуы һәм кабыгы

Сызыклы җылылык киңәйтү коэффициенты сызыклы CTE:

2. Камил анализ:

(1) Сәбәбе:

2) Характеризация ысулы

The Калдыкны үлчәү өчен рентген дифракция технологиясен кулланыгыз.

Hu Калган стрессны чамалау өчен Ху Ке законын кулланыгыз.

3) Бәйләнешле формулалар

3.Көпләү һәм субстратның механик яраклашуын арттыру

(1) Ситудагы үсеш өслеге

Rылылык реакциясен чүпләү һәм диффузия технологиясе TRD

Эретелгән тоз процессы

Производство процессын гадиләштерегез

Реакция температурасын түбәнәйтегез

Чагыштырмача түбән бәя

Экологик яктан чиста

Зур сәнәгать җитештерү өчен яраклы

(2) Композицион күчү

Кооперация процессы

CVDпроцесс

Күп компонентлы каплау

Eachәр компонентның өстенлекләрен берләштерү

Каплау составын һәм пропорциясен сыгылмалы көйләгез

4. Термаль реакция чүпләү һәм диффузия технологиясе TRD

(1) Реакция механизмы

TRD технологиясе шулай ук ​​урнаштыру процессы дип атала, ул бор кислотасы-тантал пентоксиды-натрий фторид-бор оксиды-бор карбид системасын әзерли.тантал карбид каплау.

① Эретелгән бор кислотасы тантал пентоксидын эретә;

Ant Тантал пентоксиды актив тантал атомнарына кадәр кими һәм графит өслегендә тарала;

Ive Актив тантал атомнары графит өслегендә урнаштырылган һәм углерод атомнары белән реакциягә керәләртантал карбид каплау.

2) реакция ачкычы

Карбид каплау төре карбидны барлыкка китерүче элементның оксидлашу ирекле энергиясе бор оксидына караганда югарырак булу таләбен канәгатьләндерергә тиеш.

Карбидның Гиббс ирекле энергиясе җитәрлек дәрәҗәдә түбән (югыйсә бор яки борид барлыкка килергә мөмкин).

Тантал пентоксиды - нейтраль оксид. Highгары температурада эретелгән боракта ул көчле эшкәртү оксиды белән натрий оксиды белән реакциягә керә ала, натрий танталатын барлыкка китерә, шуның белән башлангыч реакция температурасын киметә.