PECVD Yükleme Tepsisi Biriktirme Grafit Tepsisi

Kısa Açıklama:

VET Energy'nin PECVD Yükleme Tepsisi, depolama işleminin tutarlılığını ve kalitesini artırarak, depolama sırasında levhalara güvenli ve eşit destek sağlayacak şekilde tasarlanmıştır. Grafit Tepsi, mükemmel ısı direnciyle PECVD hazneleri içinde kontrollü bir ortamın korunmasına yardımcı olarak kirlenme riskini azaltır ve yüksek proses verimliliği sağlar.

Bize e-posta gönder PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

VET Energy PECVD yükleme tepsisi, PECVD (plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme) işlemi için tasarlanmış hassas bir taşıyıcıdır. Bu yüksek kaliteli biriktirme grafit tepsisi, yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden yapılmıştır. Mükemmel yüksek sıcaklık direncine, korozyon direncine, boyutsal kararlılığa ve diğer özelliklere sahiptir. PECVD işlemi için stabil bir taşıyıcı platform sağlayabilir ve film birikiminin tekdüzeliğini ve düzlüğünü sağlayabilir.

VET Energy PECVD yükleme tepsileri yarı iletken, fotovoltaik, LED ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Örneğin:

▪ Yarı iletken: Silikon levhalar ve epitaksiyel levhalar gibi yarı iletken malzemeler için PECVD işlemi.

▪ Fotovoltaik: Güneş pili ince filmleri için PECVD işlemi.

▪ LED: LED çipleri için PECVD işlemi.

Ürün Avantajları

▪Film kalitesini artırın:Düzgün film birikimi sağlayın ve film kalitesini artırın.

▪Ekipman ömrünü uzatın:Mükemmel korozyon direnci, PECVD ekipmanının servis ömrünü uzatır.

▪Üretim maliyetlerini azaltın:Yüksek kaliteli grafit tepsiler hurda oranını azaltabilir ve üretim maliyetlerini azaltabilir.

SGL'den grafit malzeme:

Tipik parametre: R6510
Dizin	Test standardı	Değer	Birim
Ortalama tane büyüklüğü	ISO 13320	10	μm
Yığın yoğunluğu	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Açık gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta gözenek boyutu	DIN66133	1.8	μm
Geçirgenlik	DIN 51935	0,06	cm²/sn
Rockwell sertliği HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifik elektriksel direnç	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Eğilme mukavemeti	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Basınç dayanımı	DIN 51910	130	MPa
Young modülü	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termal genleşme(20-200°C)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Isı iletkenliği (20°C)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

G12 büyük boyutlu levha işlemeyi destekleyen, yüksek verimli güneş pili üretimi için özel olarak tasarlanmıştır. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimi önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranlarına ve daha düşük üretim maliyetlerine olanak tanır.

Öğe	Tip	Numaralı gofret taşıyıcı
PEVCD Grefit tekne - 156 serisi	156-13 grefit tekne	144
	156-19 grefit tekne	216
	156-21 grefit tekne	240
	156-23 grafit tekne	308
PEVCD Grefit tekne - 125 serisi	125-15 grefit tekne	196
	125-19 grefit tekne	252
	125-21 grafit tekne	280