PECVD Grafit Gofret Desteği

Kısa Açıklama:

Hassasiyet ve performans için tasarlanan VET Energy'nin Grafit Gofret Desteği, yüksek termal kararlılığın ve tutarlı performansın kritik olduğu gelişmiş gofret işlemede kullanım için ideal malzemedir. İster yarı iletken levhalarla ister diğer hassas alt tabakalarla çalışıyor olun, bu yüksek kaliteli grafit desteği, proses güvenilirliğinizi ve ürün kalitenizi artıracak ve onu modern üretimin vazgeçilmez bir bileşeni haline getirecektir.

Bize e-posta gönder PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

VET Energy PECVD proses grafit levha desteği, PECVD (plazma ile güçlendirilmiş kimyasal buhar biriktirme) prosesi için tasarlanmış bir temel sarf malzemesidir. Bu ürün, mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, boyutsal kararlılık ve diğer özelliklere sahip, yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden yapılmıştır ve film birikiminin tekdüzeliğini ve düzlüğünü sağlamak için PECVD işlemi için istikrarlı bir destek platformu sağlayabilir.

VET Energy grafit levha desteğinin "grafit desteği" tasarımı yalnızca levhayı etkili bir şekilde desteklemekle kalmaz, aynı zamanda prosesin kararlılığını sağlamak için yüksek sıcaklık ve yüksek basınçlı PECVD ortamında termal kararlılık da sağlar.

VET Energy PECVD proses grafit levha desteği aşağıdaki özelliklere sahiptir:

▪Yüksek saflık:Son derece düşük safsızlık içeriği, filmin kalitesini sağlamak için filmin kirlenmesini önler.

▪Yüksek yoğunluk:yüksek yoğunluk, yüksek mekanik mukavemet, yüksek sıcaklık ve yüksek basınç PECVD ortamına dayanabilir.

▪İyi boyutsal kararlılık:Prosesin stabilitesini sağlamak için yüksek sıcaklıkta küçük boyut değişiklikleri.

▪Mükemmel termal iletkenlik:Gofretin aşırı ısınmasını önlemek için ısıyı etkili bir şekilde aktarın.

▪Güçlü korozyon direnci:Çeşitli aşındırıcı gazlar ve plazmanın neden olduğu erozyona karşı dayanıklıdır.

▪Özelleştirilmiş hizmet:Farklı boyut ve şekillerdeki grafit destek tablaları müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.

SGL'den grafit malzeme:

Tipik parametre: R6510
Dizin	Test standardı	Değer	Birim
Ortalama tane büyüklüğü	ISO 13320	10	μm
Yığın yoğunluğu	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Açık gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta gözenek boyutu	DIN66133	1.8	μm
Geçirgenlik	DIN 51935	0,06	cm²/sn
Rockwell sertliği HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifik elektriksel direnç	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Eğilme mukavemeti	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Basınç dayanımı	DIN 51910	130	MPa
Young modülü	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termal genleşme(20-200°C)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Isı iletkenliği (20°C)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

G12 büyük boyutlu levha işlemeyi destekleyen, yüksek verimli güneş pili üretimi için özel olarak tasarlanmıştır. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimi önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranlarına ve daha düşük üretim maliyetlerine olanak tanır.

Öğe	Tip	Numaralı gofret taşıyıcı
PEVCD Grefit tekne - 156 serisi	156-13 grefit tekne	144
	156-19 grefit tekne	216
	156-21 grefit tekne	240
	156-23 grafit tekne	308
PEVCD Grefit tekne - 125 serisi	125-15 grefit tekne	196
	125-19 grefit tekne	252
	125-21 grafit tekne	280